基于时序分析的光刻版清洗机运行效率提升方法
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技 术之 一 。 介 绍 了 一 种 基 于 时序 分 析 的 提 升 该 设 备 运 行 效 率 的 方 法 ， 实验 证 明 此 方 法 通 过 对 控 制
时序 的 分析 和优 化 ， 有 效提 升 了设 备 的 运行 效 率 。
关键 词 ： 光 刻版 清 洗机 ； 时序 分 析 ； 运行 效 率 中 图分 类号 ： Ｔ Ｎ３ ０ ５ ． ９ ７ 文 献标 识 码 ： Ａ 文章 编 号 ： １ ０ ０ ４ — ４ ５ ０ ７ （ ２ ０ １ ３ ） １ １ － ０ ０ ３ ６ — ０ ３
互 相独 立 ， 也 可 以 同 时进 行 工 作 。
图 ２ 光 刻 版 清 洗 机 工 艺 逻 辑 框 图
开始， １ ≠ ｝ 清洗腔进行正面工艺时 ２ ≠ ≠ 清 洗 腔 是 闲 置 的； １ 清 洗 腔完 成 工 艺 后 ，从 中取 出光 刻 版 ， １ 清 洗腔即空， 此 时直 到 机 械 手 翻 片 ， 并 将 光 刻 版 放 入
收稿 日期 ： ２ ０ １ ３ — １ ０ － ０ ９
英 寸） 、 １ ２ ５ ｍｍ （ ５英 Ｊ 一 ） 、 １ ５ ０ ｍｍ （ ６英 寸 ） 光 刻 版 的 正背 面 清 洗 。文 中针 对 此 设 备提 出 了 一 种基 于 时 序 分析 提 升 该 设 备运 行 效 率 的 方法 ， 通 过 新 旧 时 序 对 比可 以 看 出， 新 时 序 节 约 了 设 备 运 行 的 周 期时间 ， 提 高 了 设 备 的运 行 效 率 。
曼
造 茎
鱼
一
团
基 于 时序 分析 的光刻版清 洗机 运行 效 率提 升方法
侯 为 萍， 高建 利 ， 刘 玉倩
ｆ 中 国 电 子 科 技 集 团公 司第 四 十 五 研 究所 ， 北京 １ ０ １ ６ ０ １ ）
摘 要 ： 光 刻 版 清洗 机是 典 型 的 多轴 运 行 类 自动 化 清洗 设 备 ，清洗 效 率 的提 升 是 此设 备 的 关键
Ａｂｓ ｔ ｒ ａｃ ｔ ：Ｔｈｅ ｐ ｈｏ ｔ ｏ ｍａ ｓ ｋ ｃ ｌ ｅ ａ ｎ ｉ ｎ ｇ ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ ｉ ｓ ｔ ｙ ｐｉ ｃ ａ ｌ ａ ｕ ｔ ｏ ｍａ ｔ ｉ ｃ ｃ ｌ ｅ ａ ｎｉ ｎ ｇ ｅ ｑ ｕ ｉ ｐｍｅ ｎ ｔ ｗｉ ｔ ｈ ｍｕ ｌ ｔ ｉ ａ ｘ ｉ ｓ
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⑧（ 总 第２ ２ ６ 期 ） 圜衄
Ｉ
电 子 工 业 毫 用 设 备
半 导体 制 造
工艺 与设 备
１ 光 刻 版 清 Байду номын сангаас 机 整 机 结 构
光刻 版清 洗 机 主 要 由上 片 盒 、 定位 机 构 、 折 臂 式 机械手 、 ｌ ≠ ｝ 清 洗腔 、 ２ 清 洗 腔 、 翻片机 构 、 下 片 盒 ７大 机 构 组 成 （ 如 图 １所 示 ） 。 自动 工 作 时 ， 通 过 折 臂式机 械手 的协调运 动将各个 机构联 系起 来 ， 共 同完 成 清 洗 光 刻 版 的 动 作 。其 中两 个 清 洗 腔 体
Ａ Ｍｅ ｔ ｈｏ ｄ ｆ ｏ ｒ Ｓｔ ｅ ｐ ｐｉ ｎｇ ｕｐ ｔ ｈｅ Ｒｕｎ Ｅｆ ｉｃ ｆ ｉ ｅ ｎｃ ｙ ｏ ｆ ｔ ｈｅ Ｐｈ ｏ ｔ ｏ ｍａ ｓ ｋ Ｃｌ ｅ ａ ｎ ｉ ｎｇ Ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ Ｂａ ｓ ｅ ｄ ｏ ｎ Ｔｉ ｍｉ ｎｇ Ａｎａ ｌ ｙ ｓ ｉ ｓ
近年 来 ， 随着 Ｌ Ｅ Ｄ行 业 的飞速 发展 ， 对 制 造 过 程 中设 备 的 效 率 要 求 也 越 来 越 高 。 为 了适 应 市 场 的需 要 ，提 高 设 备 的生 产 效 率 是清 洗 类 设 备 能 够 更好 地 占领 市 场 的关 键 之 一川。 本 文所述 的光刻版 清洗 机 适用 于 １ ０ ０ ａｍ（ ｒ ４
