微纳米压印技术及应用
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中 国印刷与装 研究 ２ １年第６ （ 卷 ） ０１ 期 第３
ＣＨＩ ＮＡ ＰＲＩ ＮＴＩ ＮＧ ＡＮＤ ＡＣＫＡＧＩ Ｇ ＴＵＤＹ Ｖｏ． ３ Ｎｏ ６ ２ １ ． ２ Ｐ Ｎ Ｓ １０ ． ０ １ １
专
论
Ｍ ０Ｎ０ＧＲＡ Ｐ Ｈ
微 纳 米 压 印技 术 及 应 用
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收稿 日 ：２ １ — ８— ５ 期 ０ １ ０ ２ 修 回 日期 ：２ １ —１ —１ ０１ １ ８
随着集成 电路密度的不断增加 ，采用光学光刻技术 （ 即光微影技术）已无法满足小于 ｌ ｎ Ｏ ｍ线宽 的要求 。 Ｏ 研发能取代传统光 学光刻技 术 ，适用于线 宽小于 ５ ｎ ０ｍ 的新一代微 电子器件制造 ，并可 实现低成本大批量生产 高分辨率纳米级集成 电路的光刻技术，成为众多研究人
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员的工作 目标 。 本文介绍 了近年因微电子工业高速发展而衍生出的
微纳米压印技术 ；强调微纳米压 印可能的应用领域 ，且 对微纳米压印的技术进展和发展方 向进行预测 ，指 出微 纳米压印技术存在的问题和解决方法 。
陈强 ：微纳米压印技术及应用
专
论
５
表 ２不 同微纳米压印技术的参数比较
项典型的新型印刷技术。
０ 引言
印刷技术在人们 日常生活中占有不可替代的位置 ， 据统计 ，２ １ ０ ０年我 国印刷 工业 总产值达 到 ６０ ７０亿人 民 币 ，可见其市场 巨大 。 印刷技术 的发展 ，不仅表 现 在印刷市场 的不断扩大 ，还表现在新型 印刷材料 的不断 研制 、印刷设备和技术 的不断更新 、印刷领域 的不断开 拓等方面。 随着新型 印刷技 术层出不穷 ，应用范围不断 延展 ，普通的 “ 印刷”概念被新技术和应用所放大 ，现 代印刷 术的应用已经无处不在 。 微纳米 压印技术就是一
方面 的应用。 对微纳米 压印技 术的未来技 术进 展和发 展方 向进行 预测 ，指 出微 纳米 压印技 术存在 的问题和 研究
方 向。 ・
关键词
微纳米压印；热压印；应用
中图分类号
Ｔ ８５ Ｎ ０ ． Ｓ０ ；Ｔ ３５７
文献标识码
Ａ
文章编号
１７ ５５ （０ １０ ０ － ８ ６４— ７２ ２ １）６－ １ ０
陈 强
（ 北京印刷学院 等离子体物理及材料研究室，北京 １２０ ） ０ ６０
摘要
随着社会的发展 ，印刷技术 的应用 范围不 断扩大 ，新 型印刷技术不断涌现 。 本文重点讨论微 电子工业高速
发展衍 生出的微纳米压印技术 ，强调微纳米压 印可能在微 电子 器件制造 、有机太 阳能电池及高精 度传感器制造等
ＣＨＩ ＮＡ ＰＲＩ ＮＴＩ ＮＧ ＡＮＤ ＡＣＫＡＧＩ Ｇ ＴＵＤＹ Ｖｏ． ３ Ｎｏ ６ ２ １ ． ２ Ｐ Ｎ Ｓ １０ ． ０ １ １
专
论
Ｍ ０Ｎ０ＧＲＡ Ｐ Ｈ
微 纳 米 压 印技 术 及 应 用
