基于CAN总线的低温等离子体设备系统

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ＷＡＧＪ — ，ＨＮｉ，ＩｉＳＮｉｇｓｕｎＮｉｌＣＥＧＪｎＬＵＹ，ＡＧＱｎ—ｈａｇａｅａ
（ｉｅｓｙｏｃｎｅａｄＴｃｎｌｇｆｈｎ，ｆｉ３０７，ｈｎ）ＵｎｖｒｉｆｉｃｎｅｈｏｏｙｏｉａＨｅ０２ＣｉａｔＳｅＣｅ２
２１０２年
仪表技术与传 Βιβλιοθήκη Baidu 器
ＩｓｕｎＴｃｎｑｅａｄＳｎｏｎｔｍｅｔｒｅｈｉｕｎｅｓｒ
２０１２Ｎｏ．１
第１期
基于ＣＮ总线的低温等离子体设备系统Ａ
王家乐，程健，刘怡，庆双桑
（中国科学技术大学，安徽合肥，３０７２０２）
摘要：于ＣＮ控制器局域网）基Ａ（总线的现代测控技术可以提高低温等离子体设备自动控制的实时性、可靠性和可扩
展性。针对典型低温等离子体设备实验平台，过设计制作的智能节点和带有ＣＮ接口卡的Ｐ通Ａｃ机建立起了１个基于
１弓言ｌ
ＣＮ应用于具体的低温等离子体设备监控缺少深入的研究。Ａ以典型低温等离子体设备系统为实验平台，介绍该设备在
工作过程的基础上利用智能节点和ＰＣ机构建了ＣＮ总线监Ａ
目前，低温等离子体应用研究与开发所涉及的领域包括微机械与微电子、各种膜科学与技术、环境保护、建筑装饰材料、材料的改性与处理等等。然而由于低温等离子体是一个由多种Ｊ粒子组成的复杂体系，内部及等离子体与固体表面存在多种其
以及各种外场与自生场（电场、磁场、电磁场、光场）因素的影等
关键词：控制器局域网；温等离子体；定时；低位帧标识符中图分类号：Ｐ７Ｔ２１文献标识码：Ａ文章编号：０２—１４（０２０ — ０９—０１０８１２１）１０４３
ＬｏＴｅｅａｕｅＰａｍａＥｑｉｍｅｔＳｓｅＢａｅｎＣＡＮｕｗｍｐｒｔｒｌｓｕｐｎｙｔｍｓｄｏｂｓ
ＣＮ总线的低温等离子体设备系统，Ａ详细介绍了影响该系统实时性的２个关键问题。实验结果表明，系统可以稳定可该
靠工作、可以实现对重要参数的自动稳定控制，驱动频率在２６ｚ内，空度上下波动量为９Ｐ．０— ０Ｈ之真ａ
ＡｂｔａｔＴｅｍｏｅａｕｅｎｎｏｔｌｅｈｏｏｙｂｓｄｏＡＮｂｓｃｎｉｒｖｅｒａ—ｉ，ｅｉｂｌｙａｄｓａ — ｓｒｃ：ｈｄｍｍｅｓｒｍｅｔａｄｃｎｒｃｎｌｇａｅｎＣｕａｍｐｏｅｔｅｌｔｏｔｈｍｅｒｌｉｔｎｃｌａｉａｉｔｆｈｗｔｍｐｒｔｒｌｓｑｉｍｅｔｕｏｔｏｔｏｌｇＦｒａｔｐｃｌｏｔｍｐｒｔｒｌｓｑｉｍｅｔｘｅｉｎａｂｌｙｏｅｌｉｔｏｅｅａｕｅｐａｍａｅｕｐｎｔｍａｉｃｎｒｌｎ．ｏｉａｗａｃｉｙｌｅｅａｕｅｐａｍａｅｕｐｎｐｒｅｍｅｔｌｐａｏｍ，ＡＮ— ｕａｅａｕｅｎｎｏｔｌｓｓｅｗｓｅｔｂｉｈｄｔｒｕｈｓｌｅｅｏｅｍａｔｎｄｓａｄａｐｍｏａｌｔｒａＣｆｂｓｂｓｄｍｅｓｒｍｅｔａｄｃｎｒｙｔｍａｓａｌｅｈｏｇｅＧｄｖｌｐｄｓｒｏｅｎｅｎｌｏｓｃｍｐｔｒｗｉ１ＡＮｉｔｒｃａｄＴｅｔｅｒｂｅｈｃｍｐｃｈｅｉｆｈｙｔｍａｉｃｓｅ．ｈｅｕｔｆｏｕｅｔＣｎｅｆｅｃｒ．ｈｗｏｋｙｐｌｍｓｗｉｈｉａｔｅｒａｔｌａａｏｔｌｍｅｏｅｓｓｅｗｓｄｓｕｓｄＴｅｒｓｌｏｔｓｅｐｒｍｅｔｓｏｈｙｔｍａｏｋｓａｌｎｅｉｂｙａｄｔｅｉｏａｔｐａｔｒａｅｃｎｒｌｄｓａｌ．ｈｍｏｎｆｘｅｉｎｈｗｓｔｅｓｓｅｃｎｗｒｔｙａｄｒｌｌ，ｎｈｍｐ￣ａｍｅｅｓｃｎｂｏｔｌｔｂｙＴｅａｕｔｏｂａｎｒｏｅｖｃｕｆｃｕｔｎｓ９Ｐｗｈｎｄｖｎｒｑｅｃｓｆｏ２ｏ６．ａｕｍｕｔａｉｓｉａ，ｅｒｉｇｆｅｕｎｙｉｒｍ０Ｈｚｔ０ＨｚｌｏｉＫｅｒｓＣｙｗｏｄ：ＡＮ；ｏｔｍｐｒｔｒｌｓ；ｉｔｎ；ｍｅｉｅｔｅｌｗｅｅａｕｅｐａｍａｂｔｉｇ￣ａｄｎｉｒｍｉｉｆ