中国电子气体的现状及未来北京报告PPT课件
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
97
我国电子气体的现状
中国大陆地区电子气从业企业统计表
❖ 但是，由于受到当 地 区
时电子工业的限制， 最初从事电子气体
华东地区
山东 4
研发工作的只有几 家单位，规模也仅 限于实验室。
华南地区 华中地区
广东 12 湖北 3
❖ 进入九十年代以后，华北地区 随着我国IC产业的
北京 16
逐步发展，一些从 事工业气体和其它 特种气体的企业相
分类 单质气体
化合物气体
混合物气体
气体名称
Ar、H2、O2、He、N2、Cl2
SiH4、PH3、AsH3、B2H6、SiF4、SF6、HCl、H2S、NH3、GeH4、CF4、C2F6、 C3F8、C5F12
①SiH4+稀释气（Ar、He、H2、N2） ③AsH3+稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑤HCl +稀释气（Ar、He、O2、N2） ⑦NH3+稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑨CO+SF6
②PH3+稀释气（Ar、He、H2、N2） ④B2H6+稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑥H2S+稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑧Cl2+稀释气（Ar、He、N2） ⑩H2Se+稀释气（Ar、He、H2、N2）
64
电子气体的分类
❖ 按化学性质分类
➢ 电子气体大多属于易燃、易爆危险化学品，其性质各有 不同，按照化学性质可分为四大类。
31
电子气体的用途
❖ 电子气体是高科技产业重要的“源”性材料，是半导 体集成电路制造过程必不可少的关键支撑材料。
❖ 在IC、LED、SOLAR CELL等生产制造的每一环节， 都需要大量的电子气体或其混合物。
❖ 从某种意义上讲，没有电子气体，就没有现代高科。
❖ 随着半导体工业和微电子工业的迅猛发展，对电子气 的品种、数量、质量及纯度等方面均提出了更高的要 求。电子气体的纯度每提高一个数量级，都会对其下 游产生巨大的影响。
气相蚀刻气 Cl2、HCl、HF、HBr、SF6
等离子蚀刻气
SiF4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、CHFCl2、 N2、He、Ar
离子束蚀刻气 C3F8、CHF3、CClF3、CF4
离子注入气 AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2
晶体生长气
SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、 TeH2、(CH3)3Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)3P、 (C2H5)3P、SnCl4、GeCl4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2
❖ 在计划经济体制下，以光明院为代表的国内研究单位为中 国电子气体的发展起到了历史性的铺垫作用，其成就至今 对我们仍有很多帮助。
➢ 率先开展了电子气体的研制、分析、包装、解毒等一系列环节 的基础研究，填补了我国在电子气体领域的诸多空白；
➢ 形成了许多国家标准； ➢ 培养了一大批训练有素、能够解决有毒有害气体的技术队伍。
西北地区 西南地区
宁夏 0
四川 3
继也开展了电子气 体业务。
东北地区
辽宁 4
总计
省份/自治区/直辖市
江苏 安徽 浙江 福建 上海
19
1
4
1
14
广西 海南
0
0
湖南 河南 江西
0
3
1
天津 河北 山西 内蒙古
3
2
2
1
新疆 青海 陕西 甘肃
0
0
0
0
云南 贵州 西藏 重庆
0
0
0
2
吉林 黑龙江
0
0
合计
43 12 7 24 0 5 4 95 10 8
hgm863@163.com
中国电子气体的现状及未来
光明化工研究设计院 中国 大连
13504289651
整体 概述
一 请在这里输入您的主要叙述内容
二
请在这里输入您的主要 叙述内容
三 请在这里输入您的主要叙述内容
2
内容简介
31 电子气体的用途及分类 2 我国电子气体的现状 3 国外电子气体的现状 4 我国电子气体的未来走向
政府在决策 时，往往只 顾及终端产 品，而忽视 了这些领域 的原材料的 研发；
地方政府更 是急功近利， 一味追求暂 时的利益， 缺乏对产业 链的培育和 发展。
我国电子气体同国外存的差距在拉大
86
