封装压电陶瓷

80/60
70
7000/1000
22
14
71
代
PSt 150/14/80 VS20
105/80
50
7000/1000
30
12
89
理产 进品 口
PSt 150/14/100 VS20
130/100
40
7000/1000
39
PSt 150/14/120 VS20
160/120
35
7000/1000
47
10
27/20 55/40 80/60 105/80 130/100 160/120 190/140 210/160 240/180 270/200
120
3500/400
3.6
30
28
60
3500/400
7.2
20
46
35
3500/400
11
14
64
25
3500/400
14
12
82
20
3500/400
18
107
8
125
PSt 150/14/140 VS20
190/140
30
7000/1000
55
7
143
定 制
其
PSt 150/14/160 VS20
210/160
25
7000/1000
63
6
161
及他
PSt 150/14/180 VS20
240/180
22
7000/1000
71
5
179
PSt 150/14/200 VS20
最大/标称行程 [µm]±10%*
13/9 27/20 55/40 80/60 105/80 130/100
刚度 [N/μm]
50 25 12 8 6 5
标称推力/拉力 [N]
800/150 800/150 800/150 800/150 800/150 800/150
静电容量 [nF]
350 800 1600 2400 3200 4000
VS15系列封装陶瓷
平头式
型号
最大/标称行程 [µm]±10%*
刚度 [N/μm]
标称推力/拉力 [N]
静电容量 [μF]
谐振频率 [kHz]
长度L [mm]±0.3
PSt 150/10/20 VS15 PSt 150/10/40 VS15 PSt 150/10/60 VS15 PSt 150/10/80 VS15 PSt 150/10/100 VS15 PSt 150/10/120 VS15 PSt 150/10/140 VS15 PSt 150/10/160 VS15 PSt 150/10/180 VS15 PSt 150/10/200 VS15
长度L [mm]±0.3
PSt 150/20/18 VS25
25/18
500
11000/1500
11
28
37
PSt 150/20/36 VS25
50/36
250
11000/1500
22
18
57
PSt 150/20/54 VS25
75/54
160
11000/1500
33
13
77
PSt 150/20/72 VS25
* 标称开环行程是在0~150V的驱动电压下的位移行程，最大驱动电压可在-30V~150V；建议在0~150V标称驱动电压下使用。 闭环陶瓷的线性度为0.15%，如配套使用我公司XE-500/501模块化闭环控制器线性度优于0.1%。
** 分辨率主要取决于压电陶瓷控制器的性能；用我公司XE-500/501系列控制器，选用24位的主控模块，分辨率优于满行程的十万分 之一。选用16位的主控模块，分辨率优于满行程的三万分之一。 备注：以上封装式压电陶瓷的驱动与控制推荐选用我公司XE-500/501系列模块化控制器，该控制器为模块化设计，有着极大的灵活性， 型号齐全、可升级、可扩展。
0451-86268790
www.xm tkj.co m
芯 明 天 科 技 XMT
压 电 陶 瓷 系 列
纳平
米 定
移 台 系
位列
纳偏
米 定
转 台 系
位列
压动 电电 陶源 瓷系 驱列 高微 精仪 度系 测列 代 理产 进品 口
定 制
其
及他
12
3 3 3
压 电
VS20系列低压机械封装式压电陶瓷
陶
瓷 系 列
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芯 明 天 科 技 XMT
10
压 电 陶 瓷 系 列
纳平
米 定
移 台 系
位列
纳偏
米 定
转 台 系
位列
压动 电电 陶源 瓷系 驱列 高微 精仪 度系 测列 代 理产 进品 口
定 制
其
及他
11
低压机械封装式压电陶瓷（进口）
特点
多种外径尺寸可供选择 亚纳米的分辨率 亚毫秒的响应时间、真空兼容
