废砂浆回收方法

废砂浆回收方法
1、一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤l，搅拌废砂浆，加入降黏剂，其中降黏剂和废砂浆体积比为3．5：1～4．5：l，而后进行一级固液分离，得到一级悬浮液和一级固体颗粒；
步骤2，搅拌一级悬浮液，添加质量为一级悬浮液质量分数的万分之二到万分之五的助滤剂，而后通过板框过滤，得N--级悬浮液和二级固体颗粒；
步骤3，二级悬浮液依次通过孔径为0．18～0．26微米的微孔膜过滤、中空纤维膜超滤，而后通过强酸强碱型离子交换树脂去除离子，得到三级悬浮液，最后进入真空蒸馏装置，蒸馏得到可循环使用的聚乙二醇和蒸馏液；
步骤4，收集一级、二级固体颗粒，在碱洗池中使用质量分数为3～5％的氢氧化钠水溶液碱反应清洗4～5个小时，其中氢氧化钠水溶液和固体颗粒的体积比为3．5：1～4．5：1，而后进入水洗塔水洗至
pH值为6．5～7．5时，分离固体颗粒；然后在酸洗池中使用质量分数为26～31％的盐酸水溶液酸反应清洗4"---'5个小时，其中固体颗粒与盐酸的体积比为0．9：1～1．2：1，而后进入水洗塔水洗至pH值为6．5～7．5时，分离固体颗粒；最后，烘干固体颗粒，采用干法分级筛选满足线切割粒径分布要求的固体颗粒，即得可循环使用的碳化硅颗粒。

2、根据权利要求1所述的一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法，其特征在于，所述降黏剂为甲醇、乙醇、水、丙酮、甲苯中的任一种或多种混合液。

3、根据权利要求1所述的一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法，其特征在于，所述一级固液分离采用过滤式离心机或沉降式离心机。

4、根据权利要求1所述的一种硅晶圆线切割废砂浆中聚7,--醇和碳化硅的回收方法，其特征在于，所述助滤剂采用聚丙烯酰胺、聚胺、聚乙烯醇、聚氧化乙烯、丙烯酸和甲基烯酸聚合物、氧化钙、氢氧化钙、硫酸铁、硫酸铝、氯化铁、纤维素、改性淀粉或硅藻土。

5、根据权利要求1所述的一种硅晶圆线切割废砂浆中聚L--醇和碳化硅的回收方法，其特征在于，所述板框过滤采用板框过滤机、板框压滤机或真空过滤机。

6、根据权利要求l所述的一种硅晶圆线切割废砂浆中聚L--醇和碳化硅的回收方法，其特征在于，所述中空纤维膜超滤采用聚醚砜中空纤维膜，其截留的分子量为100000道尔顿。

7、根据权利要求1所述的一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法，其特征在于，所述蒸馏废液用作降黏剂，循环使用。

8、根据权利要求l所述的一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法，其特征在于，所述三级悬浮液通过强酸强碱离子交换树脂使其电导率在摄氏温度为25度时小于lOl，ts／cm。

9、根据权利要求1所述的一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法，其特征在于，所述碱反应清洗中，保持碱洗池中pH值大于9．5。