长度测量技术(形位公差)
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1 n 轮廓算术平均偏差Ra Ra： (1) 轮廓算术平均偏差Ra： Ra = n ∑ yi i =1
在取样长度内， 在取样长度内，被测实际轮廓上各点 至中线距离绝对值的平均值 (2) 微观不平度十点高度Rz：z = (∑ y pi + ∑ yvi ) / 5 微观不平度十点高度Rz R Rz：
i =1 i =1 5 5
f m = Rmax − Rmin
5
最小包容区域法： 最小包容区域法：理想圆位置符 合最小条件。 合最小条件。 判别准则： 判别准则：由两同心圆包容实际 轮廓时， 轮廓时，至少有四个实测点内外 相间的在两个圆周上。 相间的在两个圆周上。
最大内切圆法：以内切于实际轮廓， 最大内切圆法：以内切于实际轮廓， 且半径为最大的内切圆圆心为理想 圆的圆心。 圆的圆心。 只适用于内圆
二、直线度误差的测量 直线度误差的测量
直线度误差： 直线度误差：包容被测直线实际轮廓 且距离为最小的两平行直线的距离 测量方法： 测量方法：
包容直线 实际线 ΔS
刀口尺法
单测头法
自准直仪法
评定方法：求最小二乘直线， 评定方法：求最小二乘直线，计算各点与直线的 距离δ 直线度误差Δ 距离δi，直线度误差ΔS=δmax－δmin
12
2、粗糙度的定义： 粗糙度的定义：
粗糙度定义： 粗糙度定义：表面粗糙度是一种微观的 几何形状误差。 几何形状误差。 粗糙度特点：量值小（波距λ小于1mm)，变化频率高。 粗糙度特点：量值小（波距λ小于1mm)，变化频率高。 1mm) 影响零件的耐磨性。 对零件性能的影响： 影响零件的耐磨性 对零件性能的影响： •影响零件的耐磨性。 •影响配合性质的稳定性。 影响配合性质的稳定性。 影响配合性质的稳定性 •影响零件的疲劳强度。 影响零件的疲劳强度。 影响零件的疲劳强度 •影响零件的抗腐蚀性。 影响零件的抗腐蚀性。 影响零件的抗腐蚀性 •影响零件的密封性。 影响零件的密封性。 影响零件的密封性 •影响零件的外观、测量精度、表面光学性能 影响零件的外观、测量精度、 影响零件的外观 •影响导电导热性能和胶合强度等 影响导电导热性能和胶合强度等
2
形位误差的分类
3
形状误差
形状误差评定时，理想要素 形状误差评定时， 的位置应符合最小条件。 的位置应符合最小条件。 最小条件:是指被测实际要素 最小条件 是指被测实际要素 对其理想要素的最大变动量 为最小。 为最小。
4
第三节 形位误差测量
一、圆度误差定义： 圆度误差定义 圆度误差指包容同一正截面实际轮廓且半径差为最小的两 同心圆的距离f 同心圆的距离fm。
最小外接圆法： 最小外接圆法： 以包容实际轮廓且半 径为最小的外接圆圆 心为理想圆的圆心。 心为理想圆的圆心。 只适用于外圆。 只适用于外圆。 最小二乘圆法： 最小二乘圆法： 以实际轮廓上各点至圆 周距离的平方和为最小 的圆的圆心为理想圆的 圆心。 圆心。 圆度误差的评定结果以最小包容区 域法最小，最小二乘法稍大， 域法最小，最小二乘法稍大，其他 两种更大。 两种更大。
F
1
F
2
y=f(x)
Fn
算术平均中线：将实际轮廓划分上下两部分， 算术平均中线：将实际轮廓划分上下两部分， 且使上下面积相等的直线 。
14
0 G1 G2 L Gm x
4、粗糙度的评定参数： 、粗糙度的评定参数：
评定參数：通常采用下列參数之一来定量评定表面粗糙度。 评定參数：通常采用下列參数之一来定量评定表面粗糙度。
13
3、粗糙度评定基准： 粗糙度评定基准：
基准线
评定基准：评定表面粗糙度的一段参考线。 评定基准：评定表面粗糙度的一段参考线。 国家标准规定：评定基准为轮廓中线。 国家标准规定：评定基准为轮廓中线。
L L L
n
L
L
