Centrotherm扩散炉培训

合集下载

CT扩散炉培训教材(设备中英文版)

CT扩散炉培训教材(设备中英文版)
加栽的硅 片
Loading box上料Mec箱han ical arm 机械臂
Loading box 上料箱
Storage rack 1,2 存储位1、2
Paddle bearing, adjustable paddle position 碳化硅桨支座,调节桨位 置
TGA有毒气体排放 quartz door 石英门
Detection of a range of whether object, avoid hit boat phenomenon, this range can be adjusted
检测某个范围 内是否有物体, 避免出现撞舟 现象,些范围 可进行调节
Communication Network Overview 通信网络总览
Heating system加热系统
Cooling system冷却系统
1、Heat exchanger 2、Cooling 3、Shutoff valve
1、Cooling exchanger 2、The main fan
4、Heat 5、
Alarm lamp information
Indicator lamp color green
否则机械臂可能因无法正常运行而报警。
From manual automatic, Grip must be in the Middle position,
or mechanical arm may be due to normal operation and alarm.
7.进舟后,工艺无法运行,先确认舟在桨上的位置,以及 Tube=ready SLS=UP TGA=YES 然后进行操作。 In the boat, technology cannot run, make sure the boat on the oar

Centrotherm扩散炉

Centrotherm扩散炉

接线柱
Spike TC
CMS(机器安 全系统)
Spike TC
超温监控
Spike TC 供电
温度测 量模块
炉丝及炉管
Spike T温)
Spike TC
工艺气体进 气管
炉丝与接线柱 接口设计
尾气管放 置 石英管
Paddle TC 放置口
炉门控制系统-TGA
Centrotherm的 传送皮带
皮带传 送电机
3.lift的运动方式:centrotherm的lift能实现上下和前后运动,石英舟的左右运动则是依 靠下方的传送带实现;
Centrotherm的lift, 只能上下和前后 运动
装载系统下的传 送带
4.储存架的位置数量:centrotherm的储存架位于lift同一位置,一共七个(由于储存架尚未安 装,此数量是从store架的形状看出);
热排 酸排 尾气瓶 放置区
Bubbl er放 置区
尾气瓶 放置区
冷却水及 净化装置
酸排
Bubbler 放置区
冷却水及 净化装置
热排
气体控制 柜
气体控制 柜
热排口
炉体位 置
尾气瓶放置区和尾气瓶
尾气瓶放 置区 通向酸排 工艺气体(氧气, 大小氮)进气口
热排口
Paddle TC
凝结器
尾气管 防漏盘 沉淀收集
炉体部分—centrotherm
炉体部位包含炉体,控制柜和电源柜三个部分。
炉体部位包含五根炉管,控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度 控制器,电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。
动力柜
控制柜
动力柜
控制柜
炉体
CCC电脑放 置处

扩散炉培训

扩散炉培训
7.主送气管道在清洗石英管接入设备之前应先排空,通入纯净高压气体吹 洗干净,否则管道内的不洁净物质会引起气动阀关闭不密封以及造成过 滤器和质量流量控制器的堵塞及损坏。
PPT文档演模板
扩散炉培训
扩散—太阳能电池制造核心工序
1.28使用中的注意事项
8.压缩空气、 高纯N2 、高纯O2等各种气体进气压力设定值(气源柜 减压阀表读数)均应调在0.3~0.4Mpa 之内,太小会使得气动阀难以 开启以及质量流量控制器流量显示不稳定,太大则有可能损坏过滤器 及质量流量控制器。
PPT文档演模板
扩散炉培训
扩散—太阳能电池制造核心工序
1.27使用中的注意事项
5. 桨的位置调好后,基座上下、前后以及端头的俯仰调节螺钉均不得再 随意调动,否则在进出舟过程中极易造成石英挡板以及硅片的损坏,严 重的还会直接损坏石英管和桨。
6.石英炉门与桨的接触部位请定期进行清洗,防止由于工艺残留物堆积使 得滑动不畅造成石英门损坏。运行工艺时必须摇动挡板。
2. 测量方块电阻: 将“I”的指示灯切换至R□/ρ档,读取稳定值,并记录在
电池生产记录中, 重复以上步骤(注意炉里、炉中、炉口加以
区分。
3.判断是否返工 根据规定的工艺要求判断是否要返工,并及时调节扩散
的温度。将测试完的硅片卸到承载盒中,测量过程完毕。
PPT文档演模板
扩散炉培训
扩散—太阳能电池制造核心工序
PPT文档演模板
扩散炉培训
扩散—太阳能电池制造核心工序
1.18气路部分
氧气
PPT文档演模板
三氯氧 磷
三氯乙 烷
氮气
气路部分从左到右分别是氧 气. 清洗小氮. 扩散小氮. 大 氮. 需要用到气体时,系统会 自动开启气动阀。 清洗小

