光波导加速度传感器中3dB耦合器设计

合集下载

相关主题

1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。

（天津工业大学电子与信息工程学院。天津３００３８７）
摘要：光波导加速度传感器是一种实用型加速度传感器，目前广泛应用制备光学加速度计的迈克尔逊、
马赫一曾德等干涉仪的核心部件都包含３ｄＢ耦合器。３ｄＢ耦合器的设计对光波导加速度传感器的检测精度尤为重要。介绍了所设计的光波导加速度传感器的工作原理，设计了３ｄＢ耦合器波导的结构和参数，
Ｄｅｓｉｇｎｏｆ源自文库３ｄＢｃｏｕｐｌｅｒｉｎｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒ
ＬＩＤｏｎｇ，ＷＡＮＧＪｉｎ－ｈａｉ，ＷＥＩＣｈｕｎ — ｈｕａ（ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＴｉａｎｊｉｎＰｏｌｙｔｅｃｈｉｃｎＵｉｖｎｅｒｓｉｔｙ，Ｔｉａｎｊｉｎ３００３８７，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒｉｓａｐｒａｃｔｉｃａｌａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒ，ｃｏｒｅｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓｏｆｗｉｄｅｌｙｕｓｅｄｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ，ｓｕｃｈａｓＭｉｃｈｅｌｓｏｎ，Ｍａｃｈ — Ｚｅｈｎｄｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ，ｅｔｃ，ｔｏｆａｂｒｉｃａｔｅｏｐｔｉｃａｌａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒ，ｃｏｎｔａｉｎ３ｄＢｃｏｕｐｌｅｒ．Ｔｈｅｄｅｓｉｇｎｏｆ３ｄＢｃｏｕｐｌｅｒｉｓｐａｒｔｉｃｕｌａｒｌｙｉｍｐｏｒｔａｎｔｆｏｒｄｅｔｅｃｔｉｏｎｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｆａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒ．Ｔｈｅｗｏｒｋｉｎｇｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｏｐｔｉｃｌａｗａｖｅｇｕｉｄｅａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒｉｓｄｅｓｃｒｉｂｅｄ，ａｎｄｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｆ３ｄＢｃｏｕｐｌｅｒａｒｅｄｅｓｉｇｎｅｄ，ａｎｄｔｈｅｓｏｆｔｗａｒｅＯｐｔｉＢＰＭｉｓｕｓｅｄｔｏｓｉｍｕｌａｔｅｔｈｅ３Ｄｃｏｕｐｌｅｒ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｄｅｓｉｇｎｅｄ３ｄＢｃｏｕｐｌｅｒｈａｓｇｏｏｄｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ，ａｎｄｍｅｅｔｓｔｈｅｄｅｓｉｇｎｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ．
２０１４年第３３卷第４期
传感器与微系统（ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）
９９
光波导加速度传感器中３ｄＢ耦合器设计
李东，王金海，尉春华
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｎｉｇｄｅｓｅｎｓｏｒ；３ｄＢｃｏｕｐｌｅｒ；ＢＰＭ
０引言随着光通信技术和集成光学技术发展，从２０世纪
制部分的３ｄＢ耦合器，用光束传播法（ＢＰＭ）对其进行了软件模拟仿真，并在此基础上对其进行了优化。
并用光学模拟软件ＯｐｔｉＢＰＭ对３ｄＢ耦合器进行模拟。结果表明：所设计的３ｄＢ耦合器具有良好性能，符
合设计要求。
关键词：光波导传感器；３ｄＢ耦合器；光束传播法
中图分类号：ＴＰ２１２文献标识码：Ａ文章编号：１０００－－９７８７（２０１４）０４－００９９－－０３
１光波导加速度传感器系统
９Ｏ年代开始人们关注集成光学传感器，如Ｂｒａｇｇ光栅加速