溶胶-凝胶法掺钛SnO2薄膜的气敏光学特性研究

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２，搅拌加热温度控制在７ ℃ ，后，室温下静止存放ｈＯ然在
２，到均匀透明的凝胶。得ｄ
本实验采用了匀胶法，将制备好的溶液滴在清洁的基片
他物质，可以抑制ＳＯｎ品粒的长大，改善材料的半导体性
能，提高其气体灵敏度Ｊ。根据以往的研究，薄膜存在对测试气体反应时间过长
ＳＯ作为一种新型功能材料，有熔点高、温下不ｎ具高易分解、化学性质稳定、不易与强酸强碱反应等许多独特的பைடு நூலகம் 光学、电学及催化性能，被广泛用于半导体、阳能电池、太气体传感器、液晶显示器、化剂以及光学技术等领域｜。催 ¨ Ｊ以ＳＯｎ为气敏材料制备的气体传感器，可用于工业、国防、民用、运输等领域检测易燃易爆还原性气体，市场需求庞大。纯净ＳＯｎ的气体灵敏度较低，在一定程度上影响了气体传感器的检测精度。很多研究已发现，掺杂贵金属或其
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传感器与微系统（ｒｓｕｅａｄＭｉｏｙｔｅｈｏｇｓＴａｄｃｒｎｃｓｓｍＴｃｎｌｉ）ｎｒｅｏｅ
２１００年第２９卷第８期
溶胶一胶法掺钛Ｓｏ２凝ｎ薄膜的气敏光学特性研究木
冯金垣，邓健强，孔镇
０引言
下实现气敏光学传感是可能的。１溶胶一凝胶法制备掺钛ＳＯ：ｎ薄膜以ＳＣ・Ｈ０（ｎ１５２分析纯）和掺（４９４ｉ分析纯）ＣＨ０）Ｔ（为原料，将它们以物质的质量比（ｉＳ％，Ｔ／ｎ＝Ｘ＝５１，，０１）溶入适量的无水乙醇中配成０５ｍｌＬ多种浓度的均５，．ｏ／匀溶液，同时加入适量的柠檬酸，液边加热边搅拌回流溶
的问题，实验尝试加入光催化元素钛。采用溶胶一胶法本凝制备掺钛ＳＯ薄膜，究常温下掺钛薄膜在乙醇气氛下光ｎ研
（南理工大学理学院，东广州５０４）华广１６０
摘
要：采用溶胶一凝胶法在玻璃基片上制备掺钛ＳＯ薄膜，ｎ。对不同掺杂浓度的薄膜进行ＸＤ测试。在Ｒ
常温下对膜片在乙醇气氛中进行气敏光学特性测试。结果表明：掺钛薄膜在常温下对测试气体的反应时间比其他掺杂薄膜明显缩短，并且薄膜的灵敏度与掺杂浓度有关，０％掺钛ＳＯｌｎ薄膜的灵敏度在１０８０—
ｒｍａｎｄａ５％．ｅｉｅｔ１
Ｋｅｒｓｏ — ｅｍｅｈｄ；Ｓ０ｈｎｆｍ；ｅｈｎｌｔｓｈｒ；ｒｆｃｉｉｙｗｏｄ：ｓｌｇｌｔｏｎ２ｔｉｌｉｔａｏｍｏｐｅｅｅｅｔｔａｌｖｙ
２０ａ波长范围保持在１５０ｍ５％左右。
关键词：溶胶一凝胶法；ＳＯ薄膜；乙醇气氛；反射率ｎ。
中图分类号：０４４０５３；６７文献标识码：Ａ文章编号：１０－７７２１）８０６－３００９８（０００－０８０－