包括： 包括：最小二乘中线和算术平均中线 最小二乘中线： 最小二乘中线：使轮廓上各点至该线的 距离平方和为最小。 距离平方和为最小。
16
2、粗糙度的非接触式测量： 、粗糙度的非接触式测量：
工作原理：激光束聚焦于被测表面， 工作原理：激光束聚焦于被测表面， 反射光束至光电探测器， 反射光束至光电探测器， 表面微观轮廓引起离焦， 表面微观轮廓引起离焦， 控制物镜系统重新聚焦， 控制物镜系统重新聚焦， 输出控制信号大小（电流）。 输出控制信号大小（电流）。 光学轮廓仪
21
(2) 电涡流位移传感器
原理： 原理： 交变电流I 交变电流I1 交变磁场H 交变磁场H2 参数变化 传感器线圈 电涡流I 电涡流I2 输出信号 交变磁场H 交变磁场H1 被测导体
－－电感 阻抗、 电感、 线圈与导体距离变化 －－电感、阻抗、品质因数等变化 --- 输出信号 特点：不受液体、油污、 特点：不受液体、油污、灰尘等介质的影响 测量范围有限： 测量范围有限：仅适于近距离测试 数百毫米 非线性， 非线性，精度不高 体积大， 体积大，功耗高
17
第五章 长度测量技术
第一节 长度检测概述 第二节 尺寸测量 第三节 形位误差测量 第四节 表面粗糙度测量 第五节 线位移与距离测量 第六节 物位检测技术
18
一、线位移测量
1、接触式线位移测量： 接触式线位移测量：
电感位移传感器： (1) 电感位移传感器： 自感式传感器： 自感式传感器： 原理： 原理：位移 → 线圈电感变化 特点：可靠，非线性严重 特点：可靠， 范围：测量微位移（<1mm） 范围：测量微位移（<1mm） 互感式传感器（差动变压器）： 互感式传感器（差动变压器）： 原理：位移 → 两线圈互感变化 原理： 特点： 特点：非线性小 范围：测量大范围位移（<100mm） 范围：测量大范围位移（<100mm）
22
(3) 激光位移传感器
构成：激光器： 构成：激光器：发射激光束 发射端镜头：准直、 发射端镜头：准直、汇聚 接收端镜头： 接收端镜头：成像 接收器：光电转换（CCD, PSD） 接收器：光电转换（ ） 原理： 原理： 传感器探头发射出的激光, 传感器探头发射出的激光,通过特殊的透镜被汇聚成一个直径极小的光 此光束被测量表面漫反射到一个分辨率极高的CCD PSD探测器上 CCD或 探测器上, 束，此光束被测量表面漫反射到一个分辨率极高的CCD或PSD探测器上, 通过CCD或PSD所感应到光束位置的不同，精确测量被测物体位置变化。 通过CCD或PSD所感应到光束位置的不同，精确测量被测物体位置变化。 CCD 所感应到光束位置的不同 特点：测量精度高（0.03％ 特点：测量精度高（0.03％)，分辨率高(0.005％）。 分辨率高(0.005％）。 (0.005 与被测体无关（软硬、颜色、冷热、材料 ） 与被测体无关（软硬、颜色、冷热、材料…）
在取样长度内，被测实际轮廓上5 在取样长度内，被测实际轮廓上5点最大峰 高平均值与5 高平均值与5点最大谷深平均值的绝对值和 轮廓最大高度Ry Ry： (3) 轮廓最大高度Ry：RY = YP max + YV max 在取样长度内， 在取样长度内，被测实际轮廓上峰顶 与谷底之间距离
15
二、粗糙度的测量方法
1、粗糙度的接触式测量： 、粗糙度的接触式测量：
工作原理：触针接触被测表面， 工作原理：触针接触被测表面， 移动一段长度（切断长度）， 移动一段长度（切断长度）， 传感器输出位移信号 测量头：导头－保持移动方向，近似测量基准 测量头：导头－保持移动方向， 触针－ 触针－获取轮廓信号 位移传感器：电感传感器、 位移传感器：电感传感器、压电传感器 触针式轮廓仪： 触针式轮廓仪： 电感式轮廓仪、压电式轮廓仪、 电感式轮廓仪、压电式轮廓仪、激光干涉式轮廓仪
第五章 长度测量技术
第一节 长度检测概述 第二节 尺寸测量 第三节 形位误差测量 第四节 表面粗糙度测量 第五节 线位移与距离测量 第六节 物位检测技术
