CF(彩色滤光片)生产介绍
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项 目 材料 5. O/C 膜厚 透过率 丙烯系树脂 1.4m ≥80% (550nm) 性能指标
像素间高度差 ≤0.15m 膜厚 6. ITO 电阻Rs 透过率 2000 ≤10 □ ≥80% (550nm)
彩色滤光片产品主要性能指标( 彩色滤光片产品主要性能指标(四)
项 目 性能指标 透射型 R x, y 7. 色度 Y G B R G B 0.585, 0.345 0.305, 0.520 0.140, 0.170 ≥15 ≥45 ≥40 透射型 0.406, 0.303 0.312, 0.357 0.224, 0.263 ≥15 ≥45 ≥40
BK 膜的样式
BM (Black matrix) BS (Black Stripe) BL (Black Less)
R,G,B 膜的特性 , ,
1,材料:树脂类颜料分散型彩色光刻胶 2,特性:色度(透过型和反射型) 透光率 膜厚 尺寸精度
膜厚 ---- 色度
0.6 0.5 0.4 y 0.3 0.2 0.1 0 0 0.1 0.2 0.3 x 0.4 0.5 0.6 0.7
CF 的研究开发和生产
三,试验和研究开发工作 1,工艺试验与结果 , 2,研发工作 ,
BK 膜特性
材料:树脂类颜料分散型黑色光刻胶 特点:生产流程简单 成本低 反射率低 污染小 膜厚0.8—1.5m时,其OD值为1.8—3.5以上 最小宽度:10 m
BM 膜厚 ---- OD值 值
4 3.5 OD 值 3 2.5 2 1.5 1 BK 膜厚(um) 2 高OD值胶 普通BK胶
彩色滤光片产品主要性能指标( 彩色滤光片产品主要性能指标(五)
项 目
温度稳定性 250℃, 1小时 5% NaOH, 50℃, 20分钟 8. 可靠性 耐化学性能 NMP, 25℃, 30分钟 丙酮,25℃,30分钟 O/C 附着性 3M, No. 610 胶带 ITO稳定性 250℃, 1小时
性能指标
彩色滤光片的研究开发和生产
彩色滤光片显示器的应用
可视电话 PDA
彩色手机 笔记本 电脑
彩色滤光片 显示器
监控面板 电子字典 游戏机
彩色滤光片在彩色STN显示器中的应用 显示器中的应用 彩色滤光片在彩色
偏光片 基板玻璃 彩色滤光片 定向层 液晶
ITO透明电极 透明电极 基板玻璃 偏光片 背光源
彩色滤光片在TFT显示器中的应用 显示器中的应用 彩色滤光片在
彩色滤光片制做方法
电着法 印刷法 光刻型 颜料分散法 非光刻型 彩胶法 喷墨法
颜料分散型光刻胶CF的制做 颜料分散型光刻胶 的制做
滴胶 光刻胶 玻璃
旋转涂胶 紫外线 铬掩膜板 图形曝光
图形显像
CF 生产流程
1000 级净化 后烘烤 后烘烤 后烘烤 后烘烤 后烘烤 预烘烤 现 像 现 像 现 像 现 像 旋转涂胶 曝 光 曝 光 曝 光 曝 光 清 洗 O/C 线 预烘烤 预烘烤 预烘烤 预烘烤 旋转涂胶 旋转涂胶 旋转涂胶 旋转涂胶 清洗 清洗 清洗 清洗 B 线 G 线 R 线 BK 线
ITO膜电阻率 膜电阻率----RF功率分量 膜电阻率 功率分量
ITO 膜电阻率(10 - 4 Ω. cm ) ITO膜电阻率 10膜电阻率( cm) 3.5 3 2.5 2 1.5 0 10 20 30 40 50 RF功率分量 ( RF 功率分量( % ) 功率分量
CF 的研究开发和生产
四,彩色滤光片的品质性能 彩色滤光片产品主要性能指标
偏光片 基板玻璃 彩色滤光片 定向层 液晶 TFT ITO透明电极 透明电极 基板玻璃 偏光片 背光源
CF 的研究开发和生产
前言 一,彩色滤光片的构成 二,彩色滤光片生产线简介 三,试验和研究开发工作 四,彩色滤光片的品质性能 五,彩色滤光片设计要点
CF 的研究开发和生产
一,CF 的构成 透过型----TRANSMISSIVE TYPE 透过型 反射型----TRANSFLECTIVE TYPE 反射型 (REFLECTIVE TYPE) )
现像时间,温度 线宽 现像时间,温度----线宽