我国电子气体的现状
❖ 我国电子气体真正意义上的起步时间应该从上世纪八十年 代初，至今已有30年的历史。
❖ “六五”期间主要为配合我国微电子工业，解决电子气体 有无问题，以研制开发为主，到“八五”结束后，我国自 主研发的电子气体品种已有近20种。
化学气相 沉积气
SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2
平衡气 （稀释气）
N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2
外延气
SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar 5 3
电子气体的分类
❖ 按电子气组分的性质分类
➢ 按组分的性质，电子气大致可分为三大类，即单质类气 体、化合物类气体和混合物类气体。
42
电子气体的分类
❖ 按电子气用途分类
➢ 根据电子气的不同用途，可分为十多类，例如晶体生长气、热氧化气、外延 气、掺杂气、扩散气、化学气相沉积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻 气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气等。
分类
气体名称
掺杂气
AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、H2Se、SbH3、 (CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te
惰性气体
化学气体 腐蚀性气体 不稳定气体
Ar
AsH3
BCl3
Bห้องสมุดไป่ตู้H6
CF3H
CO
BF3
NO
CF4
D2
Cl2
CH4
GeH4
F2
CO2
H2
HBr
C2F6
NF3
HCl
Ne
PH3
NH3
N2
SeH2
SiH2Cl2
N2O
SiH4
SiCl4
O2
WF6
SF6
75
我国电子气体的现状
电子气体的 作用，是通 过其下游的 器件来体现 的；
我国电子气体的现状
我国大量引进国外 生产线，需要的大 量气体全部依赖于 进口，其中美国 AP 、 Praxair 、 法 液空、日本昭和电 工每年向我国销售 大量的电子气体。 Praxair 总 裁 曾 放
言：中国将是世界 最后的电子气体竞 争的疆场。
我国某些电子气体， 为鼓励IC产业的发
我国电子气体的现状
中国大陆地区电子气从业企业统计表
❖ 但是，由于受到当 地 区
时电子工业的限制， 最初从事电子气体
华东地区
山东 4
研发工作的只有几 家单位，规模也仅 限于实验室。
华南地区 华中地区
广东 12 湖北 3
❖ 进入九十年代以后，华北地区 随着我国IC产业的
北京 16
逐步发展，一些从 事工业气体和其它 特种气体的企业相
分类 单质气体
化合物气体
混合物气体
气体名称
Ar、H2、O2、He、N2、Cl2
SiH4、PH3、AsH3、B2H6、SiF4、SF6、HCl、H2S、NH3、GeH4、CF4、C2F6、 C3F8、C5F12
①SiH4+稀释气（Ar、He、H2、N2） ③AsH3+稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑤HCl +稀释气（Ar、He、O2、N2） ⑦NH3+稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑨CO+SF6
②PH3+稀释气（Ar、He、H2、N2） ④B2H6+稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑥H2S+稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑧Cl2+稀释气（Ar、He、N2） ⑩H2Se+稀释气（Ar、He、H2、N2）
64
电子气体的分类
❖ 按化学性质分类
➢ 电子气体大多属于易燃、易爆危险化学品，其性质各有 不同，按照化学性质可分为四大类。
31
电子气体的用途
❖ 电子气体是高科技产业重要的“源”性材料，是半导 体集成电路制造过程必不可少的关键支撑材料。
❖ 在IC、LED、SOLAR CELL等生产制造的每一环节， 都需要大量的电子气体或其混合物。
❖ 从某种意义上讲，没有电子气体，就没有现代高科。
❖ 随着半导体工业和微电子工业的迅猛发展，对电子气 的品种、数量、质量及纯度等方面均提出了更高的要 求。电子气体的纯度每提高一个数量级，都会对其下 游产生巨大的影响。
气相蚀刻气 Cl2、HCl、HF、HBr、SF6
等离子蚀刻气