Centrotherm扩散炉培训

Centrotherm扩散炉培训

关机操作(三)
6、按下恒温箱控制面板的“RUN”按钮,使恒温箱停止工作,再关闭 黑色的电源开关。 7、退出CMI软件,关闭CMI电脑。
关机操作(四)
8、关闭设备冷却水:先关进水阀,再关出水阀。 9、关闭电器柜总断路器,使设备断电。
关机操作(五)
10、关闭气柜的氮气、氧气和压缩空气的手动阀。
维护保养(一)
开机操作(七)
13、在CMI触摸屏上按下各管的“Standby”,确认CMI上显示各管“CESAR” 正常;当“T_Paddle”达到设定温度,准备生产。 炉体加热部分共分5个温区,每个温区在600-1200℃范围内的精度 ±0.5℃。
开机操作(八)

Start:运行一个准备好的工艺或启动正在暂停的工艺。 Stop:停止正在运行工艺,在任一时间按下“Start”按钮,被终止的工艺将被继续 运行。 Standby:如果没有运行工艺,按下Standby,所有设备参数恢复默认值和Standby 状态下设定值。如果正在运行工艺,按下Standby,使工艺一直保持在正在运行的 这一步;在按下“Stop”按钮之后,按下Standby,将自动终止工艺。
生产操作(五)
9、进入“Summary”界面,显示3-8步输入的信息,核对无误后,点击 “OK”,信息输入完成。 10、在“Job”页面点击然 “Run” 按钮,回到自动运行状态。机械手自 动送舟到SiC桨上,开始运行工艺。
生产操作(六)
11、当某一管的“Tube state” 显示蓝色时,需要人工输入信息,打开 相应管的CESAR界面。 12、在红色的对话框“Adjust temperature?”中输入需要修改的温度或 默认值,再在键盘上点击“Enter”键。
生产操作(三)

扩散工艺培训

扩散工艺培训

扩散工艺培训一、扩散目的。

在P型衬底上扩散N型杂质形成PN结。

达到合适的掺杂浓度ρ/方块电阻R□即获得适合太阳能电池PN结需要的结深和扩散层方块电阻。

R□的定义:一个均匀导体的立方体电阻,长L,宽W,厚d R= ρ L / d W =(ρ/d) (L/W)此薄层的电阻与(L / W)成正比,比例系数为(ρ /d)。

这个比例系数表示:叫做方块电阻,用R□R□= ρ / dR = R□(L / W)L= W时R= R□,这时R□表示一个正方形薄层的电阻,与正方形边长大小无关。

单位Ω/□,方块电阻也称为薄层电阻Rs在太阳电池扩散工艺中,扩散层薄层电阻是反映扩散层质量是否符合设计要求的重要工艺指标之一。

制造一个PN结并不是把两块不同类型(P型和N型)的半导体接触在一起就能形成的。

必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域,另一部分是N 型区域。

也就是晶体内部形成P型和N型半导体接触。

目前绝大部分的电池片的基本成分是硅,在拉棒铸锭时均匀的掺入了B(硼),B原子最外层有三个电子,掺B的硅含有大量空穴,所以太阳能电池基片中的多数载流子是空穴,少数载流子是电子,是P型半导体.在扩散时扩入大量的P(磷),P原子最外层有五个电子,掺入大量P的基片由P型半导体变为N型导电体,多数载流子为电子,少数载流子为空穴。

