半导体工艺简介PPT

Pump运转的五个要素&故障原因
• 1． 水6-8L/min • 2． 氮气（GN216-22pam3/sec） • 3． 电源（200V~220V） • 4． 气密良好之前端管路 • 5． 吸风良好之Exhaust管路
• Pump的故障可以分为三种：1，Alarm, pump仅显示故障并告之连线机台但 pump并不停机。2，Trip：pump显示故障信号告之连线机台，Pump立即停 机。3，Error：电装置发生故障或pump内部连线松脱，Pump立即停机。其 原因可能为BP Motor电流高 MP Motor 电流过高，Casing 的温度过高，BP 或MP Motor 过载，Seal N2或DIL N2流量过低，Pump box温度过高。
• 对于BP or MP温度过高，可能由以下原因引起的：1，Exhaust压力升高。2 ，电力供应有问题。3，生成物堆积。4，冷却水减少。5，齿轮坏掉。
• 对于Casing(<130deg.c)温度过高，可能由以下原因引起：1，Exhaust压力升 高。2，电力供应有问题。3，生成物堆积。4，接头处气体流通不畅。
真空Pump工作范围
在ETCH和 Thinfilm设备 通常用Dry pump &Turbo pump将大气 抽至一定真
Kashiyama Dry Pump Comparison of Pumping Mechani
Kashiyama Dry Pump Comparison of Pumping Tempera
Gear
Motor +
Motor Driver 以同期马达加 驱动器的组合， 达到了精密控 制转速的可能、
排气原理
MU Dry series
[MU Dry series] Dry pump比以前的Dry pump 实现极限小型化・ 轻量化・省能量化，以对 应装置组合（On tool） 用轻负荷所开发的Dry pump。 特点
Dry pump
设备部 技术三科 沈吉
真空定义
真空是在某个区域压力低于大气压
真空范围 低真空(Low or Rough Vacuum --LV)： -760to10^-3Torr 高真空(High Vacuum --HV) -10^3to10^-8Torr 超真空(Ultra-High Vacuum –UHV)
Kashiyama pump
竖式螺旋转子: 针Inlet
对产生大量生成
在真空侧没有
物生的成严物酷徐制徐成刮用向排气侧 螺旋转子
转子底
螺旋式转
部排气
短子捷具的有排的气路
的间隙
高温特性
宽阔
耐腐蚀性
R【O6TmORm.】CASING共同使的用材、质具
转子排气侧的间隙宽阔
具有克服wk.baidu.com
具有刮除生成
生成物沉
物的效果
积，
根据矩形直角
和容易再
高的温特的点R，otor
启动强的 优越性
HR特 因 度S在 可=o6c性 为 较t高 将omrre真高温速 附mw空，度运着ro室所1转在t8o温以时0r度
Exhaust gas 温反C度a应s2气in00g体℃上很的难
鲁式泵: 根据同期 马达和单纯的本 体构造R、oo实ts现R了otor 节省能源和耐久 性的双向要求。
MU DRY Series
MU DRY Series 以On Tool目的超 小型・省Energy pump。 （他社容积比1/2, 重量1/2）
On Tool化的优点（配管 Conductance的影响)
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