固体化学固体中的扩散
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质点的距离。
扩散质点的无规行走轨迹
9
流体的质点密度 越低(如在气体中), 质点迁移的自由程也就越大。 因此发生在流体中的扩散传质过程往 往总是具有很大的速率和完全的各向同性。
10
②固体中的扩散
A、固体中明显的质点扩散 常开始于较高的温
度,但低于固体的熔点。
原因:构成固体的所有质点均束缚在三维周期 性势阱中,质点之间的相互作用强,故质点的每一
24
处于间隙位置的杂质原子可以从一个
间隙直接跳到相邻的另一个间隙位置上, 如下图(a)所示:
25
② 间接直线间隙扩散
处于间隙位置的杂质原 子把相邻的基质原子以直线
的方向推开到间隙位置,取
而代之地占据格位的位置, 如图(b)所示:
26
③ 间接非直线间隙扩散
处于间隙位置的杂质原 子把相邻的基质原子以曲线
4
在固体器件的制作过程中,利用扩散作用, 并不需要将晶体熔融,便可以把某种过量的组
分掺到晶体中去,或者在晶体表面生长另一种
晶体。
5
三、固体中扩散的研究内容
1、是对扩散表象学的认识,即对扩散的宏观
现象的研究,如对物质的流动和浓度的变化进行
实验的测定和理论分析,利用所得到的物质输运
过程的经验和表象的规律,定量地讨论固相反应 的过程;
和很大的内聚力的原故。 尽管如此,只要固体中的原子或离子分布不均匀,
存在着浓度梯度,就会产生使浓度趋向于均匀 的定
向扩散。
2
二、晶格中原子或离子的扩散过程
1、由于热起伏的存在,晶体中的某些原子或 离子由于剧烈的热振动而脱离格点,从而进入 晶格中的间隙位置或晶体表面,同时在晶体内
部留下空位;
3
2、这些处于间隙位置上的原子或原格点上 留下来的空位,可以从热涨落的过程中重新获取 能量,从而在晶体结构中不断地改变位置而出现 由一处向另一处的无规则迁移运动。
其中,为振动的频率
ε
kT
33
由上式
W e
kT
可知:
18
③原子在新平衡位置的振动
在新格位上,跃迁的原子又被势能陷阱束缚
住,进而又开始在新平衡位置中振动。直到再发
生下一次的跃迁。
19
在实际晶体中,由于存在着各种各样的缺陷, 故扩散可以很容易地通过点缺陷,沿着位错、晶粒间
界、微晶的表面而进行。
20
通常情况下,扩散机理可分为三种:
(1)、间隙扩散机理
从热力学的角度看,只有在绝对零度下才
没有扩散。
通常情况下,对于任何物质来说,不论是
处于哪种聚集态,均能观察到扩散现象:
如气体分子的运动和液体中的布朗运动 都 是明显的扩散现象。
1
在固体中,也会发生原子的输运和不断混合的过
程。但是,固体中原子的扩散要比气体或液体中慢
得多。这主要是由于固体中原子之间有一定的结构
晶体内点缺陷的运动,叫做体扩散。
14
在多晶中,原子的扩散不仅限于体扩散,
而且还包含有物质沿晶面、位错以及晶粒间界
的输运。
当晶粒增大或者温度升高时,体扩散要比晶
粒间界扩散更为重要。
15
二、 扩散的机理
固体中的原子之间的跃迁实质上是一种原子 活化过程,它主要包括以下三个过程。
①平衡位置原子的振动
②原子在格位上的迁移
间隙原子的势垒
31
从实验可推知,势垒 相当于几个eV的大小, 然而,即使温度达1000 oC,原子的振动能也只有 0.1 eV。 因此,在获得大于势垒 的能量时,间隙原 子的跳跃符合偶然性的统计。
32
分析表明,获得大于的能量的涨落几 率可以写成:
e
ε
kTቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
原子的跃迁几率 可表示为:
W υe
(2)、空位扩散机理 (3)、环形扩散机理
21
(1)间隙扩散机理
处于间隙位置的质点从一间隙位移入另一邻近
间隙位,必然引起质点周围晶格的变形。
22
间隙扩散机理分为三种形式:
①直接间隙扩散 ②间接直线间隙扩散
③间接非直线间隙扩散。
23
①直接间隙扩散
例如,在某些固溶体中, 杂质原子的 扩散可在晶格间隙的位置之间运动。
的方式推开到间隙,取而代
之地占据格位的位置,如图 (c)所示。
27
从上面三个示意图的比较可看出,直接间隙
扩散(a)的晶格变形较小,而间接间隙扩散(b)