Ａｂ ｔａ ｔ Ｗ ｉｈ ｔ ｅ ｄ ｖ ｌｐ ｎ ｆｔ ｅ ｓ ｃａ ，ａ ｐｉａｉ ｎ ｆｅｄ ｆｐ ｎｉ ｇ ｔｃ ｎ ｌ ｇ ｒ ｅ ｒ ａ ｌ ｘ ｅ ｄｎ ｓｒ ｃ ｔ ｈ ｅ ｅｏ ｍｅ ｔｏ ｏ ｉｌ ｐ ｌ ｔｏ ｌ ｓｏ ｒ ｔ ｅ ｈ ｏ ｏ ｙ ａｅ ｒ ｍａｋ ｂ ｙ ｅ ｐ ｎ ｉｇ，ａ ｄ ｔｅ ｈ ｃ ｉ ｉ ｎ ｎ ｈ ｎ ｖ ｌｐ ｎ ｉｇ ｔｃ ｎ ｌ ｇｅ ｅｅ ｅｇｎ ｏ ｅ ｒ ｔ ｅ ｈ ｏ ｏ ｉｓ ａ ｍ ｒ ｉｇ．Ｉ ｈ ｓｐ ｐ ｒ ｉ ｎ ｒ ｎ ｔ ｉ ａ ｅ ，ｍ ｉｒ ／ｎ ｎ ｍｐ ｉ ｔｔｃ ｎ ｌ ｇｅ ｕ ｏｔ ｅｄ ｖ ｌｐ ｎ ｆｍｉｒ ｅ ｃ ｏ ａ ｏ ｉ ｒｎ ｅ ｈ ｏ ｏ ｉｓｄ ｅ ｔ ｈ ｅ ｅｏ ｍｅ ｔｏ ｃｏ －
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收稿 日 ：２ １ — ８— ５ 期 ０ １ ０ ２ 修 回 日期 ：２ １ —１ —１ ０１ １ ８
随着集成 电路密度的不断增加 ，采用光学光刻技术 （ 即光微影技术）已无法满足小于 ｌ ｎ Ｏ ｍ线宽 的要求 。 Ｏ 研发能取代传统光 学光刻技 术 ，适用于线 宽小于 ５ ｎ ０ｍ 的新一代微 电子器件制造 ，并可 实现低成本大批量生产 高分辨率纳米级集成 电路的光刻技术，成为众多研究人
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微纳米压印技术 ；强调微纳米压 印可能的应用领域 ，且 对微纳米压印的技术进展和发展方 向进行预测 ，指 出微 纳米压印技术存在的问题和解决方法 。
陈强 ：微纳米压印技术及应用
专
论
５
表 ２不 同微纳米压印技术的参数比较
项典型的新型印刷技术。
０ 引言
印刷技术在人们 日常生活中占有不可替代的位置 ， 据统计 ，２ １ ０ ０年我 国印刷 工业 总产值达 到 ６０ ７０亿人 民 币 ，可见其市场 巨大 。 印刷技术 的发展 ，不仅表 现 在印刷市场 的不断扩大 ，还表现在新型 印刷材料 的不断 研制 、印刷设备和技术 的不断更新 、印刷领域 的不断开 拓等方面。 随着新型 印刷技 术层出不穷 ，应用范围不断 延展 ，普通的 “ 印刷”概念被新技术和应用所放大 ，现 代印刷 术的应用已经无处不在 。 微纳米 压印技术就是一
方面 的应用。 对微纳米 压印技 术的未来技 术进 展和发 展方 向进行 预测 ，指 出微 纳米 压印技 术存在 的问题和 研究
方 向。 ・
关键词
微纳米压印；热压印；应用
中图分类号
Ｔ ８５ Ｎ ０ ． Ｓ０ ；Ｔ ３５７
文献标识码
Ａ
文章编号
１７ ５５ （０ １０ ０ － ８ ６４— ７２ ２ １）６－ １ ０
陈 强
（ 北京印刷学院 等离子体物理及材料研究室，北京 １２０ ） ０ ６０
摘要
随着社会的发展 ，印刷技术 的应用 范围不 断扩大 ，新 型印刷技术不断涌现 。 本文重点讨论微 电子工业高速
发展衍 生出的微纳米压印技术 ，强调微纳米压 印可能在微 电子 器件制造 、有机太 阳能电池及高精 度传感器制造等