光刻胶材料中国区域专利现状分析
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统计分析 Ｓｔａｔｉｓｔｉｃｓ＆Ａｎａｌｙｓｉｓ
光刻胶材料 中国区域 专 利现状分析
口 何莉莉 崔 国振
摘 要 ：近年 来 ，我 国光 刻胶 材料 的 市场源自文库 模 大幅增 长 。本 文对光 刻胶 材料 中国 区域 的专利 申请 的现状进 行 了 分析，梳理 了专利 申请总体趋势、地域分布、申请人构成、主要 申请人、专利 申请的法律状态等情况 ，以期为我国 光 刻胶 材料 企业 的发展 提供 一 定 的参考 。
１．申请概 况 由于 光 刻胶 材 料属 于 化学 组 合 物 ，根据 现 行 专利 法 的规 定 通 常 无法 作 为实 用 新 型和 外观 设 计专 利保 护 的客体 ，因此光刻胶材料领域 的专利申请基本都是发 明专利 申请 。从 数据上 来看 ，截 止 到 ２０１６年 ４月 ，光 刻 胶材 料 中国 区域 公 开 的 发 明专 利 申请 共有 ５８６５件 ， 申请 量 年 度 变 化 趋 势 见 图 １。结 合 非 专 利 信 息 可知 ， 早在 １９５４年 ，Ｋｏｄａｋ公 司合成 了第一 种感光 聚合物— — 聚乙烯醇 肉桂酸酯 ，开创了聚乙烯醇 肉桂酸酯及其衍 生 物类 光 刻 胶体 系 ，这 是 最早 应 用在 电子工 业上 的光 刻 胶 ］。相 对 而言 ，我 国光 刻 胶材 料 领域 的研 制开 发 开 始 的较 晚 ，最 早 的专 利 申请 是 由吉 林 化学 工业 公 司 研究 院 于 １９８５年提 交 的 “稀 土顺 式聚异 戊二烯 负 型光 刻原 胶 的制备 ”。 １９９３年 以 前 ，除 了 １９９０年 美 国 的纳 幕 尔 杜 邦 公 司提 出了近 ２０件 发明专利申请外 ，每年的专利申请量 基本 都 维持 在 １０件 以下 ，申请 人 也主要 来 自美 国和 日
专 利信 息 是 以专利 文 献 作 为主 要 内容 或依 据 ，经 分 解 、加 工 、标 引 、统 计 、分 析 、整 合 和 转 化 等信 息 化 手段 处 理 ，并 通 过各 种 信 息化 方 式 传播 而 形 成 的与 专 利有 关的 各 种信 息 的 总称 。其 中包 括 技术 信 息 、法 律 信息 、经 济信 息 、著录 信 息 和 战 略 信息 】。专 利信 息 是专 利 文 献 的实 质 ，通 过 对 专 利信 息 的分 析 ，可 以 了解 世 界 科 学 技 术 的 现 状 和 水 平 、 跟 踪 最 新 技 术 动 态 、考 察 行 业 的技 术 走 向 以及企 业 竞 争对 手 的重 要技 术 等 。
下 文 拟通 过 对 光刻 胶 材料 中 国区 域 专利 信 息 进行 检索和数据标引，设定指标分析光刻胶材料 中国区域 专利 申请趋势、地域分布 、申请人、法律状态等 ，为 光 刻 胶 材 料 领 域 从业 者 提 供 一 定 的信 息 支 撑 ，推 动 、
促 进该 领域 专 利信息 的有 效传播 和利 用 。
关 键词 ：光刻胶 材 料 中国 区域 专利分 析
一 、 引 言 作 为微 电子 技 术 核心 的集 成 电路 制 造技 术 是 电子
工 业最 重要 的 基 础 ，其 发展 之 快 、更 新 之速 ，是 其他 任 何产 业 都 无 可 比拟 的 】。 而在 集 成 电路 微 细 加 工过 程 中 ，光 刻 工 艺 又 是 集 成 电路 制 造 的 关 键 工 艺 步 骤 ， 其 中关键 的 材料— —光 刻胶 （ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）又称 光 致抗 蚀 剂 ，是一 种 感 光 性 高 分 子 材料 ，对 光 和 ／或 射 线 的 灵敏 度 高 ，经紫 外线 、电子 束 、准分子 激光 束 、离子 束 、 ｘ射 线 等 的 照射 或 辐 射后 ，能 发生 光 化 学 反 应 ，使其 曝 光 部分 的溶 解性 质 发 生变 化 。光 刻 胶 主要 应 用 在集 成 电路 和 半 导 体分 立 器件 的细 微 图加 工 上 ，近 年 来也 逐 步 应 用 于光 电子 领 域 平 板 显 示 （ＦＰＤ） 的制 作 ， 同 时在 ＬＥＤ、倒 扣封 装 、磁 头及 精 密传 感 器 等制 作 过程 中也 有着 广 泛的 应用 口Ｊ１［３］。
二 、专 利现 状 本 文 分 析 数 据 来 源 于 ｗｗｗ．ｅｎｉｐｒ．ｃｏｍ 的 数 据 库 ，
采用 关 键词 辅 以相 关 国 际专 利 分 类 号 ＩＰＣ进 行 检 索 ， 统计 时 间 截 止 到 ２０１６年 ４月。 由于 ２０１５－２０１６年 的 部 分 专 利 申请 处 于 未 被 公 开 的 状 态 ，导 致 ２０１５— ２０１６年的专利 申请公开量小于实 际 申请量 ，在此列 出仅是为了保证数据的完整性，而不作为具体分析 的 依 据 。