在P型区域和N型区域的交接区域,多数载流子相互吸引,漂移中和,最终在交接区域形成一个空间电荷区,内建电场区。

在内建电场区电场方向是由N 区指向P区。

当入射光照射到电池片时,能量大于硅禁带宽度的光子穿过减反射膜进入硅中,在N区、耗尽区、P区激发出光生电子空穴对。

光生电子空穴对在耗尽区中产生后,立即被内建电场分离,光生电子被进入N区,光生空穴则被推进P区。

光生电子空穴对在N区产生以后,光生空穴便向PN结边界扩散,一旦到达PN结边界,便立即受到内建电场作用,被电场力牵引做漂移运动,越过耗尽区进入P区,光生电子(多子)则被留在N区。

Centrotherm扩散炉系统简介

Centrotherm扩散炉系统简介
Centrotherm扩散 炉设备结构简介
1
CONTENT
1、设备基本构成 、 2、炉体部分 、 3、Load station 、 4、Gas cabinate 、 5、控制及监控系统 、
基本构成—centrotherm 基本构成
Centrotherm扩散炉机台主体由装载系统,TGA,炉体部分和气源柜四部 分组成。其各部分功能如下: 1.装载系统:用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内,以及将 扩散完成的硅片传送到上料台。 2.TGA(Toxic Gas Exhaust):用于驱动炉门,吸收在进舟和出舟过程 中可能泄漏出来的有毒气体。 3. 3.炉体部分:机台的核心 部分,由五个炉体及相关的电 源系统和控制系统组成。 4.气源柜:用于提供扩散 工艺过程所需的各种工艺气体, 以及将扩散过程中产生的尾气 通过酸排风系统排出。
内部情况
外部情况
气体控制区
MFC
气动阀
气体冷却水系统
酸排, 酸排,热排系统
气源柜上的 热排
气源柜上的 酸排
废液收集 瓶
控制及监控系统
centrotherm主要控制系统的组成和作用如下: centrotherm主要控制系统的组成和作用如下: 主要控制系统的组成和作用如下
1. CMI 计算机 每个机台一个,用于控制装卸系统并显示 CMS和CESAR电脑
Centrotherm桨 托

控制桨高低位 的联动装置 控制桨高低 位的电机
2.桨的传送方式:centrotherm是利用固定在一侧的传送皮带带动桨托运动; 桨的传送方式: 桨的传送方式
Centrotherm的 传送皮带
皮带传 送电机
3.lift的运动方式:centrotherm的lift能实现上下和前后运动,石英舟的左右运动则是依 的运动方式: 的运动方式 靠下方的传送带实现;

