校准系统设计方案

校准系统设计方案

一．技术要求

1）设计小型真空规管校准系统，实现对10+5Pa---10-5Pa 测量范围的规管进行精确校准。2）系统设计要求，操作方便，安全可靠，使用成本低。

二．设计方案

该系统主要由校准室、抽气系统、进气系统，旁路系统，等几部分组成，系统设计图如下：

1、校准室

校准室是直径为200mm的球形容器，球形结构是真空计量标准的理想结构形式，气体分子可在球内容易达到均匀分布。校准室的赤道上设计了5个接口，用于安装被校准真空计和参考标准。校准室及法兰均采用不锈钢钢材制成，内表面进行了电抛光和化学清洗，通过高温除气去除了材料内部的气体。校准室上安装了美国INFICON公司生产的全量程真空

计、或薄膜规G1作为参考标准。

校准室上留有4个接口可同时或单独连接4个规管，可以同时完成最多四个规管的比对与校准，每个接口上安装手动阀，允许随时更换规管。

2、抽气系统

抽气系统为无油系统，可保证被校准规及校准系统的清洁，由主抽气分子泵、无油机械泵、角阀V6、旁通抽气阀门V7、储气罐等组成。分子泵对氮气的标称抽速为67L/s，通过碟阀和校准室连接。机械泵和分子泵之间安装了储气罐，用于旁通抽气阀门V7打开，排气阀6关闭时对分子泵的保护，可实现不关泵更换规管

3.旁路系统

规管校准完成后，需要更换规管时，关闭V6打开旁路阀V7对系统排空，实现不停机更换规管的要求，既节约时间提高效率，又减少分子泵的关停，大大减少分子泵出故障的可能性。