压
机械封装式压电陶瓷-推荐型号
电 陶
瓷
系
机械封装式压电陶瓷
列
Ø12
纳平
Ø12 Ø5
Ø5
Ø12
Ø12
米 定
移 台 系
M3x4
SW 4mm
M4 SW 4mm
Ø5 SR1.5
Ø5
位列
技术参数
L
3 3
2
4±0.5
7±0.5
5±0.5
4±0.5
纳偏
米 定
转 台 系
位列
外螺纹式
球头式
平头式
三种转接方式
压动 电电
SW 10mm
M3 x 4
VS9系列机械尺寸图
SWHale Waihona Puke Baidu10mm
M3 x 4
VS10系列机械尺寸图
最大/标称行程 [µm]±10%*
13/9 27/20 55/40 80/60
刚度 [N/μm]
25 12 6 4
标称推力/拉力 [N]
300/40 300/40 300/40 300/40
静电容量 [nF]
VS20系列封装陶瓷
平头式
标称推力/拉力 [N]
静电容量 [μF]
谐振频率 [kHz]
长度L [mm]±0.3
高微 精仪
PSt 150/14/20 VS20
27/20
250
7000/1000
7
30
35
度系
PSt 150/14/40 VS20
55/40
120
7000/1000
14
20
53
测列
PSt 150/14/60 VS20
最大/标称行程 [µm]±5%* 14/10 28/21 44/31
刚度 [N/µm]±20%
270 130 75
标称推力/拉力 [N]
4000/200 4000/200 4000/200
静电容量 [μF]±20%
2.6 5.2 7.8
谐振频率(空载) [kHz]±20% 25 15 12
长度L[mm] ±0.3 31 44 58
6
157
PSt 150/20/150 VS25
200/150
50
11000/1500
88
5
标称推力/拉力 [N]
1800/300 1800/300 1800/300 1800/300 1800/300 1800/300 1800/300 1800/300 1800/300
静电容量 [μF]
0.7 1.8 3.6 5.4 7.2 9 11 13 15
谐振频率(空载) [kHz]
40 30 20 15 12 10 8 6 5
90/80
0.4
15
1400
300/150
9.2
10
100
环形机械封装式压电陶瓷
Ø15 Ø8
8
6
M12X0.5
M12X0.5 Ø7.5
5.5±0.5
4
技术参数
L
6
4XM2 x4 EQSØ15
M12X0.5 Ø22
5
SW 20mm
型号
XHP 150/14-10/12 VS22 XHP 150/14-10/25 VS22 XHP 150/14-10/40 VS22
10
100
15
3500/400
21
8
118
14
3500/400
25
7
136
13
3500/400
28
6
154
11
3500/400
33
5
172
10
3500/400
37
4
190
* 标称开环行程是在0~150V的驱动电压下的位移行程，最大驱动电压可在-30V~150V；建议在0~150V标称驱动电压下使用。 闭环陶瓷的线性度为0.15%，如配套使用我公司XE-500/501模块化闭环控制器线性度优于0.1%。
Ø20
Ø20
Ø8
Ø8
Ø20
M5
Ø8
Ø20
M5x8
SW 6mm
SW 6mm
SR3
Ø8
纳平
米 定
移 台 系
4±0.5
8±0.5
6±0.5
4±0.5
位列
纳偏
米 定
转 台 系
位列
压动
技术参数
电电
陶源
瓷系 驱列
型号
L
5 SW 17mm
最大/标称行程 [µm]±10%*
M8 x7
刚度 [N/μm]
外螺纹式
球头式 三种转接方式
长度L [mm]±0.3
19 28 46 64 82 100 118 136 154
VS15系列低压机械封装式压电陶瓷
Ø15
Ø15
Ø6
Ø15
Ø6
Ø15
M4x4
SW 5mm
M4
SW 5mm
Ø6 SR2
Ø6
4±0.5
7±0.5
5±0.5
4±0.5
3 3
2
技术参数
L SW 13mm
M4 x 4
外螺纹式
球头式 三种转接方式
20 VS12
18/16
0.05
70
1400
300/150
1.8
30
28
40 VS12
36/32
0.1
35
1400
300/150
3.6
