【CN110018181A】一种晶圆缺陷检测的方法和装置【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910336397.4

(22)申请日 2019.04.25

(71)申请人 德淮半导体有限公司

地址 223300 江苏省淮安市淮阴区长江东

路599号

(72)发明人 孙必胜　刘命江　

(74)专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专

利商标事务所 11038

代理人 周阳君

(51)Int.Cl.

G01N 21/95(2006.01)

(54)发明名称

一种晶圆缺陷检测的方法和装置

(57)摘要

本发明涉及一种晶圆缺陷检测的方法和装

置。更具体地，本发明公开了一种为管芯确定管

芯角的方法，包括在管芯的内部选取参考点；获

取位于管芯的最外围的水平边上的第一节点以

及位于管芯的最外围垂直边上的第二节点，其中

参考点与第一节点的连线与管芯的最外围的水

平边垂直，并且参考点与第二节点的连线与管芯

的最外围的垂直边垂直；获取第三节点，其中第

一节点、第二节点、第三节点和参考点形成矩形；

以及第三节点被认为是管芯的管芯角。权利要求书1页 说明书8页 附图4页CN 110018181 A 2019.07.16

C N 110018181

A

权　利　要　求　书1/1页CN 110018181 A

1.一种为管芯确定管芯角的方法，包括

在管芯的内部选取参考点；

获取位于管芯的最外围的水平边上的第一节点以及位于管芯的最外围垂直边上的第二节点，其中参考点与第一节点的连线与管芯的最外围的水平边垂直，并且参考点与第二节点的连线与管芯的最外围的垂直边垂直；

获取第三节点，其中第一节点、第二节点、第三节点和参考点形成矩形；以及

第三节点被认为是管芯的管芯角。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述参考点为管芯内的图形的顶点。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述图形为矩形。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述管芯为非矩形管芯。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述参考点被选取使得第一节点位于最外围的水平边内，而不位于水平边的延长线内。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述参考点被选取使得第二节点位于最外围的垂直边内，而不位于垂直边的延长线内。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述参考点被选取使得第一节点位于最外围的水平边内，而不位于水平边的延长线内；并且同时第二节点位于最外围的垂直边内，而不位于垂直边的延长线内。

8.一种晶圆检测装置，包括：

照射组件，所述照射组件被配置为产生激光脉冲以扫描晶圆上的管芯；

图像传感组件，所述图像传感组件被配置为接收从由所述晶圆上的管芯散射到各个不同角度范围内的辐射以形成辐射图像；以及

观察和计算组件，所述观察和计算组件为晶圆上的管芯确定管芯角；

其中所述观察和计算组件被配置为：

在管芯的内部选取参考点；

获取位于管芯的最外围的水平边上的第一节点以及位于管芯的最外围的垂直边上的第二节点，其中参考点与第一节点的连线与管芯的最外围的水平边垂直，并且参考点与第二节点的连线与管芯的最外围的垂直边垂直；

获取第三节点，其中第一节点、第二节点、第三节点和参考点形成矩形；

第三节点被认为是管芯的管芯角。

9.根据权利要求8所述的晶圆检测装置，仅为晶圆上的选定的管芯确定管芯角。

10.根据权利要求8所述的晶圆检测装置，还包括用于调整管芯与照射组件对应位置关系的定位组件。

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