真空热压烧结炉设计说明书-毕业论文

真空热压烧结炉设计
设计说明书
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摘要 (1)
ABSTRACT (1)
第一章绪论 (2)
1.1 真空热压烧结炉概述 (2)
1.2真空热压烧结炉的国内外发展现状 (3)
第二章真空热压烧结炉的整体设计 (4)
2.1 炉体部件设计 (5)
2.1.1 炉盖设计 (5)
2.1.2 炉体的设计 (6)
2.1.3 保温桶的设计 (7)
2.1.4 保温桶底座的设计 (7)
2.1.5 加热体的设计 (8)
2.2 密封处的设计 (9)
2.3水冷装置的设计 (10)
2.3.1 炉盖处水冷装置的设计 (10)
2.3.2 炉体处水冷装置的设计 (11)
2.3.3 上压头水冷装置的设计 (11)
2.3.4下顶杆处的水冷装置的设计 (11)
2.3.5 电极的冷却 (12)
第三章辅助设备的选择 (13)
3.1液压装置的设计 (13)
3.1.1 液压系统的设计 (13)
3.1.2 液压缸的选择 (14)
3.1.3 液压泵的选择 (14)
3.1.4 节流阀的选择 (14)
3.1.5 先导式溢流阀 (14)
3.1.6 三位四通方向阀 (15)
3.2 变压器的选择 (15)
3.3 电机的选择 (15)
3.4 水泵的选择 (16)
3.5 真空系统的选择 (16)
3.5.1 真空泵的选择 (16)
3.5.2 扩散泵的选用 (17)
3.5.3高真空阀门 (18)
3.5.4 低真空阀门 (18)
3.5.5 真空计的选择 (19)
3.6 压力传感器 (19)
3.7 控制箱，水箱，红外测温仪的选择 (19)
3.7.1 控制箱的选择 (19)
3.7.2 水箱的配用 (19)
3.7.3 红外测温仪的选择 (20)
3.8 控制系统选择 (20)
第四章优化部分-水冷系统 (21)
第五章安装，使用，维护的注意事项 (22)
5.1 安装 (22)
5.2. 操作注意事项 (23)
5.3 维护 (24)
第六章结论与展望 (24)
参考文献 (26)
致谢 (27)
摘要
本文根据真空热压烧结炉的结构特点，对其水冷结构进行了优化设计，并对其主要结构的设计进行了说明。

结构设计主要包括炉体的双层结构设计，液压装置系统的结构设计和选择，上下压杆水冷部位结构设计,输电装置中导入电极与发热体接触的设计，导入电极的冷却和密封，发热区获得1700℃高温的保温措施和保温桶、隔热桶、反射桶的设计，下顶杆的密封处采用双向动密封的设计，温度探测和加热底座耐高温性能与其结构的设计。

关键词：真空热压烧结炉水冷系统保温动密封
ABSTRACT
In this thesis, according to the structure of a vacuum hot press sintering furnace, The structure of the water cooling system is the main optimization design part. The structure design was including a double lining structure, hydraulic device system architecture design and choice, the next part of the structure of water-cooled pressure bar, transmission devices with the introduction of heat-electrode contact with the design, introduction of the electrode cooling, the introduction of the electrode and the insulation of high temperature insulation material properties. District heating is a temperature of 1700℃insulation measures and temperature-constant drum, and insulation barrel, reflecting the barrel design, mandrill under seal, a two-way dynamic seal design and temperature detection in the design and performance of high temperature heating base and the structural design.
Key Words: vacuum hot pressing furnace; water-cooling system; thermal retardation; dynamic seal
第一章绪论
1.1 真空热压烧结炉概述
真空烧结炉是在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。

在真空或保护性气氛中，对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结，要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时，一般采用两种工艺：即有压烧结和无压烧结。

有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中，高温加热到软化状态时，加压成型。

这种工艺需要一种真空热压烧结炉才能实现[1]。

由于现代工业生产中迫切需要这种高质密产品，从而需要一种专门用来烧结处理的加热设备。

为了避免工件在烧结过程中被氧化，须进行真空保护。

在真空中，对金属、陶瓷及一些难熔金属化合物粉末进行加热烧结。

要获得一定密度和具有一定机械性能的材料，一般还要采用有压烧结，原理是将粉末材料置于保护气氛中的高碳模具中，高温加热到软化状态时，加压成型。

这种工艺需要在一种真空热压炉中才能实现。

随着对硬质合金工具材料的要求越来越高，对烧结工序的要求也越来越高，为了满足烧结要求，新的烧结技术不断涌现，而烧结技术的真正实施需要通过烧结设备来完成，所以硬质合金烧结设备将随着烧结技术的发展不断更新。

