电池片制绒工序简介

脏片产生原因： 原料本身脏； 各段操作人员不按规范操作 直接用手接触硅片； 印刷的擦片导致的脏片；
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
小雨点产生原因： 制绒时间长，后期溶液内酒精量少； 工艺配比不适合； 溶液使用次数多表面张力过大；
水痕产生原因： 制绒，超净，刻蚀的清洗出现异常； 原料片脏导致制绒后有灰色线状 水痕脏片；
常见的小白斑
制绒发白
制绒后脏片导致暗斑
生产人员装片失 误导致的反片
漂片或者装片错 齿导致的大雨点
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
齿痕
水圈
花斑片图集
灰 色 水 痕 状 脏 片
白 色 半 圆 形 干 水 圈
清洗不净导致的水痕状脏片
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
片 分片导 装片导致 致反片 错齿片
PECVD倒 片用吸盘 脏
镀膜失败片
烧焦片
异常片
Baidu Nhomakorabea
刻蚀工艺
清洗不净导
刻蚀第一片 导致白圈
致后续出现 花斑 工艺失调
导致批量
不良
制绒工艺
漂片导致 错齿大雨 点
硅片污染 酒精污染
原料
花斑
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
花斑片图集
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
19
引领全球绿色能源新革命
制绒后硅片表面显微图象
设备的基本构造
•5
自动制片机
制绒机
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
生产准备
•6
操作人员进入车间必须穿戴无尘服，无尘鞋，无尘帽，口罩遮住鼻梁，戴双层手套,头发全部放进 帽子里，并且必须由风淋门进入。
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
前清洗（制绒） 扩散 后清洗（刻边/去PSG） PECVD SiNx 退火
丝网印刷背电极 丝网印刷背电场 丝网印刷正电极 烧结 测试分档
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
制绒的原理
利用单晶硅的各向异性，采用化腐工艺在<100>硅片上制作的 绒面，以减少入射光反射、提高短路电流和转换效率。
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
制绒的生产流程
•9
• 自动制片机上下花篮
1、放承载盒至轨道
2、上层放置空花篮
3、下层收取满花篮
4、花篮放置于推车上
上片时注意事项： 1.拿取承载盒时注意力度，做到轻拿轻放； 2.放置、拿取花篮时要做到轻拿轻放，并注意花篮小孔方向朝上； 3.拿取满蓝花篮时检查花篮内品质，查看有无碎片、崩边、缺角片； 4.过程中发现异常报警或碎片时，及时通知工序长和设备人员处理。
制绒的生产流程
•7
来料
合格 来料确认 不合格
上料
下料
挑碎片、返工片
测试减薄量 统计数据
填写流程单
满批次合格品下传
数据统计
刻蚀工序确认
双方签字确认
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
制绒的生产流程
•8
• 拆片
1、来料硅片托盘
2、拆开纸箱取出泡沫盒
3、拆开泡沫盒
4、抽出瓦楞板和隔垫
采用两步法制作绒面，先用高浓度碱液、较高温度下进行短时 间“粗抛”，再在低浓度、低温度下进行长时间“细腐”。此法所 制绒面，在晶相显微镜下观察，小金字塔排列规则、整齐、均匀， 可使入射光的反射损失降低近10％。
2NaOH+H2O+Si
Na2SiO3+2H2。
制绒后阳光吸收图
原始硅片表面阳光吸收
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
扩散的生产流程
•11
测片
待石英舟冷却后，用镊子从炉口、炉中、炉尾取10片, 到四探针测试仪上测试方块电阻，并 进行记录，方块电阻的范围为76.5±1.15 Ω，如果不在范围立刻通知工艺人员。 测试方阻的注意事项：
1.取片放片要轻拿轻放； 2.填写流程单要数据准确，禁止弄虚作假。
5、拆开外层包装袋
6、抽出隔纸后放入承载盒 7、放置在机台边区域内
拆片时注意事项： 1.拆硅片托盘时，首先确认好外箱是否完好，以及核对数量； 2.拿取硅片时注意力度，做到轻拿轻放； 3.使用刀片拆泡沫盒外层胶带时，注意刀片深度，避免划伤硅片； 4.硅片放入承载盒时，必须保持整齐且平行放入，避免碰撞承载盒造成崩边或碎片。
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
制绒的生产流程
•10
• 制绒机上下花篮
1、将花篮放至轨道上
2、放四个花篮后，点压按钮进片
3、下料台按压按钮出蓝
4、翻转花篮检查片子质量
5、把花篮放入推车中
上下花篮时注意事项： 1.放取花篮时注意力度，做到轻拿轻放； 2.拿取花篮时禁止手指接触硅片造成污染； 3.下料机翻转花篮时，注意旋转方向，避免掉片、碎片； 4.花篮放入推车时，必须轻推轻放。
花斑片图集
SD角部原料白斑
制绒原料问题或者烧焦片下传会导致小白点
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
各种花斑产生原因
白斑产生原因： 制绒时出现异常，导致的发白； 原料问题导致的白斑； 超净的烧焦片产生的白斑； PECVD镀膜失败产生的云状发白；
反片产生原因： 制绒分片出错； 超净刀片出错；
电池片制绒工序简介
目录
•2
1.生产太阳电池基本流程 2.制绒的原理 3.制绒工序流程图 4.设备构造 5.生产准备 6.制绒的生产流程 7.注意事项
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
生产太阳能电池基本流程 太阳电池就是将太阳能转化为电能的半导体器件
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
制绒不良异常现象分析
• 花斑分类
白斑、反片、亮面、小雨点，白油斑、黑油斑、脏片（手印、擦片）
、水痕、暗斑、白圈。
PECVD工艺
设备
人员
PSG清洗不 净
设备漏油
工艺异常
漏浆
烘干不彻底
滴源
手工制绒 用手拿片导 操作失误 致手印或脏
白油斑产生原因： 印刷漏浆；
黑油斑产生原因： 印刷设备漏油； 类似黑油斑片可能是PVC手套脏；
注意事项
•18
• 上班前确认硅片是否够当班生产，不足时提前通知人员领料； • 生产中必须戴双层手套，手套保持干净，不允许接触头发，皮肤，避免污染硅片； • 制绒后的返工片严禁下传； • 生产前检查花篮是否完好，如有裂纹，沾污时必须通知设备技术人员评定是否可用； • 制绒间的温度保持在20-26度，湿度为40％-60％，如果不在要通知设备和外围人员调节； • 车间拖地禁止使用洒水壶洒水，将拖把拧干后进行拖地； • 设备有异常时立刻通知设备人员，不要私自修改设备参数； • 记录数据的岗位，必须保证数据真实准确，禁止弄虚作假！
平煤隆基新能源科技有限公司 http://www.pxenergy.cn
扩散的生产流程
•12
送片
送片注意事项: 1.送片前要再次确认流程单数量和实物数量是否一致，有问题及时反馈； 2.推车时注意速度，约1秒1步，避免速度过快导致片子碰撞造成崩边或隐裂； 3.要及时送回扩散工序的空花篮，便于制绒工序的有序生产。