20
46
定 制
其
60 VS12
54/48
0.2
25
1400
300/150
5.4
15
64
及他
80 VS12
72/64
0.3
18
1400
300/150
7.2
12
82
100 VS12
270/200
20
7000/1000
80
4
197
VS25系列低压机械封装式压电陶瓷
4±0.5
Ø25 Ø10 M6x6
SW 6mm
L
技术参数
5
SW 22mm
M8x 7
VS25系列机械尺寸图
型号
最大/标称行程 [µm]±10%*
刚度 [N/μm]
标称推力/拉力 [N]
静电容量 [μF]
谐振频率 [kHz]
170 340 700 1000
谐振频率 [kHz]
40 30 20 12
长度L [mm]±0.3
19 28 46 64
VS10系列低压机械封装式压电陶瓷
技术参数
型号
PSt 150/5/7 VS10 PSt 150/5/20 VS10 PSt 150/5/40 VS10 PSt 150/5/60 VS10 PSt 150/5/80 VS10 PSt 150/5/100 VS10
95/72
100
11000/1500
44
11
97
PSt 150/20/90 VS25
120/90
80
11000/1500
55
9
117
PSt 150/20/110 VS25
150/110
65
11000/1500
66
7
137
PSt 150/20/130 VS25
175/130
55
11000/1500
77
** 分辨率主要取决于压电陶瓷控制器的性能；用我公司XE-500/501系列控制器，选用24位的主控模块，分辨率优于满行程的十万分 之一。选用16位的主控模块，分辨率优于满行程的三万分之一。 备注：以上封装式压电陶瓷的驱动与控制推荐选用我公司XE-500/501系列模块化控制器，该控制器为模块化设计，有着极大的灵活性， 型号齐全、可升级、可扩展。
SW 10mm
M4x 4
外螺纹式
球头式 三种转接方式 VS12系列机械尺寸图
平头式
最大/标称行程 [µm]±10%*
13/9 27/20 55/40 80/60 105/80 130/100 160/120 190/140 210/160
刚度 [N/μm]
120 60 25 15 12 10 8 7 6
应用
精密机械和机械工程 纳米定位、高速扫描 主动和适应光学 减震
VS9系列低压机械封装式压电陶瓷
3±0.5
Ø9
Ø3 M2 x 3
L
气动及液控阀 计量、干涉 生命科技、医药、生物科技
4±0.5
Ø10
Ø4 M3 x 4
L
3 3
技术参数
型号
PSt 150/4/7 VS9 PSt 150/4/20 VS9 PSt 150/4/40 VS9 PSt 150/4/60 VS9
XMT 芯 明 天 科 技
www.xm tkj.c o m
0451-86268790
VS12系列低压机械封装式压电陶瓷
Ø12
Ø5
M3x4
SW 4mm
Ø12
Ø12
Ø5
Ø12
M4
SW 4mm
Ø5 SR1.5
Ø5
4±0.5
7±0.5
5±0.5
4±0.5
L
3 3
2
技术参数
型号
PSt 150/7/7 VS12 PSt 150/7/20 VS12 PSt 150/7/40 VS12 PSt 150/7/60 VS12 PSt 150/7/80 VS12 PSt 150/7/100 VS12 PSt 150/7/120 VS12 PSt 150/7/140 VS12 PSt 150/7/160 VS12
陶源
瓷系
VS12系列机械尺寸图
驱列
SW 10mm
M4 x 4
高微
精仪
度系
测列
型号
最大/标称行程 极限分辨率
刚度
标称推力 最大/标称拉力 静电容量 谐振频率(空载) 长度L[mm]
[µm]±5%*
[nm]** [N/µm]±20%
[N]
[N]
[μF]±20% [kHz]±20%
±0.3
代 理产 进品
口
谐振频率 [kHz]
40 30 20 15 12 10
长度L [mm]±0.3
19 28 46 64 82 100
* 标称开环行程是在0~150V的驱动电压下的位移行程，最大驱动电压可在-30V~150V；建议在0~150V标称驱动电压下使用。 闭环陶瓷的线性度为0.15%，如配套使用我公司XE-500/501模块化闭环控制器线性度优于0.1%。