Centrotherm扩散炉结构简介

Centrotherm扩散炉结构简介

4. Cell controller 其中包含用于创建和管理recipe的软件
CCC-RM(Centrotherm Cell Control Recipe Manager),用于 对CESAR电脑进行集中遥控。
5. Temperature controller 采用REG97温度控制器,硬件部分由
酸排
热排
Bubbl er放 置区
尾气瓶 放置区
冷却水及 净化装置
尾气瓶 放置区
酸排
Bubbler 放置区
冷却水及 净化装置
气体控制 柜
热排
气体控制 柜
热排口
炉体位 置
通向酸排 热排口
尾气收集
尾气瓶放置区和尾气瓶
工艺气体(氧气, 大小氮)进气口 Paddle TC
尾气管
Bubbler放置区
1.装载系统:用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内,以及将 扩散完成的硅片传送到上料台。
2.TGA(Toxic Gas Exhaust):用于驱动炉门,吸收在进舟和出舟过程 中可能泄漏出来的有毒气体。
3.炉体部分:机台的核心 部分,由五个炉体及相关的电 源系统和控制系统组成。
4.气源柜:用于提供扩散 工艺过程所需的各种工艺气体, 以及将扩散过程中产生的尾气 通过酸排风系统排出。
Centrotherm扩散 炉设备结构简介
1
CONTENT
1、设备基本构成 2、炉体部分 3、Load station 4、Gas cabinate 5、控制及监控系统
基本构成—centrotherm
Centrotherm扩散炉机台主体由装载系统,TGA,炉体部分和气源柜四部 分组成。其各部分功能如下:
皮带传 送电机

centrotherm扩散设备结构培训

centrotherm扩散设备结构培训

5. Cesar Remote 远程监控 可以选择每台机器的所有管道, 在CCC电脑上进行操作. 注:在设备cesar电脑中并不存储工艺, 设备每次运行一次工艺过程, 都要从CCC电脑中读取一次工艺。 CCC
Arm position position of the arms by millimeter tube conditions Grip and clamp condition
status of storgaes
actuell lift position by millimeter
setup lift
Location of Reg 97
Reg 97 Stack 4
Reg 97 Stack 3
Reg 97 Stack 2
Reg 97 Stack 1
TMM5 at the Heating cartridge
TMM5 at the gas cabinett
When the green indicator goes to red, make a Regreset at the Cesar. No change – then disconnect the Reg 97 from power and reconnect
举例说明: POCL-55工艺中,现成参数如下 CTEMP=843 DLV POCl1-1: DLZ=4, DCLZ=5, DCZ=0, DCGZ=-2.5, DGZ=-9 将POCL55改成POCL60, 只需将CTEMP改成约838, 再根据实验结果作相应调整.
4. Protgraf 可以查看所有工艺管道的历史纪录, 可以选择时间段,工艺名称,所要的参数, 结果可以以文档,表格, 图表的形式表示出来.
Network cable connectors

Centrotherm 公司的主要介绍

Centrotherm 公司的主要介绍

Centrotherm 公司的主要介绍■公司地址:CentrothermPhotovoltaics GmbH+Co.KGJohammes-Schmid-Str.889143 BlaubeurenGermany■公司电话:+49 7344 9188-803■公司传真:+49 7344 9188-388■公司邮箱:info-pv@centrotherm.de■公司网站:www.centrotherm.de产品流程:硅料硅片太阳电池组件发电系统Centrotherm 公司给以下世界主要电池生产厂家提供PECVD设备(日本除外):交钥匙工程■与我们公司共同设计厂房和外围设施■电池生产线■太阳电池的设计■太阳电池生产技术的转让■人员的技术培训■设备的启动■生产工艺电池生产线的交钥匙工程主要包括以下几部分■硅片的检测设备■切割损伤层的HF腐蚀和制绒设备■POCL3发射集扩散设备■PSG清除设备■镀SiN抗反射膜设备,包括H+沉积设备■丝网印刷设备和浆料干燥设备■快速烧结设备■周边刻蚀设备■电池的测试和分选设备Centrotherm公司的服务范围■太阳电池生产线的交付和技术培训■太阳电池生产线最佳生产工艺说明书■整体工艺,包括每个工序之间的最佳连接■与用户共同商议基础设施方案■生产线的布置图■帮助用户启动设备和进一步的改进工作■安排用户与有关的研究所建立联系■交钥匙工程包括交付标准的丝网印刷电池生产线和转让研发技术市场信息:用户主要是根据成本/瓦的标准来选择绝大多数(90%以上)的太阳能发电系统。

