16nm FinFET工艺信号EM问题的分析和解决

合集下载
  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
t y p e.W e d i d s o me a n a l y s i s o n t h e t o o l b e h a v i o r ,c a l c u l a t i o n mo d e l a n d l f o w t o i f n d t h e r o o t c a u s e .I n n o v u s w o u l d r e p o r t mo r e r e —
n o v u s a n d Vo h u s o n a T S MC 1 6 n m d e s i g n. A l a r g e mi s ma t c h w a s f o u n d b e t w e e n I n n o v u s a n d Vo l t u s e s p e c i a l l y i n p e a k c l o c k
中 文 引 用 格 式 :杨 会 平 , 蔡琰 , 施 建 安 .1 6 n m F i n F E T工 艺信 号 E M 问 题 的分 析 和 解 决[ J ] . 电子 技 术应 用 , 2 0 1 7, 4 3
( 8 ) : 2 5 — 2 7 .
英 文 引 用 格 式 :Y a n g Hu i p i n g , C a i Y a n , S h i J i a n a n . A n a l y s i s a n d s o l u t i o n s o f s i g n a l E M i n 1 6 n m F i n F E T t e c h n o l o g y [ J ] . A p p l i c a t i o n
1 6 n l l l F i n F E T工艺信 号 E M 问题 的分析和解 决
杨会 平 , 蔡 琰, 施Baidu Nhomakorabea建 安
( 英 伟 达半 导 体 科 技 ( 上海) 有 限 公 司北 京 分 公 司 , 北京 1 0 0 0 2 0 )

要 :信 号 电 迁 移 的 问 题 在 先 进 工 艺 节 点 越 来 越 受 到 重 视 。 通 过 一 个 基 于 1 6 n m T S MC 工 艺 的 S o C芯 片 , 分析 了
I n n o v u s和 V o h u s两 个 工 具 在 信 号 电 迁 移 分 析 结 果 的 差 异 。 通 过 对成 因的分 析 , 解决 了 I n n o v u s存 在 的 问 题 , 使 得 绝 大 多数 信 号 电 迁 移 问题 在 布 局 布 线 阶段 得 到 解 决 , 大 大 缩 短 了后 端 设 计 收 敛 时 间 。
关 键 词 :信 号 电 迁移 ; 1 6 a m F i n F E T; 自动 布 局 布 线 ; I n n o v u s ; V o h u s 中 图 分 类 号 :T N 4 7 文 献 标 识 码 :A D OI : 1 0 . 1 6 1 5 7 / j . i s s n . 0 2 5 8 — 7 9 9 8 . 1 7 9 0 0 5
li a s t i c r e s u l t s a f t e r i f x i n g t h e mi s ma t c h.Th a t wo u l d b e h e l p f u l wh e n d e b u g t h e s i g n l E a M i s s u e i n e a r l y s t a g e. K e y wo r d s: s i g n a l EM ; 1 6 n m F i n F E T; A P R; I n n o v u s; Vo l t u s
Ya n g Hu i p i n g, C a i Ya n, S h i J i a n a n ( N V I D I A S e mi c o n d u c t o r T e c h n o l o y( g S h a n g h a i )C o . , L t d B e i j i n g B r a n c h, B e i j i n g 1 0 0 0 2 0, C h i n a ) Ab s t r a c t :S i g n a l e l e c t r o m i g r a t i o n ( E M)i s a n i m p o r t a n t v e i r i f c a t i o n i n t h e a d v a n c e d p r o c e s s n o d e .S i g n a l E M w e r e r e p o s e d w i t h I n ・
o f E l e c t r o n i c T e c h n i q u e, 2 0 1 7, 4 3 ( 8 ) : 2 5 —2 7 .
An a l y s i s a n d s o l u t i o n s o f s i g n a l EM i n 1 6 n m F i n F ET t e c h n o l o g y
0 引 言 随着 芯 片制 造技 术水 平 的持续 发展 , 先 进 工 艺 节 点 出 现 的 新 物 理 特 性 对 芯 片 性 能 和 可 靠 性 的 影 响 日 益 复
杂 化 。 以芯 片 金 属 线 的 电 迁 移 ( E M) 现象 为例 , 该 效 应 在
相关文档
最新文档