第十章 固态图像传感器
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第十三章 固态图像传感器
固态图像传感器(solid state imaging sensor)是指 固态图像传感器 是指 在同一半导体衬底上生成若干个光敏单元与 位移寄存器构成一体的集成光电器件,其功能 位移寄存器构成一体的集成光电器件 其功能 是把按空间分布的光强信息转换成按时序串 行输出的电信号. 行输出的电信号 CCD —电荷耦合器件 电荷耦合器件(charge coupled device)是 电荷耦合器件 是 其中应用最广泛的一种. 其中应用最广泛的一种 一 CCD的基本结构 的基本结构 MOS(金属 氧化物 半导体 阵列 金属-氧化物 半导体)阵列 金属 氧化物-半导体
单元结构
+ 金属电极 SiO2绝缘层 耗尽区(势阱 耗尽区 势阱) 势阱 P型Si衬底 型 衬底 光线
二 CCD的工作原理 的工作原理 1.信号电荷的注入 信号电荷的注入 2.信号电荷的转移 信号电荷的转移 3.信号电荷的读出 信号电荷的读出 Φ1
Φ2
Φ3 t0 t1 t2 t3 t4 t5 t6 t7 t8
转移栅 (控制脉冲 T) 控制脉冲Φ 控制脉冲
1024单元 单元 14mFra bibliotek 14m × 二相时钟(5V) 二相时钟
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三 CCD图像传感器的结构 图像传感器的结构 1. LCCD图像传感器 图像传感器 MOS光敏元线阵 转移栅 读出移位寄存器 光敏元线阵,转移栅 光敏元线阵 转移栅,读出移位寄存器 感光区(偏置脉冲 感光区 偏置脉冲ΦG) 偏置脉冲
移位寄存器(移位脉冲 移位寄存器 移位脉冲Φ1 Φ2 Φ3) 移位脉冲
固态图像传感器(solid state imaging sensor)是指 固态图像传感器 是指 在同一半导体衬底上生成若干个光敏单元与 位移寄存器构成一体的集成光电器件,其功能 位移寄存器构成一体的集成光电器件 其功能 是把按空间分布的光强信息转换成按时序串 行输出的电信号. 行输出的电信号 CCD —电荷耦合器件 电荷耦合器件(charge coupled device)是 电荷耦合器件 是 其中应用最广泛的一种. 其中应用最广泛的一种 一 CCD的基本结构 的基本结构 MOS(金属 氧化物 半导体 阵列 金属-氧化物 半导体)阵列 金属 氧化物-半导体
单元结构
+ 金属电极 SiO2绝缘层 耗尽区(势阱 耗尽区 势阱) 势阱 P型Si衬底 型 衬底 光线
二 CCD的工作原理 的工作原理 1.信号电荷的注入 信号电荷的注入 2.信号电荷的转移 信号电荷的转移 3.信号电荷的读出 信号电荷的读出 Φ1
Φ2
Φ3 t0 t1 t2 t3 t4 t5 t6 t7 t8
转移栅 (控制脉冲 T) 控制脉冲Φ 控制脉冲
1024单元 单元 14mFra bibliotek 14m × 二相时钟(5V) 二相时钟
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三 CCD图像传感器的结构 图像传感器的结构 1. LCCD图像传感器 图像传感器 MOS光敏元线阵 转移栅 读出移位寄存器 光敏元线阵,转移栅 光敏元线阵 转移栅,读出移位寄存器 感光区(偏置脉冲 感光区 偏置脉冲ΦG) 偏置脉冲
移位寄存器(移位脉冲 移位寄存器 移位脉冲Φ1 Φ2 Φ3) 移位脉冲