电子特气基础知识
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✓ 自燃气体：
定义: 同环境空气接触能自行点火并燃烧的物质． 自燃物质的自燃
点通常低于环境温度． 例如:
➢ Disilane乙硅烷:低于54°C (130°F) ➢ Silane硅烷:极低 ➢ Phosphine磷化氢:100°C (212°F) ➢ Diborane乙硼烷： 40 to 50°C (104-122°F)
➢ 气体浓度在其燃烧范围内; ➢ 氧化介质如：空气或氧气; 及： ➢ 激发能源
燃烧极限：
➢ 燃烧下限( LFL):4.0% （对于氢气）
➢ 燃烧上限 (UFL):75% （对于氢气） 例如：
➢ Hydrogen, Carbon Monoxide; Methane; Propane; Ethylene, Acetylene
9600 11
1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
1250
5
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
定义: 能够加速燃烧或使可燃物质燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性．
例如:
➢ Oxygen O2 ➢ Fluorine F2 ➢ Chlorine CL2 ➢ Nitrous Oxide( Unstable) NOX ➢ Nitrogen Oxide NO ➢ Chlorine Trifluoride CLF3 ➢ Nitrogen Trifluoride NF3
✓压力 ✓毒性 ✓腐蚀性 ✓自燃性 ✓燃烧性 ✓氧化性 ✓窒息性 ✓深冷性
3
Chapห้องสมุดไป่ตู้er 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA
PPM
CF4
N/A
NH3
20
SiH4
5
PH3
0.3
GeH4
0.2
B2H6
0.1
AsH3
0.05
B(CH3)3
7
STEL
PPM
N/A 35
1
PEL
PPM
N/A
0.3 0.2 0.1 0.05
IDLH
PPM
N/A 300
50
15 3
LC50
PPM/4 hour
N/A
电子特气基础知识
第一章：电子特种气体基础知识 1. 电子特种气体分类：
✓ 可燃气体 • SiH4;CH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3…….
✓ 氧化性气体 • O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO……
✓ 腐蚀性气体 • HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4;NH3; WF6; Cl2; SiHCl3; SiH2Cl2……
控制方法：
➢ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ➢ 对氟气应用系统进行金属钝化 ➢ 远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
➢废物处理
6
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓腐蚀性气体
对人体组织器官的破坏：
➢皮肤 ➢眼睛 ➢呼吸道 ➢组织器官
腐蚀性气体中毒的途径：
➢呼吸 ➢皮肤接触 ➢消化系统
分类：
➢酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ➢碱性 : NH3
7
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
控制方法: 同燃烧气体, 另外还有：
➢ 可能情况下用惰性气体稀释 ➢ 控制库存 ➢ 采取流量控制并采用充分的通风 ➢ 系统设计防止回流
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓ 燃烧气体：
DOT（美国运输部） 定义: 同空气混合形成浓度不超过１３％的可燃气体混和物的压缩气体，或其 空气混合物的燃烧范围不少于１２％的压缩气体，而不考虑其燃烧下限 ． 引燃燃烧气体需要同时具备三个条件:
氢气- 特别注意
➢ 低激发能源 ➢ 宽的燃烧范围 ➢ 通常情况下视为自燃气体 ➢ 快的扩散速度
控制方法( 防止火三角的ignition形成)
应距离可燃物, 氧化剂,激发能源至少20英尺. ➢ 限制;可燃物; 氧化剂; 激发能源 ➢ 气体泄漏探测系统 ➢ 通风良好
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
LC50(Lethal Concentration 50):50%死亡率的致命浓度PPM级 LD50(Lethal Dose 50 )50%死亡率的致命浓度(mg/kg)
•慢性 – 长期反复接触造成的中毒效果，通常经过很长时间才会慢慢显现出来．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
4. 化学危害：
毒性气体：
中毒形式： •急性 – 短期的, 高浓度，即时的效果．中毒很快发生并对人体立即造成伤害．如 ： CO; AsH3; PH3; Cl2…… •几种术语:
TLV (Threshold Limit Value) 人体可长时间承受的化学物质在空气中的浓度 STEL( Short Term Exposure Limit ):人体短时间内所能接触化学物的最大浓度
✓ 惰性气体 • N2; He; Ar; Kr; Xe; CF4; C2F6; C3F8; CHF3……
2. 电子特种气体的危害
一般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛装或运输，每种气体 都有一种或两种以上的危害性．
2
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体的主要危险和危害性如下 :
可燃气体的燃烧范围
Gas
SiH4 NH3 H2 C2H2 CH4 PH3 B2H6 GeH4
Flammable Range 1.4~96% 15~27% 4~75% 2.5~82% 5~15% 1.6~98% 0.8~98% N/A
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓ 氧化性气体：
定义: 同环境空气接触能自行点火并燃烧的物质． 自燃物质的自燃