、(c)的晶格变形较大。
28
间接间隙扩散的晶格变形虽然较大。但是还有
很多晶体中的扩散,属下这种间接间隙扩散机理。
例如: AgCl晶体中Ag+; 具有萤石结构的UO2+x晶体中的O2-的扩散。
面点阵内间隙位的原子,
只存在四个等同的迁移方
向,每一迁移的发生均需
获取高于能垒△G的能量,
迁移自由程则相当于晶格
常数大小。
间隙原子扩散势场示意图
13
③晶体中原子的扩散
在晶体中,由于晶格点阵的热振动,点缺陷一直 是在运动中,这种与周围原子处于平衡状态的无规
则行走称作自扩散。
有杂质原子参加的扩散,叫做杂质扩散。
6
2、是对扩散的微观机理的认识,把扩散与 晶体内原子和缺陷运动联系起来,建立某些
扩散机理的模型。
7
第二节 固体中扩散机理及扩散系数
一、 扩散的基本特点
①流体中的扩散
②固体中的扩散
③晶体中原子的扩散
8
①流体中的扩散
质点的迁移完全、
随机地朝三维空间的任
意方向发生,每一步迁
移的自由行程也随机地
决定于该方向上最邻近
③原子在新平衡位置的振动
16
①平衡位置原子的振动
在固体中,原子、分子或离子排列的紧密程度
较高,它们被晶体势场束缚在一个极小的区间内, 在其平衡位置的附近振动,具有均方根的振幅,振 幅的数值决定于温度和晶体的特征。
17
②原子在格位上的迁移
振动着的原子相互交换着能量,偶尔某个原
子或分子可能获得高于平均值的能量,因而有可 能脱离其格点位置而跃迁到相邻的空位上去。
步迁移必须从热涨落或外场中获取足够的能量以克
服势阱的能量。
11
B、固体中的质点扩散往往具有各向异性和 扩散速率低的特点。 原因:固体中原子或离子迁移的方向和自由
行程受到结构中质点排列方式的限制,依一定方
式所堆积成的结构将以一定的对称性和周期性 限 制着质点每一步迁移的方向和自由行程。
12
如右图所示,处于平
29
间隙原子的扩散机理势能曲线
间隙原子的势垒如右图所
示:
间隙原子在间隙位置上
处于一个相对的势能极小值,
两个间隙之间存在势能的极
大值,称作势垒( )。
间隙原子的势垒
30
通常情况下,间隙原子就在势能极小值附 近作热振动,振动频率 = 1012 ~ 1013 s –1, 平均振动能 E kT 。
扩散质点的无规行走轨迹
9
流体的质点密度 越低(如在气体中), 质点迁移的自由程也就越大。 因此发生在流体中的扩散传质过程往 往总是具有很大的速率和完全的各向同性。
10
②固体中的扩散
A、固体中明显的质点扩散 常开始于较高的温
度,但低于固体的熔点。
原因:构成固体的所有质点均束缚在三维周期 性势阱中,质点之间的相互作用强,故质点的每一
24
处于间隙位置的杂质原子可以从一个
间隙直接跳到相邻的另一个间隙位置上, 如下图(a)所示:
25
② 间接直线间隙扩散
处于间隙位置的杂质原 子把相邻的基质原子以直线
的方向推开到间隙位置,取
而代之地占据格位的位置, 如图(b)所示:
26
③ 间接非直线间隙扩散
处于间隙位置的杂质原 子把相邻的基质原子以曲线
4
在固体器件的制作过程中,利用扩散作用, 并不需要将晶体熔融,便可以把某种过量的组
分掺到晶体中去,或者在晶体表面生长另一种
晶体。
5
三、固体中扩散的研究内容
1、是对扩散表象学的认识,即对扩散的宏观
现象的研究,如对物质的流动和浓度的变化进行
实验的测定和理论分析,利用所得到的物质输运
过程的经验和表象的规律,定量地讨论固相反应 的过程;
和很大的内聚力的原故。 尽管如此,只要固体中的原子或离子分布不均匀,
存在着浓度梯度,就会产生使浓度趋向于均匀 的定
向扩散。
2
二、晶格中原子或离子的扩散过程
1、由于热起伏的存在,晶体中的某些原子或 离子由于剧烈的热振动而脱离格点,从而进入 晶格中的间隙位置或晶体表面,同时在晶体内
部留下空位;
3
2、这些处于间隙位置上的原子或原格点上 留下来的空位,可以从热涨落的过程中重新获取 能量,从而在晶体结构中不断地改变位置而出现 由一处向另一处的无规则迁移运动。
其中,为振动的频率
ε
kT
33
由上式
W e
kT
可知:
18
③原子在新平衡位置的振动
在新格位上,跃迁的原子又被势能陷阱束缚
住,进而又开始在新平衡位置中振动。直到再发
生下一次的跃迁。
19
