洁净工作台噪声测量值的不确定度评定
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６ ３ ． ６， ６ ２ ． ０
Ａ 一常数 ， 取０ 、 １ 、 ２ ｄ Ｂ （ Ａ） 。 ３ ． ２ 当噪声 测 量 值 与 背 景 噪声 间 的 差 值 为 （ ０～３ ） ｄ Ｂ （ Ａ） 时， 测 量模 型 如下 ：
：
背 景 噪声 ５ ０ ． ０ ｄ Ｂ （ Ａ）
１ 概述
洁 净工 作 台是一 种箱 式 局部 空气 净化设 备 ， 由箱 体 、 风机 、 预 过 滤器 、 高效 （ 或 超 高效 ） 空 气 过 滤 器 及 电器 控 制 系统 组成 ， 广泛 应 用 于局部 净化 的 区域 ， 如： 食 品、 化妆 品、 生物 制药 、 光 电产业 、 微 电子 、 硬盘 制造 等领 域 。 噪声 的测量是洁净工作 台的技术指标 中一个重要 的参 数， 下面对噪声的测 量值的测量不确定度评定进行分析 。
计量 与测试 技术￣ ２ ｏ １ ５ 丰 第４ ２ 蓉 第７ ０期
洁 净 工 作 台 噪 声 测 量 值 的 不 确 定 度 评 定
刘 丹 芮铭 阳
（ 长春 市计 量检定测试技术研究院 ， 吉林 长春 １ ３ ０ ０ １ ２ ）
摘 要： 本文介绍 了洁净工作 台噪声测量值的测量不确定度评定方法。
Ｍ （ ）： ： ０ ． １ ５ ｄ Ｂ （ Ａ）
由于 仪器 噪声 的计 算公 式依 据 噪声测 量值 与 背景 噪 声 间的差 值 的大小 不 同而不 同 ， 测量 模 型有两 种情 况 ：
３ ． １ 当噪 声 测 量 值 与 背 景 噪声 间 的差 值 大 于 ３ ｄ Ｂ（ Ａ） 时， 测 量模 型 如下 ：
△ ＝Ｘ —Ａ
式 中： △ 一仪 器 噪声 ， ｄ Ｂ（ Ａ） ； 实测 噪声 的算 术平 均 值 ， ｄ Ｂ （ Ａ） ；
一
５ ． １ ． ２ 声 级计 测量 重 复性 引入 的不确 定度 分量 用 声级计 测 量十 次 ， 结 果如 下 ［ ｄ Ｂ （ Ａ） ］ ：
６ ２ ． ５， ６３ ． ８， ６ ４． ８， ６ ２． ６， ６ ０． ４， ６１ ． ２， ６ ４ ． ９ ， ６３ ． ０ ，
：
背 景 噪声 ， ｄ Ｂ （ Ａ） 。 ４ 方差 和 灵敏 系数
一
｛： ：０ ． ７ ｄ Ｂ （ Ａ ）
ｎ ４
４ ． １ 当 噪 声 测量 值 与 背 景 噪 声 间 的 差值 大 于 ３ ｄ Ｂ（ Ａ）
时， 依据 测 量模 型 ， 得 到方 差 ：
收 稿 日期 ： ２ ０ １ ５— ０ ６—１ ６
Ｅｖ ａ ｌ ｕａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｏ ｆ Ｕｎ ｃ ｅ ｒ ｔ ａ ｉ ｎ ｔ ｙ ｉ ｎ Ｎｏ ｉ ｓ ｅ Ｍｅ ａ ｓ ｕ ｒ ｅ ｍｅ ｎ ｔ ｆ ｏ ｒ Ｃｌ ｅ ａ ｎ Ｂｅ ｎ ｃ ｈ
