真空中的材料气体放出

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟

真空中的材料气体放出

，chvacuum/leakhunting/095515.html)已经提到了真空系统的透气现象，在真空腔的两侧假如存在压强差，任何材料总会或多或少渗透一些气体。渗透率与

气体的种类和材料的种类有关，而且差异很大。比如铁和镍，对氢气就有较高

的渗透率。

物质表面吸附(或冻结)有水和油等有机化合物。当物质处于真空环境中

时，表面的吸附物会慢慢挥发或升华成为气体，逐渐放出。特别是多孔等表面

积大的物质，放出的气体会极大地影响真空度。要达到较高的真空度，必须选

择放出气体少的材料。假如从外部没有导入气体，经过充分时间后真空腔所能

达到的压强由排气速度和气体放出量决定。

材料的放气是一个非常复杂的过程。首先，物体表面放出的气体可能会

被其他表面吸附，那里又会成为新的气体放出源。其次，从固体内部还不断有

气体扩散到表面。气体放出量会随时间而不断减少，但不可能达到零。因此，

根据所需达到的压强，一直到气体放出可以忽略，都要不停地排气，而且要维

持气体压强，也必须不断排气。

超高真空中应尽量避免使用黄铜材料，因为黄铜中含有大量的Zn。Zn 的

蒸气压高，处于真空中的黄铜假如温度升高，则Zn 会大量放出，从而污染真空

系统。

假如气体的放出量和吸附量成正比例，则放气率应该随时间t 呈指数函数

关系减少，而实际上放气率随时间t 呈反比例关系减少。这一现象也证明气体的

吸附和放出过程中有许多复杂的中间状态。通常情况下，金属和玻璃的放气率

较小，而树脂和橡胶较大。因此在高真空领域，尽量不用树脂和橡胶。如关于