在实际晶体中,由于存在着各种各样的缺陷, 故扩散可以很容易地通过点缺陷,沿着位错、晶粒间
界、微晶的表面而进行。
20
通常情况下,扩散机理可分为三种:
(1)、间隙扩散机理
从热力学的角度看,只有在绝对零度下才
没有扩散。
通常情况下,对于任何物质来说,不论是
处于哪种聚集态,均能观察到扩散现象:
如气体分子的运动和液体中的布朗运动 都 是明显的扩散现象。
1
在固体中,也会发生原子的输运和不断混合的过
程。但是,固体中原子的扩散要比气体或液体中慢
得多。这主要是由于固体中原子之间有一定的结构
晶体内点缺陷的运动,叫做体扩散。
14
在多晶中,原子的扩散不仅限于体扩散,
而且还包含有物质沿晶面、位错以及晶粒间界
的输运。
当晶粒增大或者温度升高时,体扩散要比晶
粒间界扩散更为重要。
15
二、 扩散的机理
固体中的原子之间的跃迁实质上是一种原子 活化过程,它主要包括以下三个过程。
①平衡位置原子的振动
②原子在格位上的迁移
间隙原子的势垒
31
从实验可推知,势垒 相当于几个eV的大小, 然而,即使温度达1000 oC,原子的振动能也只有 0.1 eV。 因此,在获得大于势垒 的能量时,间隙原 子的跳跃符合偶然性的统计。
32
分析表明,获得大于的能量的涨落几 率可以写成:
e
ε
kTቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
原子的跃迁几率 可表示为:
W υe
(2)、空位扩散机理 (3)、环形扩散机理
21
(1)间隙扩散机理
处于间隙位置的质点从一间隙位移入另一邻近
间隙位,必然引起质点周围晶格的变形。
22
间隙扩散机理分为三种形式:
①直接间隙扩散 ②间接直线间隙扩散
③间接非直线间隙扩散。
23
①直接间隙扩散
例如,在某些固溶体中, 杂质原子的 扩散可在晶格间隙的位置之间运动。
的方式推开到间隙,取而代
之地占据格位的位置,如图 (c)所示。
27
从上面三个示意图的比较可看出,直接间隙
扩散(a)的晶格变形较小,而间接间隙扩散(b)
、(c)的晶格变形较大。
28
间接间隙扩散的晶格变形虽然较大。但是还有
很多晶体中的扩散,属下这种间接间隙扩散机理。
例如: AgCl晶体中Ag+; 具有萤石结构的UO2+x晶体中的O2-的扩散。
面点阵内间隙位的原子,
只存在四个等同的迁移方
向,每一迁移的发生均需
获取高于能垒△G的能量,
迁移自由程则相当于晶格
常数大小。
间隙原子扩散势场示意图
13
③晶体中原子的扩散
在晶体中,由于晶格点阵的热振动,点缺陷一直 是在运动中,这种与周围原子处于平衡状态的无规
则行走称作自扩散。
有杂质原子参加的扩散,叫做杂质扩散。
6
2、是对扩散的微观机理的认识,把扩散与 晶体内原子和缺陷运动联系起来,建立某些
扩散机理的模型。
7
第二节 固体中扩散机理及扩散系数
一、 扩散的基本特点
①流体中的扩散
②固体中的扩散
③晶体中原子的扩散
8
①流体中的扩散
质点的迁移完全、
随机地朝三维空间的任
意方向发生,每一步迁
移的自由行程也随机地
决定于该方向上最邻近
③原子在新平衡位置的振动
16
①平衡位置原子的振动
在固体中,原子、分子或离子排列的紧密程度
较高,它们被晶体势场束缚在一个极小的区间内, 在其平衡位置的附近振动,具有均方根的振幅,振 幅的数值决定于温度和晶体的特征。
17
②原子在格位上的迁移
振动着的原子相互交换着能量,偶尔某个原
子或分子可能获得高于平均值的能量,因而有可 能脱离其格点位置而跃迁到相邻的空位上去。
步迁移必须从热涨落或外场中获取足够的能量以克
服势阱的能量。
11
B、固体中的质点扩散往往具有各向异性和 扩散速率低的特点。 原因:固体中原子或离子迁移的方向和自由
行程受到结构中质点排列方式的限制,依一定方
式所堆积成的结构将以一定的对称性和周期性 限 制着质点每一步迁移的方向和自由行程。
12
如右图所示,处于平
29
间隙原子的扩散机理势能曲线
间隙原子的势垒如右图所
示:
间隙原子在间隙位置上
处于一个相对的势能极小值,
两个间隙之间存在势能的极
大值,称作势垒( )。
间隙原子的势垒
30
通常情况下,间隙原子就在势能极小值附 近作热振动,振动频率 = 1012 ~ 1013 s –1, 平均振动能 E kT 。