基于红外热效应的电容式气体传感器研究

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２１０１年第３Ｏ卷第４期
传感器与微系统（ｒｎｄｃｒｎｃｏｙｔｅｈｏｏｉｓＴａｓｕｅｄＭｉｓｓｍＴｃｎｌｅ）ａｒｅｇ
３１
基于红外热效应 Fra bibliotek 电容式气体传感器研究
张正勇，杨地委，
（．国科学院合肥物质科学研究院合肥智能机械研究所，徽合肥２０３；１中安３０１２中国科学技术大学信息科学技术学院自动化系，．安徽合肥２０２；３０７３安徽省仿生感知与先进机器人技术重点实验室，徽合肥２０３；．安３０１
ｄｆｅｅｃｂｏｐｉｎｏｒｒｄｂｔｅｅｌｐｒｓａｅｌｄｃａｅｎｘｄｔｓｇｓｉｎｉｏｍｅｔｉｒｎｅａｓｒｔｆｉａｅｅｗｅｎｓａｓｕｅｔｔｓｉｓａｅｈｍｂｒａｄｍｉｅｅｔａｎｅｖｒｎｎ，ｆｏｆｎｅｇｎｔｅｃｐｃｔｎｅｖｒｔｎｅｐｅｓｔｓａｏｃｎｒｔｎｃａｇｎｅｖｒｎｎ．ｈｘｅｉｎａｅｕｔｓｏｈｔｈａａｉｃａｉｉｘｒｓｅｔｇｓｃｎｅｔａｉｈｎｅｉｎｉｏｍｅｔＴｅｅｐｒｍｅｔｌｒｓｌｈｗｔａａａｏｏ
４传感技术联合国家重点实验室，徽合肥２０３）．安３０１
摘
要：提出了一种利用气体吸收红外并产生热效应现象检测气体的方法，设计并制造了一种红外电容
式气体传感器。该气体传感器采用在密封气室中密封纯净的被测气体，利用被测气体吸收红外的热效应并由此产生压力变化，该压力变化转换为弹性应变膜的应变致使平板电容器的电容变化，由于环境中被测气体与密封气室中被测气体对红外的差分吸收，得电容的变化量与环境中被测气体的体积分数相关。使对甲烷气体的实验结果表明：其检测下限为１０× ０分辨率为５１一。０１一，０× ０关键词：气体传感器；红外热效应；电容；红外差分吸收
ＺＨＡＮＧｅｇｙｎＺｈｎ — ｏｇ．ＹＡＮＧ．ｉＤｉｗｅ
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中图分类号：Ｔ１Ｐ２２文献标识码：Ａ文章编号：１０－７７２１）４０３－３００９８（０１０－０１０－
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