工艺技术方面生产成本硅片66% 浆料9% 原材料7% 设备投资8% 外围设施投资4% 劳动力6%合格品率,效率和设备利用率合格品率的提高■硅片的检测■设备稳定■在线监控■合格的人员效率的提高■优化的电池生产工艺■优化的生产设备■硅片的检测■在线监控■合格的人员设备利用率的提高■硅片的检测■优化的设备接口■减少了中间的操作环节■在线监控■合格的人员太阳电池的生产工艺1.硅片的检测-2D 检测-3D 检测-电阻率-使用寿命2.湿化学腐蚀-切割损伤层的腐蚀-制绒(酸,冷却槽)-制绒(碱+IPA,加热槽)3.P-N 结的形成- 双面扩散- 单面扩散- 链式扩散4.去除正面和背面的短路- 等离子刻蚀- 湿腐蚀- 激光切割(在电池分类前)5.去除磷硅玻璃(氧化层)- 湿化学腐蚀6.镀抗反射涂层(氮化硅)- 利用PECVD工艺镀氮化硅膜- 抗反射涂层-- H+钝化- 利用LPCVD工艺镀氮化硅膜- 抗反射涂层7.正面接触式印刷8.正面接触式干燥9.背面接触式印刷10.背面接触式干燥11.印刷铝浆12.干燥铝浆13.烧结- 正面和背面接触式烧结- 烧结抗反射涂层- H+ 钝化14.利用激光切割技术消除正面-背面的短路15.太阳电池的分类- 根据效率进行分类- 根据填充因子进行分类- 根据外观进行分类太阳电池的生产流程(利用等离子刻蚀技术进行周边刻蚀)切割损伤层的腐蚀设备■槽式系统- 配备片盒- 能在单晶硅片上进行碱式制绒,在多晶硅片上进行酸式制绒硅片的检测和一摞硅片的分离设备硅片的检测和一摞硅片的分离设备■2D检测■3D 检测■电阻率的测试■使用寿命的测试■微小裂纹的探测■一摞硅片的自动分离■100%的检测■无人操作■碎片率低■硅片的分离量高且稳定切割损伤层的腐蚀设备■槽式系统-- 配备片盒--- 能在单晶硅片上进行碱式制绒,在多晶硅片上进行酸式制绒--- 能在一个系统中进行单晶和多晶硅片制绒■链式系统--- 不需要片盒--- 能在多晶硅片上进行酸式制绒槽式湿腐蚀用的片盒片盒的芯层是不锈钢材质,外表面是塑料材质。

CT扩散炉培训教材(设备中英文版)

CT扩散炉培训教材(设备中英文版)
2、 Pneumatic valve 气动阀
1
a
9
Cooling water inlet and water system冷却水系统
Cooling to the top of the furnace body and furnace 对炉膛顶部和炉体
进行冷却
a
10
Thermostatic bath恒温槽
Door cylinder炉门气缸
a
7
Heating furnace炉膛
1、CMS module
3、Power connection
cover
2、Thermocouple connection
4、a Temperature sensor
8
Gas cabinet气源柜
2
1、 Flow meter 气体流量计
centrotherm扩散炉设备培训
equipment training of centrotherm Diffusion furnace
a
1
Centrotherm扩散炉的组成
A.Loading box 推舟部分
B. TGA 有毒气体排放
C. Heating furnace 加热部分
D. Gas cabinet 气柜
2、The main fan 5、Electronic
devices
3、Coaoling the air passage
16
Alarm lamp information
Indicator lamp color
action
meaning
green open
Ready to operate
twinkle pause

