热场发射扫描式电子显微镜(TFSEM)仪器简介.
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熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM)儀器簡介一、系統規格及型號：
⏹機型: JEOL JSM-6500F
⏹加速電壓: 0.5~30kV
⏹電子槍: 熱場發射型式(Thermal Emission Schottky Type)
⏹解析度:
a.高解析條件: 1.5nm(15kV, WD 4mm)
b.低電壓條件: 5.0nm(1kV, WD 4mm)
c.分析條件: 3.0nm(15kV, WD 8mm)
⏹放大倍率：10~500,000倍
⏹最大試片尺寸: 可放置15cm直徑試片
⏹X-Y移動範圍: 50mm*50mm
⏹傾斜: -5~ +15°
⏹旋轉：360°
⏹工作距離(WD): 4mm~41mm
⏹可偵測訊號：二次電子, 背向散射電子
⏹真空度：510-8pa (SP1)
⏹附有IR CAMERA, PCD BLANKER, BEI DETECTOR