我国高品质硬质合金生产使用的烧结设备主要依赖进口，无形中加大了生产成本，不利于我国硬质合金生产和高端产品发展，实现产品升级，所以随着真空热压烧结炉性能的稳定，技术指标的提高，并通过采用现代化仪器仪表，实现了准确的测控，对完善、发展真空烧结工艺，降低国内加工成本有重大的意义。

伴随着我国材料工业发展的需要，我国先后从国外引进及国内自行研制成功
了多种新的炉种——例如气氛保护热压炉、真空热压炉、热等静压烧结炉等。

气氛保护热压炉按照其制备工件的受热形式可分为两种：其一是直热式的，即制备工件作为发热元件直接接受热量；其二是间接加热式，即制备工件是接受加热器的辐射热量。

它广泛适用于各种高性能陶瓷材料的制备，并可制作较大尺寸的构件。

同时还可应用于各类金属陶瓷、硬质合金等其他粉末冶金材料的合成，也是正在发展和未来高性能、高技术材料制备不可缺少的工艺手段和工艺设备。

该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。

目前这种炉型在我国尚未见定型产品。

根据制备陶瓷材料的工艺要求，经过努力，设计了一台真空热压炉。

本文对该炉在设计过程中遇到的主要技术问题予以介绍，并且主要对水冷系统进行了优化设计，以供读者借鉴。

1.2真空热压烧结炉的国内外发展现状
中国航天科技集团四十三所在三十余年的科研试制中,自行制造了各种中高温电阻炉、感应炉、热压炉,形成了Φ150 至Φ850 中温石墨电阻炉, Φ50 至Φ600 高温石墨电阻炉,Φ50 至Φ300 高温热压炉三个系列[3]。

这三个系列的电炉已在航空、化工、碳素、陶瓷等行业的研究试验中发挥了巨大作用,受到科研单位、大专院校的欢迎。

这些电炉都是大型电炉厂不生产的。

现在我国东方有色金属集团已先后拥有钽钼钨坩埚的烧结、铍制品多个科研课题的研究试验设备。

我国大部分的热压炉零部件采用了标准件，具有很大的互换性。

进入90年代以来，我国的一些粉末冶金烧结设备生产企业，或与国外有关厂商合作，或参照国外相关设备试制与生产了一些粉末冶金烧结设备，诸如南京粉末冶金专用设备厂与英国FHD炉子制造公司合作，试制了推杆式高温烧结护;淄博鲁京热工技术研究所等合作生产了RST一120推杆式烧结炉;贵州高强度螺栓厂可控气氛热处理设备研究所试制了sJ100进梁式烧结炉。

日本的粉末冶金零件生产企业除60年代引进过几台步进梁式炉外，生产中主要用的是网带式炉。

在烧结不锈钢零件和烧结温度必须高于1150℃的场合，主要使用推杆式炉.
80年代初，西欧粉末冶金机械零件行业共拥有网带式脚270台和步进梁式
仰25台[2]。

对于真空热压烧结炉的改进中国学者也做出了很大的努力。

山东大学材料科学与工程学院的韩建德，闵光辉等研制出新型的真空热压烧结炉。

其结构特点包括热压装置中下冲头的动密封采用双向密封，输电装置中引入电极的绝缘和耐高温性能，发热区获得2300℃高温的保温措施和保温桶的设计。

合肥工业大学电气工程学院的王鹏，温阳东等教授进行了对气氛保护热压炉温度的设计。

针对烧结过程中存在的缺点，如只能单件生产、材料制备周期长、热能利用率低等缺点，哈尔滨理工大学的材料科学与工程学院及机械动力工程学院的俞泽民，郭英奎等导师共同设计出连续热压烧结炉，提高了烧结材料的生产效率。