1
第三节 形位误差测量 一、形位误差的基本概念 形位误差测量是将被测要素和理想要素进行比较， 形位误差测量是将被测要素和理想要素进行比较，从而 用数值描述实际要素与理想要素形状或位置上的差异。 用数值描述实际要素与理想要素形状或位置上的差异。 每个参数的测量过程包括测量和评定两个阶段。 每个参数的测量过程包括测量和评定两个阶段。 测量和评定两个阶段
y
∆ ∆
9
x
第三节 形位误差测量
三、平面度误差的测量 平面度误差的测量
平面度误差： 平面度误差：包容同一正截面实际轮廓 且距离为最小的两平行平面的距离 测量方法： 测量方法：
单测头法
自准直仪法
激光干涉法
评定方法：计算最小二乘平面， 评定方法：计算最小二乘平面， 计算各点与平面的距离δ 计算各点与平面的距离δi， 平面度误差Δ 平面度误差ΔP=δmax－δmin
23
量程可达数十厘米。 量程可达数十厘米。
24
二、距离测量
1、飞行时间测距
单个激光脉冲 原理： 激光器发出单个激光脉冲， 原理： 激光器发出单个激光脉冲， 并返回发射端接收 被测距离: 被测距离: 激光器 被测目标
d = ct / 2
c --- 光速
t --- 往返飞行时间
特点：对时间测量精度要求高， 特点：对时间测量精度要求高，适于测量超长距离 应用：建筑测绘、桥梁监测、军事探测、野外勘探、 应用：建筑测绘、桥梁监测、军事探测、野外勘探、天体测量
20
2、非接触式线位移测量： 非接触式线位移测量：
电容位移传感器： (1) 电容位移传感器： 原理： 极板移动→极距变化→ 原理：位移 → 极板移动→极距变化→电容变化 初始电容量： 初始电容量： C
0
=
εA δ 0
∆C ∆δ = C0 δ0
特点：分辨力极高：位移1nm 特点：分辨力极高：位移1nm 动极板质量小，惯性小，动态响应好； 动极板质量小，惯性小，动态响应好； 非接触，自身发热和功耗小； 非接触，自身发热和功耗小； 非线性严重 范围：测量微位移（<1mm） 范围：测量微位移（<1mm）
7
圆度误差测量
圆度仪测量法：将被测零件安置在量仪工作台上， 圆度仪测量法：将被测零件安置在量仪工作台上，调整其 轴线与量仪回转轴同轴。 轴线与量仪回转轴同轴。记录被测零件在回转一周内截面 各点的半径差，绘制出极坐标图，最后评定出圆度误差。 各点的半径差，绘制出极坐标图，最后评定出圆度误差。
8
第三节 形位误差测量
B 莫尔条纹宽度： 莫尔条纹宽度： = W W ≈ 2 sin(θ / 2) θ
W=a+b： 栅距， W=a+b：W-栅距， 线宽， a-线宽，b-缝宽
特点：精度高： 特点：精度高：光栅刻线误差的平均效应 范围大： 范围大：取决于主尺长度 响应快：光电式， 响应快：光电式，适于动态
u = u0 + U m sin(2π x / W )
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& U 0 = − jω ( M 1 − M 2 ) I
(2) 光栅式位移传ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ器
定义： 定义：光栅是在玻璃基体上刻有 均匀分布条纹的光学元件。 均匀分布条纹的光学元件。 构成：主光栅（标尺光栅）、指 构成：主光栅（标尺光栅）、指 ）、 示光栅、光路系统、光电元件。 示光栅、光路系统、光电元件。 工作原理：叠合在一起形成一个小角度， 工作原理：叠合在一起形成一个小角度， 移动时，形成明暗相间的条纹－－莫尔条纹 移动时，形成明暗相间的条纹－－莫尔条纹 －－
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第五章 长度测量技术
第一节 长度检测概述 第二节 尺寸测量 第三节 形位误差测量 第四节 表面粗糙度测量 第五节 线位移与距离测量 第六节 物位检测技术
