大尺寸YAG激光晶体的生长研究

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ＨｕａｎｇＪｉｎｑｉａｎｇ，ＱｕａｎＪｉｌｉａｎｇ
（ＧｕａｎｇｚｈｏｕＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＭａｔｅｒｉａｌＡｃａｄｅｍｙ，Ｇｕａｎｇｚｈｏｕ５１０６１０，Ｃｈｉｎａ）
的质量。关键词：大尺寸；Ｎｄ：ＹＡＧ晶体；质量中图分类号：０７８２文献标识码：Ａ文章编号：１００８—０２１Ｘ（２０１５）０９—００１８— ０２
ＩｍｐｒｏｖｉｎｇｔｈｅＱｕａｌｉｔｙｏｆＬａｒｇｅＳｉｚｅＮｄ：ＹＡＧＣｒｙｓｔａｌ
摘要：随着大功率、高质量固体激光器的发展及应用领域的推广，Ｎｄ：ＹＡＧ激光晶体的市场需求日益增加，同时对晶体的质量要求也越来越高，开展大尺寸晶体生长研究不但可以提高晶体的光学均匀性，而且有利于生产效率的提高。通过对晶体生长设备的改
进，生产用水电的改造，不断改善晶体生长的温场环境和工艺的优化，采用控制析晶率的方法，有效的提高了大尺寸Ｎｄ：ＹＡＧ晶体
ｌａｒｇｅｓｉｚｅｃｙｓｒｔａｌｇｒｏｗｔｈｓｔｕｄｉｅｓｃａｎｎｏｔｏｎｌｙｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｏｐｔｉｃｌａｈｏｍｏｇｅｎｅｉｔｙｏｆｔｈｅｃｒｙｓｔｌｓａ，ｂｕｔｌｓａｏｉｓｃｏｎｄｕｃｉｖｅｔＯｔｈｅ
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｗｉｔｈｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔａｎｄａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓｏｆｈｉｇｈｐｏｗｅｒ，ｈｉｓｈｑｕｌｉａ￣ｓｏｌｉｄ—ｓｔａｔｅｌａｓｅｒｓ，Ｎｄ：ＹＡＧｌａｓｅｒｃｒｙｓｔｌ￣ａ
定的运行，采用中频感应加热方式；温控系统采用２４０４欧陆
具有光学均匀性好、高增益、机械性能好等优点，仍是目前最好、最常用的固体激光材料之一。开展大尺寸晶体生长研究不但可以提高晶体的光学均匀性，而且有利于生产效率的
随着ＬＤ泵浦大功率、高质量固体激光器的发展，对优质大尺寸激光晶体的需求日益增加。ｂｉｄ：ＹＡＧ激光晶体由于
ｌ改进措施１．１生长设备
大尺寸Ｎｄ：ＹＡＧ激光晶体生产周期长，对设备提出了极高的要求，要保证设备在长达１个月左右的时间内连续、稳
ｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎａｎｄｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｌｙｉｍｐｏｖｒｅｔｈｅｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｏｆｔｅｍｐｅｒａｔｕｅｒｉｆｅｌｄｏｆｃｒｙｓｔｌａｇｒｏｗｔｈｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｎｄｐｒｏｃｅｓｓ，ｕｓｉｎｇｔｈｅｃｏｎｔｒｏｌｍｅｔｈｏｄｏｆｃｙｓｒｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎｒａｔｅ，ｗｅｅｆｅｃｔｉｖｅｌｙｒａｉｓｄｔｈｅｑｕａｌｉｔｙｏｆｌａｒｇｅｓｉｚｅＮｄ：ＹＡＧｃｙｓｒｔａ１．Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｌａｒｇｅｓｉｚｅ；Ｎｄ：ＹＡＧｃｒｙｓｔｌ；ｑａｕｌｉａｔｙ
ｉｍｐｒｏｖｅｍｅｎｔｏｆｐｏｄｒｕｃｔｉｏｎｅｆｉｆｃｉｅｎｃｙ．Ｔｈｒｏｕｇｈｔｈｅｉｍｐｒｏｖｅｍｅｎｔｏｆｃｒｙｓｔａｌｇｒｏｗｔｈｅｑｕｉｐｍｅｎｔ，ｐｏｄｒｕｃｔｉｏｎｏｆｈｙｄｒｏｐｏｗｅｒ
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１８・
山东化工ＳＨＡＮＤ０ＮＧＣＨＥＭＩＣＡＬＩＮＤＵＳｎｔＹ
பைடு நூலகம்
２０１５年第４４卷
大尺寸ＹＡＧ激光晶体的生长研究
黄晋强，权纪亮
（广州半导体材料研究所，广东广州５１０６１０）
ｍａｒｋｅｔｄｅｍａｎｄｉｓｍｏｒｅａｎｄｍｏｒｅ，ａｔｔｈｅｓａｍｅｔｉｍｅｔｈｅｑｕａｉｌ￣ｏｆｃｒｙｓｔｌａｓｉｓｉｎｃｒｅａｓｉｎｇｌｙｈｉ曲ｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ．Ｄｅｖｅｌｏｐｉｎｇ