天津大学的付桂珍，王培堂等结合了机械、电气、真空、电加热和微机控温技术设计出了一种真空热压炉，为物料工作安排了一个适合于热压工艺要求的高温、恒压、真空环境，通过液压机的加压，使物料达到理想得致密度，从而获得材质优良的特种陶瓷。

并且在主电路中还设有水压和缺相报警、操作安全可靠。

在诸多专家学者的不断努力之下中国真空热压烧结炉有了很大的完善，对中国工业发展做出了巨大贡献。

第二章真空热压烧结炉的整体设计
该真空热压烧结炉工作温度高、真空度高、压合力大、冷却条件好，主要用于金属、金属复合材料、无机非金属陶瓷材料、硬质合金材料、纳米陶瓷材料的成型烧结。

整个炉体除发热和保温部件外,其余各部位均强烈冷却,这对结构设计和制造精度都提出了较高的要求。

真空热压烧结炉由炉体、炉盖、保温桶、热压装置、发热体和电源、真空系统、水冷却系统及测温系统等组成（见图2-1）。

图2-1 真空热压烧结炉结构简图
主要技术参数：
有效工作区（mm）Φ180×260
最高温度（℃） 2000
工作温度（℃） 1700
炉温均匀性（℃） +5
加热功率 (KW) 50
压头直径（mm）Φ100
压头行程（mm） 120
最大压力（MPa） 30
为了减小占地面积此次设计的真空热压烧结炉为立式，最高温度为2000℃，工作区温度为1700℃左右。

由于炉内的温度比较高，需要对炉体、炉盖、上下冲头进行冷却，因此需设冷水层。

对炉体、炉盖及冲头的材料要求采用不锈钢，炉内的加热体采用石墨材料，炉体底部的加热底座采用氧化锆质高温耐火材料，采用浇铸法生成。

在电极处需要有绝缘层，材料采用聚四氟乙烯高温耐火材料，采用泡沫法生成[3]。

2.1 炉体部件设计
2.1.1 炉盖设计
炉盖由炉盖体、举起油缸和上压头组成。

炉盖为双层结构,为承受下顶杆传递的压力,必须具有足够的强度和刚度。

炉盖采用水冷夹套的球冠封头结构形式，内套采用不锈钢制作，外套用碳钢制作。

在炉盖顶部设有进气口、泄爆口。

炉盖的冷却水管采用下进上出以满足冷却要求。

将气体的入口设置在炉盖顶部，考虑到气体工作时充满整个炉体。

为了方便安装、检修，增设一套炉盖升降机构。

升降机构由可升降转轴、连接轴座、轴承及手动液压千斤顶等组成[4]。

当要打开炉盖时，首先拆掉炉盖与炉体之间的卡子，用手动液压千斤顶将炉盖升到某一高度，然后手动将炉盖沿升降轴旋转到炉体偏旁，要封闭炉盖时，手动将炉盖转至炉体的正上方，然后手动液
压千斤顶将炉盖落下，再用卡子将炉盖与炉体卡紧[5]。

上压头（图2-2）是一个独立体与炉盖焊接在一起，目的一是保证冷却水不外流，二是与上压头上下两个部位的紧固螺栓一起保证上压头所能承受的压力。

图2-2 上压头
2.1.2 炉体的设计
炉体分为预热区、加热区和保温区三个部分预热区为独立持续的加热区，其前预留一定空间不装发热体，避免了冷模进入炉胆后迅速加热而变形产生应力。