SiF4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、CHFCl2、 N2、He、Ar
离子束蚀刻气 C3F8、CHF3、CClF3、CF4
离子注入气 AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2
晶体生长气
SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、 TeH2、(CH3)3Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)3P、 (C2H5)3P、SnCl4、GeCl4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2
❖ 在计划经济体制下，以光明院为代表的国内研究单位为中 国电子气体的发展起到了历史性的铺垫作用，其成就至今 对我们仍有很多帮助。
➢ 率先开展了电子气体的研制、分析、包装、解毒等一系列环节 的基础研究，填补了我国在电子气体领域的诸多空白；
➢ 形成了许多国家标准； ➢ 培养了一大批训练有素、能够解决有毒有害气体的技术队伍。
西北地区 西南地区
宁夏 0
四川 3
继也开展了电子气 体业务。
东北地区
辽宁 4
总计
省份/自治区/直辖市
江苏 安徽 浙江 福建 上海
19
1
4
1
14
广西 海南
0
0
湖南 河南 江西
0
3
1
天津 河北 山西 内蒙古
3
2
2
1
新疆 青海 陕西 甘肃
0
0
0
0
云南 贵州 西藏 重庆
0
0
0
2
吉林 黑龙江
0
0
合计
43 12 7 24 0 5 4 95 10 8
hgm863@163.com
中国电子气体的现状及未来
光明化工研究设计院 中国 大连
13504289651
整体 概述
一 请在这里输入您的主要叙述内容
二
请在这里输入您的主要 叙述内容
三 请在这里输入您的主要叙述内容
2
内容简介
31 电子气体的用途及分类 2 我国电子气体的现状 3 国外电子气体的现状 4 我国电子气体的未来走向
政府在决策 时，往往只 顾及终端产 品，而忽视 了这些领域 的原材料的 研发；
地方政府更 是急功近利， 一味追求暂 时的利益， 缺乏对产业 链的培育和 发展。
我国电子气体同国外存的差距在拉大
86
我国电子气体的现状
❖ 我国电子气体真正意义上的起步时间应该从上世纪八十年 代初，至今已有30年的历史。
❖ “六五”期间主要为配合我国微电子工业，解决电子气体 有无问题，以研制开发为主，到“八五”结束后，我国自 主研发的电子气体品种已有近20种。
化学气相 沉积气
SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2
平衡气 （稀释气）
N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2
外延气
SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar 5 3
电子气体的分类
❖ 按电子气组分的性质分类
➢ 按组分的性质，电子气大致可分为三大类，即单质类气 体、化合物类气体和混合物类气体。
42
电子气体的分类
❖ 按电子气用途分类
➢ 根据电子气的不同用途，可分为十多类，例如晶体生长气、热氧化气、外延 气、掺杂气、扩散气、化学气相沉积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻 气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气等。
分类
气体名称
掺杂气
AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、H2Se、SbH3、 (CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te
惰性气体
化学气体 腐蚀性气体 不稳定气体
Ar
AsH3
BCl3
Bห้องสมุดไป่ตู้H6
CF3H
CO
BF3
NO
CF4
D2
Cl2
CH4
GeH4
F2
CO2
H2
HBr
C2F6
NF3
HCl
Ne
PH3
NH3
N2
SeH2
SiH2Cl2
N2O
SiH4
SiCl4
O2
WF6
SF6
75
我国电子气体的现状
电子气体的 作用，是通 过其下游的 器件来体现 的；
我国电子气体的现状
我国大量引进国外 生产线，需要的大 量气体全部依赖于 进口，其中美国 AP 、 Praxair 、 法 液空、日本昭和电 工每年向我国销售 大量的电子气体。 Praxair 总 裁 曾 放
言：中国将是世界 最后的电子气体竞 争的疆场。
我国某些电子气体， 为鼓励IC产业的发