16nm FinFET工艺信号EM问题的分析和解决
合集下载
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
ｔ ｙ ｐ ｅ．Ｗ ｅ ｄ ｉ ｄ ｓ ｏ ｍｅ ａ ｎ ａ ｌ ｙ ｓ ｉ ｓ ｏ ｎ ｔ ｈ ｅ ｔ ｏ ｏ ｌ ｂ ｅ ｈ ａ ｖ ｉ ｏ ｒ ，ｃ ａ ｌ ｃ ｕ ｌ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｍｏ ｄ ｅ ｌ ａ ｎ ｄ ｌ ｆ ｏ ｗ ｔ ｏ ｉ ｆ ｎ ｄ ｔ ｈ ｅ ｒ ｏ ｏ ｔ ｃ ａ ｕ ｓ ｅ ．Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ ｗ ｏ ｕ ｌ ｄ ｒ ｅ ｐ ｏ ｒ ｔ ｍｏ ｒ ｅ ｒ ｅ —
ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ ａ ｎ ｄ Ｖｏ ｈ ｕ ｓ ｏ ｎ ａ Ｔ Ｓ ＭＣ １ ６ ｎ ｍ ｄ ｅ ｓ ｉ ｇ ｎ． Ａ ｌ ａ ｒ ｇ ｅ ｍｉ ｓ ｍａ ｔ ｃ ｈ ｗ ａ ｓ ｆ ｏ ｕ ｎ ｄ ｂ ｅ ｔ ｗ ｅ ｅ ｎ Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ ａ ｎ ｄ Ｖｏ ｌ ｔ ｕ ｓ ｅ ｓ ｐ ｅ ｃ ｉ ａ ｌ ｌ ｙ ｉ ｎ ｐ ｅ ａ ｋ ｃ ｌ ｏ ｃ ｋ
中 文 引 用 格 式 ：杨 会 平 ， 蔡琰 ， 施 建 安 ．１ ６ ｎ ｍ Ｆ ｉ ｎ Ｆ Ｅ Ｔ工 艺信 号 Ｅ Ｍ 问 题 的分 析 和 解 决［ Ｊ ］ ． 电子 技 术应 用 ， ２ ０ １ ７， ４ ３
（ ８ ） ： ２ ５ — ２ ７ ．
英 文 引 用 格 式 ：Ｙ ａ ｎ ｇ Ｈｕ ｉ ｐ ｉ ｎ ｇ ， Ｃ ａ ｉ Ｙ ａ ｎ ， Ｓ ｈ ｉ Ｊ ｉ ａ ｎ ａ ｎ ． Ａ ｎ ａ ｌ ｙ ｓ ｉ ｓ ａ ｎ ｄ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ｓ ｏ ｆ ｓ ｉ ｇ ｎ ａ ｌ Ｅ Ｍ ｉ ｎ １ ６ ｎ ｍ Ｆ ｉ ｎ Ｆ Ｅ Ｔ ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ［ Ｊ ］ ． Ａ ｐ ｐ ｌ ｉ ｃ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ
１ ６ ｎ ｌ ｌ ｌ Ｆ ｉ ｎ Ｆ Ｅ Ｔ工艺信 号 Ｅ Ｍ 问题 的分析和解 决
杨会 平 ， 蔡 琰， 施Baidu Nhomakorabea建 安
（ 英 伟 达半 导 体 科 技 （ 上海） 有 限 公 司北 京 分 公 司 ， 北京 １ ０ ０ ０ ２ ０ ）
摘
要 ：信 号 电 迁 移 的 问 题 在 先 进 工 艺 节 点 越 来 越 受 到 重 视 。 通 过 一 个 基 于 １ ６ ｎ ｍ Ｔ Ｓ ＭＣ 工 艺 的 Ｓ ｏ Ｃ芯 片 ， 分析 了
Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ和 Ｖ ｏ ｈ ｕ ｓ两 个 工 具 在 信 号 电 迁 移 分 析 结 果 的 差 异 。 通 过 对成 因的分 析 ， 解决 了 Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ存 在 的 问 题 ， 使 得 绝 大 多数 信 号 电 迁 移 问题 在 布 局 布 线 阶段 得 到 解 决 ， 大 大 缩 短 了后 端 设 计 收 敛 时 间 。