炉体作为支撑部件，其结构为圆柱形水冷夹套结构，炉体内层用不锈钢制作，外层用碳钢制作。

夹套内部设置隔水环，采用低进高出的冷却方式，充分进行热交换。

在炉体上设置有水冷电极、热电偶、真空管道、快速冷却管道等。

炉体上设有观察孔，以便随时观测炉内的工作情况。

在炉底上固定有3个钼支撑杆，用以支撑两层托料盘，在高温下可承受500 kg载重量。

在炉体内壁设置悬挂反射屏组件的3个支座，炉体依靠4个支座固定在平台架上。

因为热压装置产生的力要由炉体承受,炉体必须具有很高的强度和足够的刚度,在外力和高温下不得变形。

炉底动密封装置的固定座中心线与炉体上法兰盘必须垂直,以保证下顶杆运动的直线度。

动密封装置固定座有良好的冷却条件,以延长密封件的使用寿命[6]。

2.1.3 保温桶的设计
保温桶由隔热桶、反射桶、保温层及桶体组成（见图2-3）,分别用石墨、钼片、石墨毡和不锈钢制作。

用钼片制作的反射桶主要抵御由发热元件产生的辐射热,以免损害保温层和炉体。

侧屏加热器采用高温钼丝梳子状布置，可有效降低发热器的表面负荷，延长寿命。

与隔热屏之间的绝缘采用高纯氧化铝瓷件。

上下屏加热器采用钼丝束，均依靠高温钼杆支撑悬挂在金属隔热屏上。

加热方式为3个单相加热器，其中侧发热器为3组，上组和顶屏发热器在炉内串接，下组和底屏发热器在炉外通过电缆串接。

3个加热器配套3个单相电源，均独立控测温，均为主要发热器。

区别于传统意义上的中间主加热，上下补偿的陈旧模式。

根据现场升温情况，因为是气氛炉，下发热器投入的功率最多，上发热器投入的功率最少。

均温区温差跟以往相比得到很大的改观。

反射屏。

由上、下反射屏与炉体反射屏三部分组成，其中上反射屏与炉体反射屏用法兰连接在一起，炉体反射屏的分布是：1层0.3mm厚的高温钼+4层0.3mm厚的钼+4层0.5mm厚的不锈钢。

上下反射屏均比炉体反射屏多1层0.3mm厚的普通钼，其余分布一致。

底部反射屏置放在下封头支座上，料架、底部加热器及底部隔热屏随同下封头一起升降。

上反射屏和炉体反射屏用炉体反射屏外层120°分布的3个支座与炉体内壁上的3个支座相连，悬挂于炉体之上，反射屏的高温伸长垂直向下，从而使得伸长量容易得到控制[7]。

这种结构的反射屏容易安装调整，结构紧凑，形状规整，炉子的升温速度快，热效率高，预抽真空时间短。

2.1.4 保温桶底座的设计
底座的材料采用氧化锆质高温耐火材料，其最低耐火温度在2000℃，底座的制造采用泡沫法生产，为桶状，中间开槽，以便安放钼桶、碳毡和石墨桶。

1内桶盖 2碳毡 3钼桶 4加热体 5底座
图2-3保温桶
2.1.5 加热体的设计
加热体和电极由加热体、托盘、引入电极、干式变压器、可控硅电压调节器组成。

加热元件是炉子的关键部件，由托盘、加热体组成，全部用高碳石墨加工[7]。

在发热电源功率一定的情况下，炉子的温度取决于加热元件的几何形状和尺寸。

加热体的设计：
依据主电路所采用得主变压器一次测晶闸管三相过零触发调功式加热，加热体接线方式确定为三相三角形连接。

如图2-4所示，
图2-4 三相三角形连接示意图
石墨加热体呈桶状存在于保温桶中，形状大体如同供暖用的暖水片（见图2-5）。

图2-5 加热体展开结构
2.2 密封处的设计
在炉盖和炉体的接触处夹入一个O形密封圈避免气体进入。

整个炉体内的极限真空度在很大程度上取决于下顶杆动密封的情况。

这是该炉的关键技术之一，要达到良好的动密封性能有很高的难度。

为保证极低的漏气率，一方面要提高加
工精度，另一方面要选用适宜的密封材料。

在该炉中，选择聚四氟乙烯作为动密封材料[8]。

其特点是能耐300 ℃高温、耐烘烤、放气率低、耐磨损，而且具有良好的润滑性能。

密封圈的几何形状(见图2-6) ，是根据炉子在正、负压状态设计的。

正压状态时，正压气室的气压使A 圈抱紧下顶杆；负压时，负压气室的气流使B 圈收缩，抱紧下顶杆。

图2-6 下顶杆动密封示意图
2.3水冷装置的设计
该真空炉的冷却方式为水冷，主要的冷却部位是炉盖，炉体上压头，下顶杆，电极。

并且为了方便冷却各个部位冷却均采用下进上出[9]。

所有部位的进水管共7个，为了节省空间这些进水管分别与一个冷却水管通水管连接，并由一个水泵供水。

2.3.1 炉盖处水冷装置的设计
炉盖的中间层为水冷层，进水管与出水管的外径均为50mm，内径为20mm，进水管安放在出水管的下方，使其不在一个水平线上，以便把水位提高，冷却效果加大。