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一、粗糙度的基本概念
1、零件表面的形貌： 零件表面的形貌：
具有微小峰谷，可分为三种情况: 具有微小峰谷，可分为三种情况: (1)形状误差 (1)形状误差 ：零件表面中峰谷的波长和波高之比 大于1000的不平程度属于形状误差。 大于1000的不平程度属于形状误差。 1000的不平程度属于形状误差 (2)表面波纹度： (2)表面波纹度：零件表面中峰谷的波长和波高之比 表面波纹度 等于50～1000的不平程度称为波纹度。 等于50～1000的不平程度称为波纹度。 50 的不平程度称为波纹度 会引起零件运转时的振动、 会引起零件运转时的振动、噪声 (3)表面粗糙度： (3)表面粗糙度：零件表面中峰谷的波长和波高之比 表面粗糙度 小于50成为表面粗糙度。 小于50成为表面粗糙度。 50成为表面粗糙度
在取样长度内， 在取样长度内，被测实际轮廓上各点 至中线距离绝对值的平均值 (2) 微观不平度十点高度Rz：z = (∑ y pi + ∑ yvi ) / 5 微观不平度十点高度Rz R Rz：
i =1 i =1 5 5
f m = Rmax − Rmin
5
最小包容区域法： 最小包容区域法：理想圆位置符 合最小条件。 合最小条件。 判别准则： 判别准则：由两同心圆包容实际 轮廓时， 轮廓时，至少有四个实测点内外 相间的在两个圆周上。 相间的在两个圆周上。
最大内切圆法：以内切于实际轮廓， 最大内切圆法：以内切于实际轮廓， 且半径为最大的内切圆圆心为理想 圆的圆心。 圆的圆心。 只适用于内圆
二、直线度误差的测量 直线度误差的测量
直线度误差： 直线度误差：包容被测直线实际轮廓 且距离为最小的两平行直线的距离 测量方法： 测量方法：
包容直线 实际线 ΔS
刀口尺法
单测头法
自准直仪法
评定方法：求最小二乘直线， 评定方法：求最小二乘直线，计算各点与直线的 距离δ 直线度误差Δ 距离δi，直线度误差ΔS=δmax－δmin
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2、粗糙度的定义： 粗糙度的定义：
粗糙度定义： 粗糙度定义：表面粗糙度是一种微观的 几何形状误差。 几何形状误差。 粗糙度特点：量值小（波距λ小于1mm)，变化频率高。 粗糙度特点：量值小（波距λ小于1mm)，变化频率高。 1mm) 影响零件的耐磨性。 对零件性能的影响： 影响零件的耐磨性 对零件性能的影响： •影响零件的耐磨性。 •影响配合性质的稳定性。 影响配合性质的稳定性。 影响配合性质的稳定性 •影响零件的疲劳强度。 影响零件的疲劳强度。 影响零件的疲劳强度 •影响零件的抗腐蚀性。 影响零件的抗腐蚀性。 影响零件的抗腐蚀性 •影响零件的密封性。 影响零件的密封性。 影响零件的密封性 •影响零件的外观、测量精度、表面光学性能 影响零件的外观、测量精度、 影响零件的外观 •影响导电导热性能和胶合强度等 影响导电导热性能和胶合强度等
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形位误差的分类
3
形状误差
形状误差评定时，理想要素 形状误差评定时， 的位置应符合最小条件。 的位置应符合最小条件。 最小条件:是指被测实际要素 最小条件 是指被测实际要素 对其理想要素的最大变动量 为最小。 为最小。
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第三节 形位误差测量
一、圆度误差定义： 圆度误差定义 圆度误差指包容同一正截面实际轮廓且半径差为最小的两 同心圆的距离f 同心圆的距离fm。