Ｌ ｉ ｕ Ｄａ ｎ Ｒｕ ｉ Ｍｉ ｎ ｇ ｙ ａ ｎ ｇ
２ 测 量方 法
“ ｊ （ △ ） ＝ ｃ பைடு நூலகம்（ Ｘ ） ｕ （ ） 灵敏 系数 ：
ｃ ｆ ）：一 Ｏ ＡＸ
：
１
ａ
４ ． ２ 当噪声 测 量 值 与 背 景 噪 声 间 的差 值 为 （ ０～３ ） ｄ Ｂ （ Ａ） 时， 依 据测 量模 型 ， 得 到方 差 ：
文献标识码 ： Ａ 国家 标 准 学 科 分 类 代 码 ： ４ ６ ０ ． ４ ０ ３ ０
关键词 ： 洁 净 工 作 台 噪 声 测 量 不 确 定 度 中图 分 类 号 ： Ｔ Ｎ ９ ４ ９ ． ６＋３
Ｄ Ｏ Ｉ ： １ ０ ． １ ５ ９ ８ ８ ／ ｊ ． ｅ ｎ ｋ ｉ ． １ ０ ０ ４— ６ ９ ４ １ ． ２ ０ １ ５ ． １ ０ ． ０ ４ ６
ｕ
： （ ｚ ｘ ｘ ） ＝ ｃ （ ｘ ） ｕ （ ） ＋ｃ （ Ｘ 。 ） ｕ （ Ｘ 。 ）＋ ２ ｃ （ Ｘ ） ｃ
＝１ ｃ ２ （ ＝ －＿１
（ Ｘ ｏ ） “ （ ） Ｍ （ Ｘ ｏ ）
被 测 洁净 工作 台置 于正 常工 作 条 件 下 ， 声 级 计 置 于 “ Ａ ” 计权 模 式 ， 在 被 测 洁 净 工 作 台前 壁 面 中心 水 平 向外 ３ ０ ０ ｍ ｍ， 高度距 地 面约 １ ． １ ｍ 处 测 量 ４次 ， 取 ４次 算 术 平 均 值 为噪 声测 量值 ； 关 闭被 测 洁净工 作 台的风 机 ， 在相 同 位 置测 量 背景 噪声 。
ＡＸ ＝Ｘ —Ｘ０
删
实验 标 准
：
式中： △ 一 仪器 噪声 ， ｄ Ｂ（ Ａ） ； 实 测 噪声 的算术 平 均值 ， ｄ Ｂ （ Ａ） ；
一
＾ Ｊ ／ ｉ ＝ １ ４
平 均值 ＝ ６ ２ ． ８ ｄ Ｂ（ Ａ） ， 实 际测 量 时 以 ４次 测 量 的平 均 值 作 为测量 结 果 ， 故 有
５ ． １ ． ３ 标准 不确 定度 一览 表
虫 ｌ 】 丹等 ： 洁净Ｉ作 台噪声测量值的不确 定庹评定
表 １
５ ． ２ ． ３标 准不确 定 度一 览表
表２
５ ． ２ 当 噪声 测 量 值 与 背 景 噪声 间 的 差 值 为 （ ０～３ ） ｄ Ｂ （ Ａ） 时， 标 准不 确定 度分 量 的计算 如 下 ： ５ ． ２ ． １ 声 级计 的 不确 定度 引入 的标 准不 确定 度分 量 Ｍ
３ 测 量模 型
灵 敏系数 ． ｃ １ （
５ 标 准不确 定度 分量 的计 算
５ ． １ 当噪声 测 量 值 与 背 景 噪声 问 的差 值 大 于 ３ ｄ Ｂ （ Ａ） 时， 标 准不确 定度 分量 的计 算如 下 ：
５ ． １ ． １ 声 级计 的不 确定 度 引入 的标准不 确定 度分 量 “ 声 级计 的不 确定度 为 Ｕ＝ ０ ． ３ ｄ Ｂ（ Ａ） ， 用 Ｂ类方 法 进 行评 定 ， 由证 书得 到 ， ｋ＝ ２ 。