ｒ ｕ ｎ ｎ ｉ ｎ ｇ ，ａ ｎ ｄ ｓ ｔ ｅ ｐ ｐ ｉ ｎ ｇ ｕ ｐ ｔ ｈ ｅ ｕｎ ｒ ｅ ｉｃ ｆ ｉ ｅ ｎ ｃ ｙ ｉ ｓ ｏ ｎ ｅ ｏ ｆ ｔ ｈ ｅ ｐ ｉ ｖ ｏ ｔ ａ ｌ ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｉ ｑ ｕ ｅ ｓ ｏ ｆ ｔ ｈ ｅ ｅ ｑ ｕ ｉ ｐ ｍｅ ｎ ｔ ．Ｔ ｈ ｉ ｓ
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时序 的 分析 和优 化 ， 有 效提 升 了设 备 的 运行 效 率 。
关键 词 ： 光 刻版 清 洗机 ； 时序 分 析 ； 运行 效 率 中 图分 类号 ： Ｔ Ｎ３ ０ ５ ． ９ ７ 文 献标 识 码 ： Ａ 文章 编 号 ： １ ０ ０ ４ — ４ ５ ０ ７ （ ２ ０ １ ３ ） １ １ － ０ ０ ３ ６ — ０ ３
互 相独 立 ， 也 可 以 同 时进 行 工 作 。
图 ２ 光 刻 版 清 洗 机 工 艺 逻 辑 框 图
开始， １ ≠ ｝ 清洗腔进行正面工艺时 ２ ≠ ≠ 清 洗 腔 是 闲 置 的； １ 清 洗 腔完 成 工 艺 后 ，从 中取 出光 刻 版 ， １ 清 洗腔即空， 此 时直 到 机 械 手 翻 片 ， 并 将 光 刻 版 放 入
收稿 日期 ： ２ ０ １ ３ — １ ０ － ０ ９
英 寸） 、 １ ２ ５ ｍｍ （ ５英 Ｊ 一 ） 、 １ ５ ０ ｍｍ （ ６英 寸 ） 光 刻 版 的 正背 面 清 洗 。文 中针 对 此 设 备提 出 了 一 种基 于 时 序 分析 提 升 该 设 备运 行 效 率 的 方法 ， 通 过 新 旧 时 序 对 比可 以 看 出， 新 时 序 节 约 了 设 备 运 行 的 周 期时间 ， 提 高 了 设 备 的运 行 效 率 。
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基 于 时序 分析 的光刻版清 洗机 运行 效 率提 升方法
侯 为 萍， 高建 利 ， 刘 玉倩
ｆ 中 国 电 子 科 技 集 团公 司第 四 十 五 研 究所 ， 北京 １ ０ １ ６ ０ １ ）
摘 要 ： 光 刻 版 清洗 机是 典 型 的 多轴 运 行 类 自动 化 清洗 设 备 ，清洗 效 率 的提 升 是 此设 备 的 关键
Ａｂｓ ｔ ｒ ａｃ ｔ ：Ｔｈｅ ｐ ｈｏ ｔ ｏ ｍａ ｓ ｋ ｃ ｌ ｅ ａ ｎ ｉ ｎ ｇ ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ ｉ ｓ ｔ ｙ ｐｉ ｃ ａ ｌ ａ ｕ ｔ ｏ ｍａ ｔ ｉ ｃ ｃ ｌ ｅ ａ ｎｉ ｎ ｇ ｅ ｑ ｕ ｉ ｐｍｅ ｎ ｔ ｗｉ ｔ ｈ ｍｕ ｌ ｔ ｉ ａ ｘ ｉ ｓ
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半 导体 制 造
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１ 光 刻 版 清 Байду номын сангаас 机 整 机 结 构
光刻 版清 洗 机 主 要 由上 片 盒 、 定位 机 构 、 折 臂 式 机械手 、 ｌ ≠ ｝ 清 洗腔 、 ２ 清 洗 腔 、 翻片机 构 、 下 片 盒 ７大 机 构 组 成 （ 如 图 １所 示 ） 。 自动 工 作 时 ， 通 过 折 臂式机 械手 的协调运 动将各个 机构联 系起 来 ， 共 同完 成 清 洗 光 刻 版 的 动 作 。其 中两 个 清 洗 腔 体
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近年 来 ， 随着 Ｌ Ｅ Ｄ行 业 的飞速 发展 ， 对 制 造 过 程 中设 备 的 效 率 要 求 也 越 来 越 高 。 为 了适 应 市 场 的需 要 ，提 高 设 备 的生 产 效 率 是清 洗 类 设 备 能 够 更好 地 占领 市 场 的关 键 之 一川。 本 文所述 的光刻版 清洗 机 适用 于 １ ０ ０ ａｍ（ ｒ ４
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