关 键 词 ：信 号 电 迁移 ； １ ６ ａ ｍ Ｆ ｉ ｎ Ｆ Ｅ Ｔ； 自动 布 局 布 线 ； Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ ； Ｖ ｏ ｈ ｕ ｓ 中 图 分 类 号 ：Ｔ Ｎ ４ ７ 文 献 标 识 码 ：Ａ Ｄ ＯＩ ： １ ０ ． １ ６ １ ５ ７ ／ ｊ ． ｉ ｓ ｓ ｎ ． ０ ２ ５ ８ — ７ ９ ９ ８ ． １ ７ ９ ０ ０ ５
ｌｉ ａ ｓ ｔ ｉ ｃ ｒ ｅ ｓ ｕ ｌ ｔ ｓ ａ ｆ ｔ ｅ ｒ ｉ ｆ ｘ ｉ ｎ ｇ ｔ ｈ ｅ ｍｉ ｓ ｍａ ｔ ｃ ｈ．Ｔｈ ａ ｔ ｗｏ ｕ ｌ ｄ ｂ ｅ ｈ ｅ ｌ ｐ ｆ ｕ ｌ ｗｈ ｅ ｎ ｄ ｅ ｂ ｕ ｇ ｔ ｈ ｅ ｓ ｉ ｇ ｎ ｌ Ｅ ａ Ｍ ｉ ｓ ｓ ｕ ｅ ｉ ｎ ｅ ａ ｒ ｌ ｙ ｓ ｔ ａ ｇ ｅ． Ｋ ｅ ｙ ｗｏ ｒ ｄ ｓ： ｓ ｉ ｇ ｎ ａ ｌ ＥＭ ； １ ６ ｎ ｍ Ｆ ｉ ｎ Ｆ Ｅ Ｔ； Ａ Ｐ Ｒ； Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ； Ｖｏ ｌ ｔ ｕ ｓ
Ｙａ ｎ ｇ Ｈｕ ｉ ｐ ｉ ｎ ｇ， Ｃ ａ ｉ Ｙａ ｎ， Ｓ ｈ ｉ Ｊ ｉ ａ ｎ ａ ｎ （ Ｎ Ｖ Ｉ Ｄ Ｉ Ａ Ｓ ｅ ｍｉ ｃ ｏ ｎ ｄ ｕ ｃ ｔ ｏ ｒ Ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｙ（ ｇ Ｓ ｈ ａ ｎ ｇ ｈ ａ ｉ ）Ｃ ｏ ． ， Ｌ ｔ ｄ Ｂ ｅ ｉ ｊ ｉ ｎ ｇ Ｂ ｒ ａ ｎ ｃ ｈ， Ｂ ｅ ｉ ｊ ｉ ｎ ｇ １ ０ ０ ０ ２ ０， Ｃ ｈ ｉ ｎ ａ ） Ａｂ ｓ ｔ ｒ ａ ｃ ｔ ：Ｓ ｉ ｇ ｎ ａ ｌ ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｍ ｉ ｇ ｒ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ （ Ｅ Ｍ）ｉ ｓ ａ ｎ ｉ ｍ ｐ ｏ ｒ ｔ ａ ｎ ｔ ｖ ｅ ｉ ｒ ｉ ｆ ｃ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｉ ｎ ｔ ｈ ｅ ａ ｄ ｖ ａ ｎ ｃ ｅ ｄ ｐ ｒ ｏ ｃ ｅ ｓ ｓ ｎ ｏ ｄ ｅ ．Ｓ ｉ ｇ ｎ ａ ｌ Ｅ Ｍ ｗ ｅ ｒ ｅ ｒ ｅ ｐ ｏ ｓ ｅ ｄ ｗ ｉ ｔ ｈ Ｉ ｎ ・
ｏ ｆ Ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｎ ｉ ｃ Ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｉ ｑ ｕ ｅ， ２ ０ １ ７， ４ ３ （ ８ ） ： ２ ５ —２ ７ ．
Ａｎ ａ ｌ ｙ ｓ ｉ ｓ ａ ｎ ｄ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ｓ ｏ ｆ ｓ ｉ ｇ ｎ ａ ｌ ＥＭ ｉ ｎ １ ６ ｎ ｍ Ｆ ｉ ｎ Ｆ ＥＴ ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ
０ 引 言 随着 芯 片制 造技 术水 平 的持续 发展 ， 先 进 工 艺 节 点 出 现 的 新 物 理 特 性 对 芯 片 性 能 和 可 靠 性 的 影 响 日 益 复
杂 化 。 以芯 片 金 属 线 的 电 迁 移 （ Ｅ Ｍ） 现象 为例 ， 该 效 应 在
ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ ａ ｎ ｄ Ｖｏ ｈ ｕ ｓ ｏ ｎ ａ Ｔ Ｓ ＭＣ １ ６ ｎ ｍ ｄ ｅ ｓ ｉ ｇ ｎ． Ａ ｌ ａ ｒ ｇ ｅ ｍｉ ｓ ｍａ ｔ ｃ ｈ ｗ ａ ｓ ｆ ｏ ｕ ｎ ｄ ｂ ｅ ｔ ｗ ｅ ｅ ｎ Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ ａ ｎ ｄ Ｖｏ ｌ ｔ ｕ ｓ ｅ ｓ ｐ ｅ ｃ ｉ ａ ｌ ｌ ｙ ｉ ｎ ｐ ｅ ａ ｋ ｃ ｌ ｏ ｃ ｋ
中 文 引 用 格 式 ：杨 会 平 ， 蔡琰 ， 施 建 安 ．１ ６ ｎ ｍ Ｆ ｉ ｎ Ｆ Ｅ Ｔ工 艺信 号 Ｅ Ｍ 问 题 的分 析 和 解 决［ Ｊ ］ ． 电子 技 术应 用 ， ２ ０ １ ７， ４ ３
（ ８ ） ： ２ ５ — ２ ７ ．
英 文 引 用 格 式 ：Ｙ ａ ｎ ｇ Ｈｕ ｉ ｐ ｉ ｎ ｇ ， Ｃ ａ ｉ Ｙ ａ ｎ ， Ｓ ｈ ｉ Ｊ ｉ ａ ｎ ａ ｎ ． Ａ ｎ ａ ｌ ｙ ｓ ｉ ｓ ａ ｎ ｄ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ｓ ｏ ｆ ｓ ｉ ｇ ｎ ａ ｌ Ｅ Ｍ ｉ ｎ １ ６ ｎ ｍ Ｆ ｉ ｎ Ｆ Ｅ Ｔ ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ［ Ｊ ］ ． Ａ ｐ ｐ ｌ ｉ ｃ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ
１ ６ ｎ ｌ ｌ ｌ Ｆ ｉ ｎ Ｆ Ｅ Ｔ工艺信 号 Ｅ Ｍ 问题 的分析和解 决
杨会 平 ， 蔡 琰， 施Baidu Nhomakorabea建 安
（ 英 伟 达半 导 体 科 技 （ 上海） 有 限 公 司北 京 分 公 司 ， 北京 １ ０ ０ ０ ２ ０ ）
摘
要 ：信 号 电 迁 移 的 问 题 在 先 进 工 艺 节 点 越 来 越 受 到 重 视 。 通 过 一 个 基 于 １ ６ ｎ ｍ Ｔ Ｓ ＭＣ 工 艺 的 Ｓ ｏ Ｃ芯 片 ， 分析 了
Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ和 Ｖ ｏ ｈ ｕ ｓ两 个 工 具 在 信 号 电 迁 移 分 析 结 果 的 差 异 。 通 过 对成 因的分 析 ， 解决 了 Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ存 在 的 问 题 ， 使 得 绝 大 多数 信 号 电 迁 移 问题 在 布 局 布 线 阶段 得 到 解 决 ， 大 大 缩 短 了后 端 设 计 收 敛 时 间 。