Ａ 一常数 ， 取０ 、 １ 、 ２ ｄ Ｂ （ Ａ） 。 ３ ． ２ 当噪声 测 量 值 与 背 景 噪声 间 的 差 值 为 （ ０～３ ） ｄ Ｂ （ Ａ） 时， 测 量模 型 如下 ：
：
背 景 噪声 ５ ０ ． ０ ｄ Ｂ （ Ａ）
１ 概述
洁 净工 作 台是一 种箱 式 局部 空气 净化设 备 ， 由箱 体 、 风机 、 预 过 滤器 、 高效 （ 或 超 高效 ） 空 气 过 滤 器 及 电器 控 制 系统 组成 ， 广泛 应 用 于局部 净化 的 区域 ， 如： 食 品、 化妆 品、 生物 制药 、 光 电产业 、 微 电子 、 硬盘 制造 等领 域 。 噪声 的测量是洁净工作 台的技术指标 中一个重要 的参 数， 下面对噪声的测 量值的测量不确定度评定进行分析 。
计量 与测试 技术￣ ２ ｏ １ ５ 丰 第４ ２ 蓉 第７ ０期
洁 净 工 作 台 噪 声 测 量 值 的 不 确 定 度 评 定
刘 丹 芮铭 阳
（ 长春 市计 量检定测试技术研究院 ， 吉林 长春 １ ３ ０ ０ １ ２ ）
摘 要： 本文介绍 了洁净工作 台噪声测量值的测量不确定度评定方法。
Ｍ （ ）： ： ０ ． １ ５ ｄ Ｂ （ Ａ）
由于 仪器 噪声 的计 算公 式依 据 噪声测 量值 与 背景 噪 声 间的差 值 的大小 不 同而不 同 ， 测量 模 型有两 种情 况 ：
３ ． １ 当噪 声 测 量 值 与 背 景 噪声 间 的差 值 大 于 ３ ｄ Ｂ（ Ａ） 时， 测 量模 型 如下 ：
△ ＝Ｘ —Ａ
式 中： △ 一仪 器 噪声 ， ｄ Ｂ（ Ａ） ； 实测 噪声 的算 术平 均 值 ， ｄ Ｂ （ Ａ） ；
一
５ ． １ ． ２ 声 级计 测量 重 复性 引入 的不确 定度 分量 用 声级计 测 量十 次 ， 结 果如 下 ［ ｄ Ｂ （ Ａ） ］ ：
６ ２ ． ５， ６３ ． ８， ６ ４． ８， ６ ２． ６， ６ ０． ４， ６１ ． ２， ６ ４ ． ９ ， ６３ ． ０ ，
：
背 景 噪声 ， ｄ Ｂ （ Ａ） 。 ４ 方差 和 灵敏 系数
一
｛： ：０ ． ７ ｄ Ｂ （ Ａ ）
ｎ ４
４ ． １ 当 噪 声 测量 值 与 背 景 噪 声 间 的 差值 大 于 ３ ｄ Ｂ（ Ａ）
时， 依据 测 量模 型 ， 得 到方 差 ：
收 稿 日期 ： ２ ０ １ ５— ０ ６—１ ６
Ｅｖ ａ ｌ ｕａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｏ ｆ Ｕｎ ｃ ｅ ｒ ｔ ａ ｉ ｎ ｔ ｙ ｉ ｎ Ｎｏ ｉ ｓ ｅ Ｍｅ ａ ｓ ｕ ｒ ｅ ｍｅ ｎ ｔ ｆ ｏ ｒ Ｃｌ ｅ ａ ｎ Ｂｅ ｎ ｃ ｈ