德国Centrotherm PECVD设备E2000中文说明书.pdf

德国Centrotherm PECVD设备E2000中文说明书.pdf

1.1 PECVD – 氮化硅 ( 太阳能 )
1.1.1
设备能力
Ø 测试工艺 • 厚度: • 折射率:
Ø 工艺周期
40-45min.
70 nm 2.0 to 2,1
8
Technical Description System Description 17.6.2009
1.1.2
均匀性
下面的均匀性都指 125mm x 125mm 硅片,在标准 192 片石墨舟上做出的结 果。测量的衬底是 P 型抛光硅片(只有抛光硅片才能测出厚度和折射率,电 阻率 1 Ohm*cm,经过标准扩散工艺),测量的仪器是椭圆偏振仪。
PECVD: 氮化硅 100 - 600°C 100 - 550°C 石英 centrotherm 软着陆 (SiC) 真空 (PECVD)
6
Technical Description System Description 17.6.2009
0.4 系统尺寸
L0, H0 只在设备配备了全自动机械手装片功能的前提下才有。 每个独立单元都可以对称放置,即掉转 180 度。
2.5.1
基本系统
Ø 过温传感器 – 工艺管 一个独立的测温系统采用热电偶监控炉管内的温度,每个加热区内有一个 这样的热电偶。如果温度超过设定值,加热器的电源就会切断,防止损坏 炉子。
Ø 过温传感器 – 加热器外壳 加热器外壳的温度也受到监控。当外壳温度超出设定值,加热器电源会切 断。一般出现这个报警的时候,可能意味着冷却水流量偏低。
进舟系统
32
石墨舟提升
32
石墨舟存储(冷却)
33
闭管系统
34
自动闭管装置 (软着陆)
34
低压工艺(PECVD)

Centrotherm 扩散炉操作规程

Centrotherm 扩散炉操作规程

内容
1.装片将来片装至石英舟上。

装片过程中,石英舟的斜度向左,将每两片正片插入同一插槽中方向从右向左。

并保证扩散面向外, 插片过程中严禁用手(包括戴手套)直接接触硅片绒面。

2. 上舟将以装好产品的石英舟放置于Slider上,如图所示:
3. 运行工艺
3.1点击Jobs,进入Jobs界面,确认tube状态并进入SETUP菜单
3.2选择BOAT LOT,可选择没有对号的Boat
3.3进入下个菜单如下.并进行如下选择,之后点击Next
3.4输入BOAT ID(石英舟架的编号),并选择wafer尺寸
3.5勾选run(运行)的炉管
3.6选择进货时炉管状态
3.7选择recipe ,根据工艺要求选择相应的recipe,然后点击Finish
3.8确认界面.确认之前设置无误,点击OK。

3.9点击Jobs返回Jobs菜单,点击RUN就可开始自动进炉扩散
3.10当RECIPE(程序)结束后会跳出如下对话框,点OK 机台自动运行UNLOAD(硅片出炉,冷却后下片)程序。

4.常见报警及处理方法:
5.设备故障汇报机制
接到设备故障报告后,现在技术员立即到现场处理维修,半小时内无法解决,当班技术员即时通知到机台责任工程师,工程师两小时内无法解决问题,则立即通知相应的设备主管,四小时无法解决问题,通知设备经理。

Centrothermx操作说明

Centrothermx操作说明

②石墨电极内有硅片倒落或者 择手动工艺输入剩余时间。
HF Gen out of 1st(2nd) tolerance.
小碎片卡在两片电极的中间。
①卸载,重新摆放舟
9 高频发生器超过第一 ③炉内的碎片太多,石墨电极底 卸载,取走碎片
(二)个容差,
部接触到碎片形成两片电极之 降温,清理碎片
间的短路。
联系外围,调整压力开关
CESAR 接收到桨在
“0”和“UP”的位置。
Handling 对话框中将舟移动到
14 Boat collision.
舟被撞击
安全的位置;若是在上下舟,检 查一下小车和储存架的位置是
The boat sensor has detected no boat in the grab although a boat 15 should be in the grab. please check boat in grab sensor and try again. No process boat in source position. 16 说明:在设定的位置
recipe .
(3)工艺中断需要重新进行时选
择,选择前应查看镀膜情况
8
Lost homing, check position.
失去引导,检查位置。
此报警会自动解除,只需要检查 一下桨是否在原点位置即可。
通常出现这样的报警有六种情
况:
如果在镀膜中退出,如已经沉积
①石墨舟的电极孔放反。
到氮化硅,检查镀膜时间后,选
如果初始化不行可以冷启动即 可。 遇到 E40 可以重新接插控制单 元。 其余对蝶阀进行拆开清理查找 原因。
①反馈的 boat poti 的数值超出
  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