最小外接圆法： 最小外接圆法： 以包容实际轮廓且半 径为最小的外接圆圆 心为理想圆的圆心。 心为理想圆的圆心。 只适用于外圆。 只适用于外圆。 最小二乘圆法： 最小二乘圆法： 以实际轮廓上各点至圆 周距离的平方和为最小 的圆的圆心为理想圆的 圆心。 圆心。 圆度误差的评定结果以最小包容区 域法最小，最小二乘法稍大， 域法最小，最小二乘法稍大，其他 两种更大。 两种更大。
F
1
F
2
y=f(x)
Fn
算术平均中线：将实际轮廓划分上下两部分， 算术平均中线：将实际轮廓划分上下两部分， 且使上下面积相等的直线 。
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0 G1 G2 L Gm x
4、粗糙度的评定参数： 、粗糙度的评定参数：
评定參数：通常采用下列參数之一来定量评定表面粗糙度。 评定參数：通常采用下列參数之一来定量评定表面粗糙度。
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3、粗糙度评定基准： 粗糙度评定基准：
基准线
评定基准：评定表面粗糙度的一段参考线。 评定基准：评定表面粗糙度的一段参考线。 国家标准规定：评定基准为轮廓中线。 国家标准规定：评定基准为轮廓中线。
L L L
n
L
L
包括： 包括：最小二乘中线和算术平均中线 最小二乘中线： 最小二乘中线：使轮廓上各点至该线的 距离平方和为最小。 距离平方和为最小。
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2、粗糙度的非接触式测量： 、粗糙度的非接触式测量：
工作原理：激光束聚焦于被测表面， 工作原理：激光束聚焦于被测表面， 反射光束至光电探测器， 反射光束至光电探测器， 表面微观轮廓引起离焦， 表面微观轮廓引起离焦， 控制物镜系统重新聚焦， 控制物镜系统重新聚焦， 输出控制信号大小（电流）。 输出控制信号大小（电流）。 光学轮廓仪
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(2) 电涡流位移传感器
原理： 原理： 交变电流I 交变电流I1 交变磁场H 交变磁场H2 参数变化 传感器线圈 电涡流I 电涡流I2 输出信号 交变磁场H 交变磁场H1 被测导体
－－电感 阻抗、 电感、 线圈与导体距离变化 －－电感、阻抗、品质因数等变化 --- 输出信号 特点：不受液体、油污、 特点：不受液体、油污、灰尘等介质的影响 测量范围有限： 测量范围有限：仅适于近距离测试 数百毫米 非线性， 非线性，精度不高 体积大， 体积大，功耗高
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第五章 长度测量技术
第一节 长度检测概述 第二节 尺寸测量 第三节 形位误差测量 第四节 表面粗糙度测量 第五节 线位移与距离测量 第六节 物位检测技术
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一、线位移测量
1、接触式线位移测量： 接触式线位移测量：
电感位移传感器： (1) 电感位移传感器： 自感式传感器： 自感式传感器： 原理： 原理：位移 → 线圈电感变化 特点：可靠，非线性严重 特点：可靠， 范围：测量微位移（<1mm） 范围：测量微位移（<1mm） 互感式传感器（差动变压器）： 互感式传感器（差动变压器）： 原理：位移 → 两线圈互感变化 原理： 特点： 特点：非线性小 范围：测量大范围位移（<100mm） 范围：测量大范围位移（<100mm）
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(3) 激光位移传感器