点通常低于环境温度． 例如:
➢ Disilane乙硅烷:低于54°C (130°F) ➢ Silane硅烷:极低 ➢ Phosphine磷化氢:100°C (212°F) ➢ Diborane乙硼烷： 40 to 50°C (104-122°F)
➢ 气体浓度在其燃烧范围内; ➢ 氧化介质如：空气或氧气; 及： ➢ 激发能源
燃烧极限：
➢ 燃烧下限( LFL):4.0% （对于氢气）
➢ 燃烧上限 (UFL):75% （对于氢气） 例如：
➢ Hydrogen, Carbon Monoxide; Methane; Propane; Ethylene, Acetylene
9600 11
1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
定义: 能够加速燃烧或使可燃物质燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性．
例如:
➢ Oxygen O2 ➢ Fluorine F2 ➢ Chlorine CL2 ➢ Nitrous Oxide( Unstable) NOX ➢ Nitrogen Oxide NO ➢ Chlorine Trifluoride CLF3 ➢ Nitrogen Trifluoride NF3
✓压力 ✓毒性 ✓腐蚀性 ✓自燃性 ✓燃烧性 ✓氧化性 ✓窒息性 ✓深冷性
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Chapห้องสมุดไป่ตู้er 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA
PPM
CF4
N/A
NH3
20
SiH4
5
PH3
0.3
GeH4
0.2
B2H6
0.1
AsH3
0.05
B(CH3)3
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STEL
PPM
N/A 35
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PEL
PPM
N/A
0.3 0.2 0.1 0.05
IDLH
PPM
N/A 300
50
15 3
LC50
PPM/4 hour
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电子特气基础知识
第一章：电子特种气体基础知识 1. 电子特种气体分类：
✓ 可燃气体 • SiH4;CH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3…….
✓ 氧化性气体 • O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO……
✓ 腐蚀性气体 • HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4;NH3; WF6; Cl2; SiHCl3; SiH2Cl2……
控制方法：
➢ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ➢ 对氟气应用系统进行金属钝化 ➢ 远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
➢废物处理
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓腐蚀性气体
对人体组织器官的破坏：
➢皮肤 ➢眼睛 ➢呼吸道 ➢组织器官
腐蚀性气体中毒的途径：
➢呼吸 ➢皮肤接触 ➢消化系统
分类：
➢酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ➢碱性 : NH3
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
控制方法: 同燃烧气体, 另外还有：
➢ 可能情况下用惰性气体稀释 ➢ 控制库存 ➢ 采取流量控制并采用充分的通风 ➢ 系统设计防止回流
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓ 燃烧气体：
DOT（美国运输部） 定义: 同空气混合形成浓度不超过１３％的可燃气体混和物的压缩气体，或其 空气混合物的燃烧范围不少于１２％的压缩气体，而不考虑其燃烧下限 ． 引燃燃烧气体需要同时具备三个条件:
氢气- 特别注意
➢ 低激发能源 ➢ 宽的燃烧范围 ➢ 通常情况下视为自燃气体 ➢ 快的扩散速度
控制方法( 防止火三角的ignition形成)
应距离可燃物, 氧化剂,激发能源至少20英尺. ➢ 限制;可燃物; 氧化剂; 激发能源 ➢ 气体泄漏探测系统 ➢ 通风良好
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
LC50(Lethal Concentration 50):50%死亡率的致命浓度PPM级 LD50(Lethal Dose 50 )50%死亡率的致命浓度(mg/kg)
•慢性 – 长期反复接触造成的中毒效果，通常经过很长时间才会慢慢显现出来．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
4. 化学危害：
毒性气体：
中毒形式： •急性 – 短期的, 高浓度，即时的效果．中毒很快发生并对人体立即造成伤害．如 ： CO; AsH3; PH3; Cl2…… •几种术语:
TLV (Threshold Limit Value) 人体可长时间承受的化学物质在空气中的浓度 STEL( Short Term Exposure Limit ):人体短时间内所能接触化学物的最大浓度
✓ 惰性气体 • N2; He; Ar; Kr; Xe; CF4; C2F6; C3F8; CHF3……
2. 电子特种气体的危害
一般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛装或运输，每种气体 都有一种或两种以上的危害性．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体的主要危险和危害性如下 :
可燃气体的燃烧范围
Gas
SiH4 NH3 H2 C2H2 CH4 PH3 B2H6 GeH4
Flammable Range 1.4~96% 15~27% 4~75% 2.5~82% 5~15% 1.6~98% 0.8~98% N/A
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓ 氧化性气体：