生产提示-信号指示灯
1、黄色灯:手动状态;警告或在设定模式时警告,没有蜂 鸣报警。 2、绿色灯:自动状态;暂停状态和准备好可以操作,没有 蜂鸣报警。 3、蓝色灯:需要人工输入信息,没有蜂鸣报警。 4、红色灯:没有解决的报警和错误、急停状态,有蜂鸣报 警。
生产提示
1、手动放舟到“Slider”上时,注意舟的方向,有圆形标记 的一段放在里面。 2、每次加载工艺文件时,须手动加载。
生产操作(三)
5、进入“Handling information”界面,把舟上的编号输入到“Boat ID” 一栏,同时选择Load position为“Slider”,再点击“Next”按钮。 6、进入“Process tube selection”界面,选择需运行工艺的管号,在正 常情况下1-4管全部选中,再点击“Next”按钮。
关机操作(三)
6、按下恒温箱控制面板的“RUN”按钮,使恒温箱停止工作,再关闭 黑色的电源开关。 7、退出CMI软件,关闭CMI电脑。
关机操作(四)
8、关闭设备冷却水:先关进水阀,再关出水阀。 9、关闭电器柜总断路器,使设备断电。
关机操作(五)
10、关闭气柜的氮气、氧气和压缩空气的手动阀。
维护保养(一)
开机操作(五)
9、当温度到达500℃ 时,用手推动炉门 的气缸,使炉门关 闭。 10、顺时针打开TGA 上部调压阀,使压 缩空气压力恢复到 4Bar左右。
开机操作(六)
11、打开恒温箱控制器的 黑色电源开关,检查 并确认设定温度20℃; 按下“RUN”按钮, 启动恒温箱。当实际 温度达到设定温度后, 才可生产。 12Байду номын сангаас当源瓶的磷源用尽需 要更换时,恒温控制 器会有液位报警提示, 需更换新的磷源。
开机操作(七)
13、在CMI触摸屏上按下各管的“Standby”,确认CMI上显示各管“CESAR” 正常;当“T_Paddle”达到设定温度,准备生产。 炉体加热部分共分5个温区,每个温区在600-1200℃范围内的精度 ±0.5℃。
开机操作(八)