光刻胶材料 中国区域 专 利现状分析
口 何莉莉 崔 国振
摘 要 ：近年 来 ，我 国光 刻胶 材料 的 市场源自文库 模 大幅增 长 。本 文对光 刻胶 材料 中国 区域 的专利 申请 的现状进 行 了 分析，梳理 了专利 申请总体趋势、地域分布、申请人构成、主要 申请人、专利 申请的法律状态等情况 ，以期为我国 光 刻胶 材料 企业 的发展 提供 一 定 的参考 。
１．申请概 况 由于 光 刻胶 材 料属 于 化学 组 合 物 ，根据 现 行 专利 法 的规 定 通 常 无法 作 为实 用 新 型和 外观 设 计专 利保 护 的客体 ，因此光刻胶材料领域 的专利申请基本都是发 明专利 申请 。从 数据上 来看 ，截 止 到 ２０１６年 ４月 ，光 刻 胶材 料 中国 区域 公 开 的 发 明专 利 申请 共有 ５８６５件 ， 申请 量 年 度 变 化 趋 势 见 图 １。结 合 非 专 利 信 息 可知 ， 早在 １９５４年 ，Ｋｏｄａｋ公 司合成 了第一 种感光 聚合物— — 聚乙烯醇 肉桂酸酯 ，开创了聚乙烯醇 肉桂酸酯及其衍 生 物类 光 刻 胶体 系 ，这 是 最早 应 用在 电子工 业上 的光 刻 胶 ］。相 对 而言 ，我 国光 刻 胶材 料 领域 的研 制开 发 开 始 的较 晚 ，最 早 的专 利 申请 是 由吉 林 化学 工业 公 司 研究 院 于 １９８５年提 交 的 “稀 土顺 式聚异 戊二烯 负 型光 刻原 胶 的制备 ”。 １９９３年 以 前 ，除 了 １９９０年 美 国 的纳 幕 尔 杜 邦 公 司提 出了近 ２０件 发明专利申请外 ，每年的专利申请量 基本 都 维持 在 １０件 以下 ，申请 人 也主要 来 自美 国和 日
专 利信 息 是 以专利 文 献 作 为主 要 内容 或依 据 ，经 分 解 、加 工 、标 引 、统 计 、分 析 、整 合 和 转 化 等信 息 化 手段 处 理 ，并 通 过各 种 信 息化 方 式 传播 而 形 成 的与 专 利有 关的 各 种信 息 的 总称 。其 中包 括 技术 信 息 、法 律 信息 、经 济信 息 、著录 信 息 和 战 略 信息 】。专 利信 息 是专 利 文 献 的实 质 ，通 过 对 专 利信 息 的分 析 ，可 以 了解 世 界 科 学 技 术 的 现 状 和 水 平 、 跟 踪 最 新 技 术 动 态 、考 察 行 业 的技 术 走 向 以及企 业 竞 争对 手 的重 要技 术 等 。
下 文 拟通 过 对 光刻 胶 材料 中 国区 域 专利 信 息 进行 检索和数据标引，设定指标分析光刻胶材料 中国区域 专利 申请趋势、地域分布 、申请人、法律状态等 ，为 光 刻 胶 材 料 领 域 从业 者 提 供 一 定 的信 息 支 撑 ，推 动 、
促 进该 领域 专 利信息 的有 效传播 和利 用 。
关 键词 ：光刻胶 材 料 中国 区域 专利分 析
一 、 引 言 作 为微 电子 技 术 核心 的集 成 电路 制 造技 术 是 电子
工 业最 重要 的 基 础 ，其 发展 之 快 、更 新 之速 ，是 其他 任 何产 业 都 无 可 比拟 的 】。 而在 集 成 电路 微 细 加 工过 程 中 ，光 刻 工 艺 又 是 集 成 电路 制 造 的 关 键 工 艺 步 骤 ， 其 中关键 的 材料— —光 刻胶 （ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）又称 光 致抗 蚀 剂 ，是一 种 感 光 性 高 分 子 材料 ，对 光 和 ／或 射 线 的 灵敏 度 高 ，经紫 外线 、电子 束 、准分子 激光 束 、离子 束 、 ｘ射 线 等 的 照射 或 辐 射后 ，能 发生 光 化 学 反 应 ，使其 曝 光 部分 的溶 解性 质 发 生变 化 。光 刻 胶 主要 应 用 在集 成 电路 和 半 导 体分 立 器件 的细 微 图加 工 上 ，近 年 来也 逐 步 应 用 于光 电子 领 域 平 板 显 示 （ＦＰＤ） 的制 作 ， 同 时在 ＬＥＤ、倒 扣封 装 、磁 头及 精 密传 感 器 等制 作 过程 中也 有着 广 泛的 应用 口Ｊ１［３］。
二 、专 利现 状 本 文 分 析 数 据 来 源 于 ｗｗｗ．ｅｎｉｐｒ．ｃｏｍ 的 数 据 库 ，
采用 关 键词 辅 以相 关 国 际专 利 分 类 号 ＩＰＣ进 行 检 索 ， 统计 时 间 截 止 到 ２０１６年 ４月。 由于 ２０１５－２０１６年 的 部 分 专 利 申请 处 于 未 被 公 开 的 状 态 ，导 致 ２０１５— ２０１６年的专利 申请公开量小于实 际 申请量 ，在此列 出仅是为了保证数据的完整性，而不作为具体分析 的 依 据 。