构成：激光器： 构成：激光器：发射激光束 发射端镜头：准直、 发射端镜头：准直、汇聚 接收端镜头： 接收端镜头：成像 接收器：光电转换（CCD, PSD） 接收器：光电转换（ ） 原理： 原理： 传感器探头发射出的激光, 传感器探头发射出的激光,通过特殊的透镜被汇聚成一个直径极小的光 此光束被测量表面漫反射到一个分辨率极高的CCD PSD探测器上 CCD或 探测器上, 束，此光束被测量表面漫反射到一个分辨率极高的CCD或PSD探测器上, 通过CCD或PSD所感应到光束位置的不同，精确测量被测物体位置变化。 通过CCD或PSD所感应到光束位置的不同，精确测量被测物体位置变化。 CCD 所感应到光束位置的不同 特点：测量精度高（0.03％ 特点：测量精度高（0.03％)，分辨率高(0.005％）。 分辨率高(0.005％）。 (0.005 与被测体无关（软硬、颜色、冷热、材料 ） 与被测体无关（软硬、颜色、冷热、材料…）
在取样长度内，被测实际轮廓上5 在取样长度内，被测实际轮廓上5点最大峰 高平均值与5 高平均值与5点最大谷深平均值的绝对值和 轮廓最大高度Ry Ry： (3) 轮廓最大高度Ry：RY = YP max + YV max 在取样长度内， 在取样长度内，被测实际轮廓上峰顶 与谷底之间距离
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二、粗糙度的测量方法
1、粗糙度的接触式测量： 、粗糙度的接触式测量：
工作原理：触针接触被测表面， 工作原理：触针接触被测表面， 移动一段长度（切断长度）， 移动一段长度（切断长度）， 传感器输出位移信号 测量头：导头－保持移动方向，近似测量基准 测量头：导头－保持移动方向， 触针－ 触针－获取轮廓信号 位移传感器：电感传感器、 位移传感器：电感传感器、压电传感器 触针式轮廓仪： 触针式轮廓仪： 电感式轮廓仪、压电式轮廓仪、 电感式轮廓仪、压电式轮廓仪、激光干涉式轮廓仪
第五章 长度测量技术
第一节 长度检测概述 第二节 尺寸测量 第三节 形位误差测量 第四节 表面粗糙度测量 第五节 线位移与距离测量 第六节 物位检测技术
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第三节 形位误差测量 一、形位误差的基本概念 形位误差测量是将被测要素和理想要素进行比较， 形位误差测量是将被测要素和理想要素进行比较，从而 用数值描述实际要素与理想要素形状或位置上的差异。 用数值描述实际要素与理想要素形状或位置上的差异。 每个参数的测量过程包括测量和评定两个阶段。 每个参数的测量过程包括测量和评定两个阶段。 测量和评定两个阶段
y
∆ ∆
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x
第三节 形位误差测量
三、平面度误差的测量 平面度误差的测量
平面度误差： 平面度误差：包容同一正截面实际轮廓 且距离为最小的两平行平面的距离 测量方法： 测量方法：
单测头法
自准直仪法
激光干涉法
评定方法：计算最小二乘平面， 评定方法：计算最小二乘平面， 计算各点与平面的距离δ 计算各点与平面的距离δi， 平面度误差Δ 平面度误差ΔP=δmax－δmin
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量程可达数十厘米。 量程可达数十厘米。
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二、距离测量
1、飞行时间测距
单个激光脉冲 原理： 激光器发出单个激光脉冲， 原理： 激光器发出单个激光脉冲， 并返回发射端接收 被测距离: 被测距离: 激光器 被测目标
d = ct / 2
c --- 光速
t --- 往返飞行时间
特点：对时间测量精度要求高， 特点：对时间测量精度要求高，适于测量超长距离 应用：建筑测绘、桥梁监测、军事探测、野外勘探、 应用：建筑测绘、桥梁监测、军事探测、野外勘探、天体测量