Start:运行一个准备好的工艺或启动正在暂停的工艺。 Stop:停止正在运行工艺,在任一时间按下“Start”按钮,被终止的工艺将被继续 运行。 Standby:如果没有运行工艺,按下Standby,所有设备参数恢复默认值和Standby 状态下设定值。如果正在运行工艺,按下Standby,使工艺一直保持在正在运行的 这一步;在按下“Stop”按钮之后,按下Standby,将自动终止工艺。
1、清理冷却瓶和过滤瓶的偏磷酸。 2、检查并更换聚四氟密封圈。
维护保养(二)
3、检查并清理气柜抽风管道下部的偏磷酸。 4、清理冷阱内部和盛放冷凝瓶的接液盘。
维护保养(三)
5、检查石英管内的碎片并清理。 6、清理石英管口冷凝的偏磷酸。
维护保养(四)
7、检查冷却水管道和SSR冷却部分是否漏水。 8、检查触摸屏使用是否正常,矫正。
生产操作(四)
7、进入“Boat information”界面, 在Actual boat location位置选择 “Slider”,在Boat state位置选择“Wait for tube”,再点击“Next”按钮。 8、进入“Process information”界面,选择相应的运行工艺名,在“Lots in boat”中输入相关舟的信息,再点击“Finish”按钮。
生产操作(八)
15、当工艺运行完,自动取舟到“Storage”位置冷却;冷却后“Slider”自动取舟到下料 位置并伴有蜂鸣提示,进行取舟卸片和测试方块电阻;再放上需要扩散的舟。 16、同时CMI电脑弹出“Boat Info”界面,点击“Unload done”按钮,在软件中完成卸 舟信息。 17、进入“Boat Info Mode Select”界面,选择“Wafer(Production wafer with host validation)”项,点击“OK”按钮。
开机操作(三)
5、输入XP操作系统用户“Operator”密码“6065”, 进入CMI计算机的XP系统,自动启动CMI软件。 6、检查并打开气柜上1-4管“CESAR”的开关,启 动“CESAR”系统。
开机操作(四)
7、 设定各管“Paddle”温度为默认值,按下: “Manual/T_Paddle/All/Setpoint/Default” 。 8、设定升温速度为5℃/min,按下: “Manual/T_Paddle/All/RampPos”,输入“5”,并按确认键 “ENTER”。
生产操作(七)
13、在弹出的红色对话框“Adjust diffusion time?”中输入需要修改的时间或默认值,再 在键盘上点击“Enter”键。 14、在弹出的红色对话框“Adjust drive in time?” 中输入需要修改的时间或默认值,再 在键盘上点击“Enter”键,信息输入完毕,桨自动送舟到石英管,开始扩散工艺。
生产操作(一)
1、检查“Slider”是 否在上料位置,若 不在,手动状态下 移到上料处: “Manual/Slider/t o port”。 2、把插好硅片的舟 放到“slider”上。 尽量使舟在 “slider”中间位 置。
生产操作(二)
3、在“Setup”界面选择“Boat”项,选择一个舟号,进行工艺信息编 辑。 4、选择确定后,进入“boat activation”界面,点选“Set boat active for handling”、 “Set boat to ‘Ready for processing’和‘Boat will be removed for unload’”复选框,再点击“Next”按钮。
Centrotherm扩散炉培训
培训内容




开机操作 生产操作 关机操作 维护保养 生产提示
开机操作(一)
1、打开气柜压缩空 气的手动阀并调节 调压阀使其压力在 6Bar左右。 2、打开气柜氮气和 氧气手动阀,并调 节调压阀使其压力 在2Bar左右。
开机操作(二)
3、打开电气柜上的 “Main Switch”在 “ON”位置,设备 上电;CMI电脑自 动启动。 4、打开设备冷却水, 先开出水阀,再开 进水阀。检查水压 在3-6kg /cm2 范围 内。
关机操作(一)
1、检查并确定各管工艺已运行完毕,设定“Paddle”温度为500℃: 按下“Manual/T_Paddle/All/Setpoint”,输入“500”并按 “ENTER” 确认。 2、逆时针旋转TGA顶部调压阀,关闭炉门的压缩空气,使压力为零。
关机操作(二)
3、当各管炉温降到500℃,用手推开炉门5mm左右,防止冷凝后偏磷酸粘住炉门。 4、设定“Spike”温度到20℃。按下“Manual/T_Spike/All/Setpoint”,输入“20” 并按确 认“ENTER”。 5、在CMI触摸屏上分别关闭1-4管的CESAR系统,按下“Service/Shutdown/Yes”;并 且关闭气柜上1-4管“CESAR”的开关。
生产操作(五)
9、进入“Summary”界面,显示3-8步输入的信息,核对无误后,点击 “OK”,信息输入完成。 10、在“Job”页面点击然 “Run” 按钮,回到自动运行状态。机械手自 动送舟到SiC桨上,开始运行工艺。
生产操作(六)
11、当某一管的“Tube state” 显示蓝色时,需要人工输入信息,打开 相应管的CESAR界面。 12、在红色的对话框“Adjust temperature?”中输入需要修改的温度或 默认值,再在键盘上点击“Enter”键。
相关文档
最新文档