蓝宝石晶片机械化学研磨抛光新方法研究

蓝宝石晶片机械化学研磨抛光新方法研究

王吉翠１邓乾发１，２周兆忠１，３李振１袁巨龙１

１．浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部／浙江省重点实验室，杭州３１００１４

２．湖南大学机械与运载工程学院，长沙４１００８２３．衢州学院，衢州３２４０００

［摘要］ 以ＳｉＯ２为磨料，同时将ＭｇＦ２微粉作为固相反应催化剂加入到ＳｉＯ２磨料中，利用蓝宝石和ＳｉＯ２之间的固相反应，通过去除生成的软质反应层的方法，对蓝宝石晶片进行机械化学研磨抛光，在获得良好的表面加工质量的同时，提高蓝宝石晶片加工效率。

蓝宝石晶片；固相反应；ＳｉＯ２；催化剂；ＭｇＦ２

ＴＧ１７５Ａ１００１－３６６０（２０１１）０５－０１０１－０３

Ｔｈｅ　Ｓｔｕｄｙ　ｏｎ　ｔｈｅ　Ｍｅｔｈｏｄ　ｏｆ　Ｍｅｃｈａｎｏ－ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ　

ａｂｏｕｔ　ｔｈｅ　Ｇｒｉｎｄｉｎｇ　Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ　ｏｆ　Ｓａｐｐｈｉｒｅ　

ＷＡＮＧ　Ｊｉ－ｃｕｉ　ＤＥＮＧ　Ｑｉａｎ－ｆａ　ＺＨＯＵ　Ｚｈａｏ－ｚｈｏｎｇ　ＬＩ　Ｚｈｅｎ　ＹＵＡＮ　Ｊｕ－ｌｏｎｇ　

２０１１－０７－０４２０１１－０８－１７

国家自然科学基金重点项目（５０５３５０４０）；２０１０年浙江省自然基金资助（Ｙ１１０１０８５，Ｙ１１０１０９５）

王吉翠（１９８７－），女，山东人，硕士生，主攻特种装备制造与先进加工技术。

袁巨龙（１９６２－），男，四川人，博士，教授，主要研究方向为超精密加工技术与装备。

加工

＠＠［１］ ＨＡＮＥＹ　Ｅｄｗａｒｄ　Ｊ，　ＳＵＢＨＡＳＨ　Ｇｈａｔｕ．　Ａｎａｌｙｓｉｓ　ｏｆ　Ｉｎｔｅｒ　

ａｃｔｉｎｇ　Ｃｒａｃｋｓ　Ｄｕｅ　ｔｏ　Ｓｅｑｕｅｎｔｉａｌ　Ｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎｓ　ｏｎ　Ｓａｐｐｈｉｒｅ ［Ｊ］．　ＳｃｉｅｎｃｅＤｉｒｅｃｔ，２０１１（２）　：１－８

＠＠［２］ ＭＡＬＫＩ　Ｐｉｎｋａｓ，　ＨＡＩＭＬＯＴＥＭ，　ＹＵＶＡＬＧＯＬＡＮ．　Ｔｈｅｒ ｍａｌ　Ｈｅａｌｉｎｇ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｓｕｂ－ｓｕｒｆａｃｅ　Ｄａｍａｇｅ　Ｌａｙｅｒ　ｉｎ　Ｓａｐｐｈｉｒｅ ［Ｊ］．　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ　ａｎｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ，２０１０（６）　：１－７．

＠＠［３］程国良．超精密磨削蓝宝石基片的软磨料砂轮磨削性能 ［Ｄ］．大连：大连理工大学，２００８．

＠＠［４］ ＰＯＮＣＥ　Ｆ　Ａ，ＢＯＵＲ　Ｄ　Ｐ．　Ｎｉｔｒｉｄｅ　ｂａｓｅｄ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ　

ｆｏｒ　Ｂｌｕｅ　ａｎｄ　Ｇｒｅｅｎ　Ｌｉｇｈｔ－ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｅｖｉｃｅｓ　［Ｊ］．　Ｎａｔｕｒｅ， １９９７（３８６）　：３５１－　３５４．

＠＠［５］文东辉，杨文言，洪滔，等．蓝宝石衬底的超光滑表面加工 进展：磨粒加工法［　Ｊ］．机械工程学报，２００９（２）：２４７－　２５０．＠＠［６］赵之雯．蓝宝石衬底纳米级超光滑表面加工工艺研究 ［Ｊ］．新技术新工艺，２００８（２）：２７－２９．

＠＠［７］袁巨龙．功能陶瓷的超精密加工技术［Ｍ］．哈尔滨：哈尔 滨工业大学出版社，２０００：１０４　－１０６．

＠＠［８］ ＹＡＳＵＮＵＧＡ　Ｎ．　Ｅｆｆｅｃｔ　ｏｆ　Ｓｏｌｉｄ　Ｓｔａｔｅ　Ｒｅａｃｔｉｏｎ　ｏｎ　Ｗｅａｒ　

ｏｆ　Ｓａｐｐｈｉｒｅ　Ｓｌｉｄｉｎｇ　ｏｎ　Ｓｔｅｅｌ［Ｊ］．　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ＪＳＰＥ，　１９７８ （４４）：　６５－　６７．

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