烧结炉作业指导书

注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核

批准 变更内容：

谭旺

文件编号

版/次 总5页

A/0 第1页 1.目的

确保烧结工艺处于稳定、受控状态。 2.适用范围

适用于印刷后硅片在烧结炉中的烧结过程。 3.职责

3.1本作业指导书由技术部负责编写和修订；

3.2所有操作人员必须严格按照该文件规定进行操作。

4.作业准备

4.1劳保用品：穿戴好净化分体服、一次性手套、一次性口罩、帽子、布鞋。 4.2确认设备通电正常、冷却水正常、压缩空气气压正常、排风正常。

5.作业步骤 5.1工艺准备

该作业由组长执行！

5.1.1开机：具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。 5.1.2设备确认

检查设备和PC 上是否有故障显示（红色灯或/和警告窗口）；确认冷却水温是否正常。确认设备运行正常方可执行后续作业；确认急停按钮已经弹起。若设备有故障显示，应立即汇报班长。

5.1.3确认工艺参数

每班接班后，生产工序长需对工艺参数进行点检，发现异常及时报告工艺人员，如无异常，将点检结果填写于《烧结工艺参数点检表》中，见附件一。 5.2工艺启动，该作业由组长执行！ 5.2.2实际参数确认

等待参数：速度、温度达到稳定后；确认实际参数在设定的区间内（警示灯转为绿色）。 5.3硅片流入 5.3.1放入预烧片

开机和设定温度修改后，在正常硅片流入前，放入两片预烧片（从低效片中取出的电池片），

5.3.2 烧结工艺确认

在放入预烧片后，流入印刷完成后的硅片5片。由工程师确认烧结工艺正常。

注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核

批准 变更内容：

谭旺

文件编号

版/次 总5页

A/0 第2页 5.3.3硅片正常流入

待烧结工艺确认后，印刷完电极后的电池片自动流入烧结炉，无需人工操作。

5.4电池片流出

取出预烧片，重复使用。

观察流入电池片的位置，如果发现电池片偏移，手动移正，保证流入硅片位置无偏移。 取出烧结过程中破损电池片；定时对流出电池片做外观检查。

如果分选仪停止，用手取出流出的电池片，防止由于电池片堵塞造成的破片。 发现连续异常及时通知丝网印刷工序操作人员。 5.5关机

该作业由组长执行！

5.5.1确认烧结炉中所有加工硅片已经流出；

5.5.2关机：具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。

6.自检

该作业由组长与操作人员一起执行！

操作人员在流出硅片检测过程中，对硅片进行外观自检。自检要求如下所示： 6.1表面检验

参考《单晶硅太阳电池企业标准》检测烧结后电池片正面和背面，无表面外观问题；翘曲度符合检测标准。 6.2破片检验

要求硅片没有裂片、没有明显裂纹、崩边、缺角。 6.3 烧结温度变更记录

烧结温度做改动时，在《工艺参数变更记录表》作出详细记录。

注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核

批准 变更内容：

谭旺

文件编号

版/次 总5页

A/0 第3页 6.4工艺参数表

温区 温区1 温区2 温区3 温区4 温区5 温区6 温区7 温区8 温区9 冷却水压力/Mpa

带速 /rpm

温度

/℃

300±15

320±15

340±15

380±20

480±25

540±25

650±30 820±40 850±40 0.25~0.45 43±2 气流量 40±10 45±10 25±10 15±10 20±10 15±5 10±5

15±5

50±10

各温度设定值与实际值偏差要求在±5℃。

7.异常处理

7.1设备出现故障信号（红灯显示），组长应立即报告班长，并通知丝网印刷工序停止印刷。

7.2工艺出现异常，如破片率高、连续出现外观问题，组长立即通知丝网印刷停止印刷，通知班长和工

程师。 8.相关文件

《单晶硅太阳电池企业标准》 9.安全注意项

9.1非该工序生产、工艺和维护人员不得对设备进行操作、拆卸和改装。 9.2设备运行时禁止打开，拆卸安全门。

9.3在炉体温度降到50℃下之前，禁止对设备内部做任何操作。 9.4烧结炉内有硅片时禁止降温。 10.记录表格

《工艺参数变更记录表》 《烧结工艺参数点检表》

注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核

批准 变更内容：

谭旺

文件编号

版/次 总5页

A/0 第4页

更改记录

版次 条款

更改内容说明

更改日期 更改人 A/1

5.1.3 确认工艺参数

增加点检表样表，见附件一

2010-6-4

臧其军

附件一

注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。作成审核批准

变更内容：

谭旺

文件编号版/次总5页

A/0 第5页