杜瓦外再生冷泵(EC-II)

杜瓦外再生冷泵（EC-II）

1、停止测量，系统温度设定到300K，磁场设为0，等温度、磁场稳定2~3个小时后退激活选件，Vent样品腔，取出样品腔中的样品托或线圈等部件，将系统切换到排气状态（Intrument >> Evercool >> Exhaust Pump Output），并确认状态栏显示Exhausting(此时外置流量计显示一定的流量)，最后将系统设定到Standby状态（instrument >> shutdown）。

2、等2分钟后，关闭电脑和电子机柜前面板上的所有开关，拔掉冷泵后侧的连接线(GreenLemo)和抽气金属管(磁体电源线和BlueLemo、BlackLemo线无需拔掉)。

注意：移除抽气管道的快接接头时应左手顶住快接接头后部，同时用右手食指和拇指夹住滚纹部分向后用力拔。

3、将室内机前面板上的开关键打至OFF档，等压缩机停止后松开样品腔右侧的固定扣，拔出装有安全阀的导气管。

4、利用内六角扳手拧下冷泵(Cryopump)顶部的四颗螺丝(见下图)，保存好螺丝，缓慢将冷泵竖直向上提出。

a)由于杜瓦中存有液氦，冷泵前方的长管外壁会结霜，上提的过程中可以用电吹风稍

微加热长管和杜瓦的接触处，注意不要长时间加热长管，防止融化的水落入杜瓦中。

b)注意有关密封用的O-ring位置。冷泵放置在合适的位置，务必不能跌落，突出的马

达和长管也不能磕碰。

5、完全提出冷泵长管后迅速用堵头堵住杜瓦上的开口(堵头在冷泵的工具箱中，为防止冻伤操作人员，使用时应旋上配套的长螺钉)，并且尽快安装样品腔上方原有的密封部件，再用卡箍、O圈封住样品腔。所需零件见下图。

6、按下图所示密封好冷泵上连通样品腔的上下口，插上冷泵后侧的连接线(GreenLemo)和抽气金属软管。利用电吹风除掉冷泵长管上的霜或冰，吹热长管底部（铜部分），温度不宜过高，50~60度即可。

7、开启机柜上M6000等模块电源，启动电脑，打开MultiVu控制软件，执行冷泵再生sequence。冷泵再生时冷泵上的flapper阀会开启，出现红色指示条，注意观察这一点。执行sequence时最好保持电吹风吹长管底端（铜部分），这样再生的效果会更好，不过温度只需要50~60度。

8、vent后拔掉冷泵后侧的连接线和抽气金属管，等待长管底端的温度冷至室温，擦净长管上的水和其它杂物，拆掉第6步装上的各零件，再拆除第5步装在样品腔上方的密封部件，移走杜瓦上冷泵长管入口的堵头，然后迅速插入冷泵长管，再缓慢下降。

a)注意下移的速度一定不能快，特别是在长管底部接近液氦面时，否则长管温度较高

会快速气化液氦，导致液氦浪费过多。

b)注意检查密封的O-ring。

9、固定好冷泵顶端的4颗螺丝。拧紧螺丝时应依次拧对角线两端的螺丝，并且不能一次将其中一个螺丝拧得过紧，应循序渐进地拧紧4颗螺丝。

10、插回装有安全阀的导气管，并扣上固定扣，最后将室内机前面板上的开关键打至ON档。

11、插上冷泵后侧的连接线和抽气金属管。purge/seal后设定温度为10K，降温速率为10K/min，等待30分钟后将温度升至320K，将系统设回到循环状态，再等温度稳定2小时后Purge/Seal三次以上，最后尝试设定高真空，检验冷泵再生的效果。