MEMS光开关及主要工艺技术的研究

MEMS光开关及主要工艺技术的研究

作者：罗元， 张毅， 黄尚廉

作者单位：罗元(重庆大学光电工程学院,重庆,400044;重庆邮电学院,重庆,400065)， 张毅(重庆邮电学院,重庆,400065)， 黄尚廉(重庆大学光电工程学院,重庆,400044)

刊名：

激光杂志

英文刊名：LASER JOURNAL

年，卷(期)：2001,22(6)

被引用次数：6次

1.Minfan Pai;Norman c Tien Polysilicon Actuated Micromirror for Large Matrix Optical Cross-Conneects, Technical Report 1999

2.Hiroshi Toshiyoshi;Hiroyuki Fujita Electrostatic Micro Torsion Mirrors for an Optical Switch Matrix[外文期刊] 1996(04)

3.Adisorn Tuantranont;Victor M Bright;Jianglong Zhang;Wenge Zhang,John Neff and Y C Lee MEMS-Controllable Microlens Array for Beam Steering and Precision Alignment in Optical interconnect Systems

4.Agilent Photonic Switching Platform

5.OMM Photonic Switching Subsystem

6.Mirrors bubbles lead race to pure optical switching

7.张光照;刘焱微机加工技术 1997(01)

8.Franck Choller A journey in the micro-world of the MEMS,PE21 Forum 2000

9.Gregory T A Kovacs、Nadim 1. Maluf、 Kurt E. Petersen,Bulk Micromachining of Silicon 1998(08)

10.John H Comtois;M Adrian Michalicek Carole Craig Barron, Fabrication Micro-Instruments in Surface-Micromachined Polycrystalline Silicon 1997

11.Noel MacDonald;Multiple Depth Single Crystal Silicon MicroActuators for Large Displacement Fabricated by Deep Reactive lon Etching

12.Hiroyuki Fujita Hiroshi toshiyoshi, Optical mems, ieice trans 2000(09)

1.蒋庄德.赵则祥.王海容基于MEMS的光开关研发与产业化问题[期刊论文]-微细加工技术2001(4)

2.胡剑.李刚炎.HU Jian.LI Gang-yan基于MEMS的光开关技术研究[期刊论文]-半导体技术2007,32(4)

3.赵波.李宏生MEMS光开关的研究与进展[期刊论文]-微纳电子技术2004,41(2)

4.李苹.王俊华.万红光开关技术研究[期刊论文]-光通信技术2004,28(4)

5.刘梅刚.万江文全光网络中的MEMS光开关研究新进展[期刊论文]-微纳电子技术2004,41(5)

6.喻洪麟.鲁双全.YU Hong-lin.LU Shuang-quan光栅光阀MEMS光开关系统设计[期刊论文]-重庆大学学报（自然科学版）2008,31(6)

7.赵兴海.高杨.程永生.ZHAO Xing-hai.GAO Yang.CHENG Yong-sheng光纤直接连接型MEMS光开关的设计方法研究[期刊论文]-传感技术学报2008,21(3)

8.梁宏军.张兴社MEMS与MEMS光开关[期刊论文]-应用光学2005,26(1)

9.赵继德.李应良.ZHAO Ji-de.LI Ying-liang全光网络中的MEMS光开关[期刊论文]-激光杂志2005,26(3)

10.罗元.张正元.付红桥.黄尚廉一种静电MEMS光开关的理论与实验研究[期刊论文]-微电子学2003,33(5)

1.刘梅刚.万江文全光网络中的MEMS光开关研究新进展[期刊论文]-微纳电子技术 2004(5)

2.王科平.葛峻.秦明MEMS静电执行光开关的设计与实验[期刊论文]-电子器件 2003(3)

3.付博.赵月月微光机电系统(MOEMS)研究综述[期刊论文]-传感器世界 2004(10)

4.王宝东MEMS光开关执行器——平行电容板结构的理论研究[学位论文]硕士 2005

5.罗元光通信MEMS光开关关键技术的研究[学位论文]博士 2003

6.肖娜一种新型三维微光开关的研制[学位论文]硕士 2005

本文链接：/Periodical_jgzz200106004.aspx