进水管与炉体的出水管相连，出水管与水箱相连，形成一个水冷回路。

2.3.2 炉体处水冷装置的设计
炉体的双层结构的中间层仍为水冷层，进水管安放在出水管的下方，使其不在一个水平线上，以便把水位提高冷却效果加大。

进水管与炉体的出水管相连，出水管与水箱相连，形成一个水冷回路。

2.3.3 上压头水冷装置的设计
上压头的下端工作时处于高温区，必须强制冷却。

如下图2-7，上压头中心设空心并设回水管，从1进入，从2口流出。

1进水口 2出水口
图2-7上压头冷却图
2.3.4下顶杆处的水冷装置的设计
下顶杆是唯一一个在高温区有载运动的零件，承受高压和高温的作用，又要在高温区运动。

要求它既不能变形，又不能在高温环境下氧化。

因此它必须具有良好的冷却条件。

设计时将下顶杆中间掏一个深320mm，直径135mm的圆孔，将
挡块7过盈配合进孔内，使冷却水从进水口8进入到下顶杆腔内，从另一个孔流出，下顶杆底段和挡板用螺栓固定，并焊接，防止水从缝隙中流出。

如图2-8所示。

1下顶杆2 炉体3密封A圈4密封圈5密封B圈6端盖
7 挡块8进水口9螺栓
图2-8下顶杆水冷装置示意图
2.3.5 电极的冷却
引入电极由中心导体、上绝缘体、下绝缘体、上密封圈和下密封圈组成(见图2-9)。

该电极为低电压大电流结构,它不但起导电作用,还间接起到支撑发热体的作用。

发热体托盘的温度直接传给中心导体,必须有良好的冷却条件。

中心导体内制成空心并设回水管,以保障水的流动不出现短路现象。

1 压盖
2 锁紧螺母
3 上密封圈
4 中心导体
5 上绝缘套
6 固定套
7 下密封圈
8 下绝缘套
图2-9 引入电极结构图
第三章辅助设备的选择
3.1液压装置的设计
3.1.1 液压系统的设计
热压系统由液压泵、活塞缸、溢流阀、方向阀、节流阀及油管组成。

由溢流阀进行压力的调节，节流阀进行流量的调定，从而控制液压杆的运动速度。

活塞缸可充作油缸的作用，应为活塞杆的运动位移不大。

热压装置由液压泵、活塞缸、溢流阀、方向阀、节流阀及油管组成。

由溢流阀进行压力的调节，节流阀进行流量的调定，从而控制液压杆的运动速度。

液压站有两路压力输出，一是驱动炉盖上下运动，二是驱动热压油缸运动。

压油缸的控制有两种方式，手动或自动。

自动运行时，可根据设定的压力自动保压，使制品始终处于恒压状态。

油缸运动的速度调节范围为50～300 mm/ min。

热压油缸在有载工作时必须具有较高的稳定性，不能抖动。

制备高质量的产品，热压油缸的运动质量是重要的条件之一[10]。

3.1.2 液压缸的选择
选用HSG1系列工程液压缸，代号为HSG01-250/150E，双作用单杆活塞式，液压缸缸盖连接方式为卡键式，缸径Φ250mm，活塞杆外径Φ150mm，压力等级100MPa。

3.1.3 液压泵的选择
本设计选择叶片液压泵，产品名称YB-G系列，单泵。

产品特点：压力高、噪声低、安装维修方便，压力等级28MPa，性能特点及应用范围广。

本系列高压性能叶片泵是本公司继YB-E、YB-FQ系列叶片泵后生产的新一代低噪声，高压力叶片式油泵，油泵采用柱销叶片式结构，液压减振降低噪声，并采用耐磨铜合金侧板使油泵的性能提高，可代替高压齿轮泵和柱塞泵，广泛应用于工程机械、矿山机械、载重车、注塑机、压力机行业。

3.1.4 节流阀的选择
根据设计要求选择单向节流阀MG型。

MG型节流阀：适合直通管路安装，与压力和粘度有关。

MG型和MK型阀是一种与压力和粘度有关的节流阀和单向节流阀。

MG型（节流阀）该阀双向节流。

油液经侧孔流向阀体和可调阀套之间形成的节流口。

旋动阀可连续改变节流载面。

3.1.5 先导式溢流阀
依据要求选择Z2DB6型
特点：
叠加板结构安装面按DIN 24 340 A型 ISO 4401和CETOP-RP 121H，4个压力范围，5种可选的有效流向带，一个或二个插装溢流阀，4种不同调整元件旋扭、带六角和护罩的套筒、带刻度的有锁旋扭、带刻度旋扭。

