多晶硅提炼方法

多晶硅提炼方法
多晶硅的提炼方法主要有以下几种：
氯化法：是将硅矿石经过还原反应，制成氯化硅气体，然后用金属硅还原成多晶硅的一种方法。

该方法具有生产工艺简单、生产工艺成熟、生产成本低等优点，目前是多晶硅工业生产的主要方法之一。

氢化法：是将气相硅烷在高温、高压下分解成纯硅和氢气，然后通过物理或化学的方法将纯硅净化，从而制得多晶硅。

该方法可以制备较高纯度的多晶硅，但是生产成本高、工艺复杂，目前主要用于电子级硅制备。

等离子体化学气相沉积法（PECVD）：是利用等离子体技术将硅源物质分解沉积在基板上，从而制备多晶硅的一种方法。

该方法具有高沉积速率、可在较低温度下生长等优点，但生产成本较高。

电弧法：是将硅块在电弧熔炼炉中熔化后，再通过真空升华、重结晶等步骤制备多晶硅的一种方法。

该方法生产成本高、工艺复杂，主要用于电子级硅制备。