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2、非接触式线位移测量： 非接触式线位移测量：
电容位移传感器： (1) 电容位移传感器： 原理： 极板移动→极距变化→ 原理：位移 → 极板移动→极距变化→电容变化 初始电容量： 初始电容量： C
0
=
εA δ 0
∆C ∆δ = C0 δ0
特点：分辨力极高：位移1nm 特点：分辨力极高：位移1nm 动极板质量小，惯性小，动态响应好； 动极板质量小，惯性小，动态响应好； 非接触，自身发热和功耗小； 非接触，自身发热和功耗小； 非线性严重 范围：测量微位移（<1mm） 范围：测量微位移（<1mm）
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圆度误差测量
圆度仪测量法：将被测零件安置在量仪工作台上， 圆度仪测量法：将被测零件安置在量仪工作台上，调整其 轴线与量仪回转轴同轴。 轴线与量仪回转轴同轴。记录被测零件在回转一周内截面 各点的半径差，绘制出极坐标图，最后评定出圆度误差。 各点的半径差，绘制出极坐标图，最后评定出圆度误差。
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第三节 形位误差测量
B 莫尔条纹宽度： 莫尔条纹宽度： = W W ≈ 2 sin(θ / 2) θ
W=a+b： 栅距， W=a+b：W-栅距， 线宽， a-线宽，b-缝宽
特点：精度高： 特点：精度高：光栅刻线误差的平均效应 范围大： 范围大：取决于主尺长度 响应快：光电式， 响应快：光电式，适于动态
u = u0 + U m sin(2π x / W )
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& U 0 = − jω ( M 1 − M 2 ) I
(2) 光栅式位移传ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ器
定义： 定义：光栅是在玻璃基体上刻有 均匀分布条纹的光学元件。 均匀分布条纹的光学元件。 构成：主光栅（标尺光栅）、指 构成：主光栅（标尺光栅）、指 ）、 示光栅、光路系统、光电元件。 示光栅、光路系统、光电元件。 工作原理：叠合在一起形成一个小角度， 工作原理：叠合在一起形成一个小角度， 移动时，形成明暗相间的条纹－－莫尔条纹 移动时，形成明暗相间的条纹－－莫尔条纹 －－
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第五章 长度测量技术
第一节 长度检测概述 第二节 尺寸测量 第三节 形位误差测量 第四节 表面粗糙度测量 第五节 线位移与距离测量 第六节 物位检测技术
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一、粗糙度的基本概念
1、零件表面的形貌： 零件表面的形貌：
具有微小峰谷，可分为三种情况: 具有微小峰谷，可分为三种情况: (1)形状误差 (1)形状误差 ：零件表面中峰谷的波长和波高之比 大于1000的不平程度属于形状误差。 大于1000的不平程度属于形状误差。 1000的不平程度属于形状误差 (2)表面波纹度： (2)表面波纹度：零件表面中峰谷的波长和波高之比 表面波纹度 等于50～1000的不平程度称为波纹度。 等于50～1000的不平程度称为波纹度。 50 的不平程度称为波纹度 会引起零件运转时的振动、 会引起零件运转时的振动、噪声 (3)表面粗糙度： (3)表面粗糙度：零件表面中峰谷的波长和波高之比 表面粗糙度 小于50成为表面粗糙度。 小于50成为表面粗糙度。 50成为表面粗糙度