3.1.6 三位四通方向阀
4WEH型先导操作特点：此系统阀用于控制液流的开启、停止和方向。

电-液操作（W液压（液控）操作（WH）底板安装面按DIN24340A型，ISO 4401和CETOP-RP 121 H 弹簧或压力封中弹簧或压力复位湿式直流或交流电磁铁可选的液控阻尼调整主阀P口预压阀。

选择辅助元件，主阀芯行程限位器可选的主阀芯行程位器/终端位置传感可选的主阀芯感应或机械行程开关非触点式。

3.2 变压器的选择
由于真空热压炉的电极中的电流是高电流而低电压，需要采取降压方式，因此需采用变压器，进行降压，这里选用SG10系列干式变压器。

功能特点是：
SG10系列是采用杜邦NOMEX纸为基础的绝缘系统，在变压器的整个使用寿命期间都保持极度佳的电气性能和机械性能。

NOMEX不易老化，耐收缩及抗压缩，加上弹力特强，因此可以确保变压器即使使用数年之后，线圈仍保持结构紧密，并且能够承受短路的压力。

3.3 电机的选择
在真空热压炉设备中，需要选用50KW的电机，对水泵和液压泵提供动力。

本设备选用Y2系列三相异步电动机：Y2系列(中心高H80～355mm、0.8～315kW)电动机是全封闭。

自扇冷式鼠笼型三相异步电动机。

Y2系列三相异步电动机是在Y系列电动机基础上更新设计的一般用途低压三相异步电动机，基本系列产品达到国际当代先进水平。

它是取代Y系列的更新换代产品。

Y2系列电动机较Y 系列功率高，起动转距大，并且提高了防护等级(IP54)，提高了绝缘等级(F级)B 级考核，降低了噪声，且用负载噪声考核，其电机结构更加合理，外形新颖美观。

电机冷却方式为IC411，安装尺寸及功率等级完全符合IEC标准(与Y系列相同)。

Y2系列电动机一般用途的电动机，适用与无特殊要求的各种机械设备。

Y2系列电动机额定电压为380V，额定频率为50Hz在，3KW及以下为ㄚ接法，4KW及以上为Δ接法，环境温度不超过40℃，海拔不超过1000米。

工作方式：连续。

3.4 水泵的选择
由于对炉体及其它部位的冷却，需要保证冷却水的流速，在此选用ZL系列立式自吸泵。

ZL系列立式自吸泵是在反复研究国内外自吸泵技术的基础上开发成功的一种结构新颖的产品，采用导叶式气水分离装置，一次引流，终生自吸，填补了国内外立式自吸泵的空白。

该泵具有结构紧凑，外表美观，自吸性能好，高效节能，占地面积小，运行平稳，进出口径相同并在同一水平线上，可以安装于任一段水平管路上，使用维修方便等特点，具有广阔的应用市场和发展前景，因该泵具有自吸功能，因此完全可代替ISG系列立式管道离心泵的使用。

ZL型立式自吸泵、ZLH型立式自吸化工泵、ZLB型立式自吸油泵，可广泛适用于工业和城市给排水，高层建筑增压送水环境温度≤40℃，相对湿度<95%，介质温度≤70℃，系统压力≤1.6MPa。

泵静止试验压强力2.5MPa，介质中固体颗粒含量不超过单位体积的0.1%，粒度>0.2mm。

3.5 真空系统的选择
真空系统（见图3-1）由真空阀门、扩散泵、旋片式真空泵、管路及真空测量仪表构成。

该系统是在炉体的漏率达到最低极限时,能保证炉子正常工作的关键。

能否实现高真空度取决于真空泵的抽速、阀门的密封性、管路的密封和漏率性能能否达到要求。

3.5.1 真空泵的选择
依据设计参数，选择2X-15型旋片式真空泵。

旋片式真空泵工作原理：
旋片式真空泵2X-15 (简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。

其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。

它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。

它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定。