关 键 词 ：信 号 电 迁移 ； １ ６ ａ ｍ Ｆ ｉ ｎ Ｆ Ｅ Ｔ； 自动 布 局 布 线 ； Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ ； Ｖ ｏ ｈ ｕ ｓ 中 图 分 类 号 ：Ｔ Ｎ ４ ７ 文 献 标 识 码 ：Ａ Ｄ ＯＩ ： １ ０ ． １ ６ １ ５ ７ ／ ｊ ． ｉ ｓ ｓ ｎ ． ０ ２ ５ ８ — ７ ９ ９ ８ ． １ ７ ９ ０ ０ ５
ｌｉ ａ ｓ ｔ ｉ ｃ ｒ ｅ ｓ ｕ ｌ ｔ ｓ ａ ｆ ｔ ｅ ｒ ｉ ｆ ｘ ｉ ｎ ｇ ｔ ｈ ｅ ｍｉ ｓ ｍａ ｔ ｃ ｈ．Ｔｈ ａ ｔ ｗｏ ｕ ｌ ｄ ｂ ｅ ｈ ｅ ｌ ｐ ｆ ｕ ｌ ｗｈ ｅ ｎ ｄ ｅ ｂ ｕ ｇ ｔ ｈ ｅ ｓ ｉ ｇ ｎ ｌ Ｅ ａ Ｍ ｉ ｓ ｓ ｕ ｅ ｉ ｎ ｅ ａ ｒ ｌ ｙ ｓ ｔ ａ ｇ ｅ． Ｋ ｅ ｙ ｗｏ ｒ ｄ ｓ： ｓ ｉ ｇ ｎ ａ ｌ ＥＭ ； １ ６ ｎ ｍ Ｆ ｉ ｎ Ｆ Ｅ Ｔ； Ａ Ｐ Ｒ； Ｉ ｎ ｎ ｏ ｖ ｕ ｓ； Ｖｏ ｌ ｔ ｕ ｓ
Ｙａ ｎ ｇ Ｈｕ ｉ ｐ ｉ ｎ ｇ， Ｃ ａ ｉ Ｙａ ｎ， Ｓ ｈ ｉ Ｊ ｉ ａ ｎ ａ ｎ （ Ｎ Ｖ Ｉ Ｄ Ｉ Ａ Ｓ ｅ ｍｉ ｃ ｏ ｎ ｄ ｕ ｃ ｔ ｏ ｒ Ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｙ（ ｇ Ｓ ｈ ａ ｎ ｇ ｈ ａ ｉ ）Ｃ ｏ ． ， Ｌ ｔ ｄ Ｂ ｅ ｉ ｊ ｉ ｎ ｇ Ｂ ｒ ａ ｎ ｃ ｈ， Ｂ ｅ ｉ ｊ ｉ ｎ ｇ １ ０ ０ ０ ２ ０， Ｃ ｈ ｉ ｎ ａ ） Ａｂ ｓ ｔ ｒ ａ ｃ ｔ ：Ｓ ｉ ｇ ｎ ａ ｌ ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｍ ｉ ｇ ｒ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ （ Ｅ Ｍ）ｉ ｓ ａ ｎ ｉ ｍ ｐ ｏ ｒ ｔ ａ ｎ ｔ ｖ ｅ ｉ ｒ ｉ ｆ ｃ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｉ ｎ ｔ ｈ ｅ ａ ｄ ｖ ａ ｎ ｃ ｅ ｄ ｐ ｒ ｏ ｃ ｅ ｓ ｓ ｎ ｏ ｄ ｅ ．Ｓ ｉ ｇ ｎ ａ ｌ Ｅ Ｍ ｗ ｅ ｒ ｅ ｒ ｅ ｐ ｏ ｓ ｅ ｄ ｗ ｉ ｔ ｈ Ｉ ｎ ・
ｏ ｆ Ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｎ ｉ ｃ Ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｉ ｑ ｕ ｅ， ２ ０ １ ７， ４ ３ （ ８ ） ： ２ ５ —２ ７ ．
Ａｎ ａ ｌ ｙ ｓ ｉ ｓ ａ ｎ ｄ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ｓ ｏ ｆ ｓ ｉ ｇ ｎ ａ ｌ ＥＭ ｉ ｎ １ ６ ｎ ｍ Ｆ ｉ ｎ Ｆ ＥＴ ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ
０ 引 言 随着 芯 片制 造技 术水 平 的持续 发展 ， 先 进 工 艺 节 点 出 现 的 新 物 理 特 性 对 芯 片 性 能 和 可 靠 性 的 影 响 日 益 复
杂 化 。 以芯 片 金 属 线 的 电 迁 移 （ Ｅ Ｍ） 现象 为例 ， 该 效 应 在