Ｌ ｉ ｕ Ｄａ ｎ Ｒｕ ｉ Ｍｉ ｎ ｇ ｙ ａ ｎ ｇ
２ 测 量方 法
“ ｊ （ △ ） ＝ ｃ பைடு நூலகம்（ Ｘ ） ｕ （ ） 灵敏 系数 ：
ｃ ｆ ）：一 Ｏ ＡＸ
：
１
ａ
４ ． ２ 当噪声 测 量 值 与 背 景 噪 声 间 的差 值 为 （ ０～３ ） ｄ Ｂ （ Ａ） 时， 依 据测 量模 型 ， 得 到方 差 ：
文献标识码 ： Ａ 国家 标 准 学 科 分 类 代 码 ： ４ ６ ０ ． ４ ０ ３ ０
关键词 ： 洁 净 工 作 台 噪 声 测 量 不 确 定 度 中图 分 类 号 ： Ｔ Ｎ ９ ４ ９ ． ６＋３
Ｄ Ｏ Ｉ ： １ ０ ． １ ５ ９ ８ ８ ／ ｊ ． ｅ ｎ ｋ ｉ ． １ ０ ０ ４— ６ ９ ４ １ ． ２ ０ １ ５ ． １ ０ ． ０ ４ ６
ｕ
： （ ｚ ｘ ｘ ） ＝ ｃ （ ｘ ） ｕ （ ） ＋ｃ （ Ｘ 。 ） ｕ （ Ｘ 。 ）＋ ２ ｃ （ Ｘ ） ｃ
＝１ ｃ ２ （ ＝ －＿１
（ Ｘ ｏ ） “ （ ） Ｍ （ Ｘ ｏ ）
被 测 洁净 工作 台置 于正 常工 作 条 件 下 ， 声 级 计 置 于 “ Ａ ” 计权 模 式 ， 在 被 测 洁 净 工 作 台前 壁 面 中心 水 平 向外 ３ ０ ０ ｍ ｍ， 高度距 地 面约 １ ． １ ｍ 处 测 量 ４次 ， 取 ４次 算 术 平 均 值 为噪 声测 量值 ； 关 闭被 测 洁净工 作 台的风 机 ， 在相 同 位 置测 量 背景 噪声 。
ＡＸ ＝Ｘ —Ｘ０
删
实验 标 准
：
式中： △ 一 仪器 噪声 ， ｄ Ｂ（ Ａ） ； 实 测 噪声 的算术 平 均值 ， ｄ Ｂ （ Ａ） ；
一
＾ Ｊ ／ ｉ ＝ １ ４
平 均值 ＝ ６ ２ ． ８ ｄ Ｂ（ Ａ） ， 实 际测 量 时 以 ４次 测 量 的平 均 值 作 为测量 结 果 ， 故 有
５ ． １ ． ３ 标准 不确 定度 一览 表
虫 ｌ 】 丹等 ： 洁净Ｉ作 台噪声测量值的不确 定庹评定
表 １
５ ． ２ ． ３标 准不确 定 度一 览表
表２
５ ． ２ 当 噪声 测 量 值 与 背 景 噪声 间 的 差 值 为 （ ０～３ ） ｄ Ｂ （ Ａ） 时， 标 准不 确定 度分 量 的计算 如 下 ： ５ ． ２ ． １ 声 级计 的 不确 定度 引入 的标 准不 确定 度分 量 Ｍ
３ 测 量模 型
灵 敏系数 ． ｃ １ （
５ 标 准不确 定度 分量 的计 算
５ ． １ 当噪声 测 量 值 与 背 景 噪声 问 的差 值 大 于 ３ ｄ Ｂ （ Ａ） 时， 标 准不确 定度 分量 的计 算如 下 ：
５ ． １ ． １ 声 级计 的不 确定 度 引入 的标准不 确定 度分 量 “ 声 级计 的不 确定度 为 Ｕ＝ ０ ． ３ ｄ Ｂ（ Ａ） ， 用 Ｂ类方 法 进 行评 定 ， 由证 书得 到 ， ｋ＝ ２ 。