75 74 线宽( (um) 73 72 71 70 30 40 50 60 现像时间(S)
MASK线宽:70um
35℃ 25℃
图形对位控制
一,MASK 的制做精度和套合精度 二,采用先进的图象处理和对位技术,提高对位精度 三,研究设计了曝光机精密温控装置,稳定对位精度 四,采取有效的工艺控制保证对位精度
膜厚均匀性
1.2 1.0 膜 ( ) 厚 um) 0.8 0.6 0.4 0.2 0.0 1 2 位置 3
膜厚偏差:±1.83%
曝光能量----线宽 曝光能量 线宽
74 73
线宽(um um)
72 71 70 69 100 200 300 400 500 600
MASK 线宽:70um
曝光能量(mJ/cm2)
O/C 膜层
一,材料:丙烯系树脂 二,膜厚:1—2um 三,功能 1,保护RGB色层 2,表面平坦化 微观波纹度:无O/C层,0.860—0.1225um 有O/C层,0.677—0.963um
ITO 膜层 镀膜工艺:RF+DC 镀膜温度:小于230℃ 电 阻 率:1.8x10-4 .cm 面 电 阻:7--15 透 过 率:大于80%
开口精度 ±3m
彩色滤光片产品主要性能指标( 彩色滤光片产品主要性能指标(二)
项 目 材料 3. BM 膜厚 OD值 材料 4. RGB 膜厚 性能指标 颜料分散型光刻胶 1.0m ≥1.7( 3.0) 颜料分散型光刻胶 1.0m
图形精度 ±3m
图形精度 ±3m
彩色滤光片产品主要性能指标( 彩色滤光片产品主要性能指标(三)
膜厚 ---- 后烘烤
100 膜减率(%) (%) 90 80 70 60 0 1 2 3 后烘烤次数 4 5
5
BK 膜 R 膜 G 膜 B 膜 O/C 膜
膜厚----转速 膜厚 转速
1.6 1.4 膜厚 (um um) 1.2 1 0.8 0.6 450 500 550 600 650 700 转速 (rpm)
彩色滤光片产品主要性能指标( 彩色滤光片产品主要性能指标(一)
项 目 材料 1. 基片 长度 宽度 厚度 膜厚 2. Al 反射率 性能指标 钠钙玻璃,抛光,镀SiO2膜 300,400,470,500mm,14,16" 300,370,400mm,14" 0.4,0.5,0.55,0.7,1.1mm 1000 ≥90%
�
透过型 CF 的构造
红色光 绿色光 蓝色光
玻 璃 基 板
透明导电膜 保护膜 红绿蓝膜 黑矩阵膜 SiO2 膜
白色光
白色光
白色光
反射型 CF 的构造
红色光 绿色光 蓝色光
玻 璃 基 板
透明导电膜 保护膜 红绿蓝膜 黑矩阵膜 反射膜 开口
白色光
白Leabharlann Baidu光
白色光
CF 的研究开发和生产
二,彩色滤光片生产线简介 1,CF 制做方法 , 2,CF 生产流程 ,
1.无膨胀,无开裂, 无损伤 2. 透过率变化率 ≤10% 3. △E*ab≤5 无损伤 电阻变化率≤±10%
CF 的研究开发和生产
五,彩色滤光片设计要点 1,客户提出的具体CF图形排列和尺寸 2,BK膜OD值和厚度 3,RGB膜色度和厚度 4,O/C膜的厚度 5,ITO膜的电阻,膜厚和透过率 6,所需对位标记等图形和文字的位置和尺寸 7,质量标准
像素间高度差 ≤0.15m 膜厚 6. ITO 电阻Rs 透过率 2000 ≤10 □ ≥80% (550nm)
彩色滤光片产品主要性能指标( 彩色滤光片产品主要性能指标(四)
项 目 性能指标 透射型 R x, y 7. 色度 Y G B R G B 0.585, 0.345 0.305, 0.520 0.140, 0.170 ≥15 ≥45 ≥40 透射型 0.406, 0.303 0.312, 0.357 0.224, 0.263 ≥15 ≥45 ≥40
BK 膜的样式
BM (Black matrix) BS (Black Stripe) BL (Black Less)
R,G,B 膜的特性 , ,
1,材料:树脂类颜料分散型彩色光刻胶 2,特性:色度(透过型和反射型) 透光率 膜厚 尺寸精度
膜厚 ---- 色度
0.6 0.5 0.4 y 0.3 0.2 0.1 0 0 0.1 0.2 0.3 x 0.4 0.5 0.6 0.7
CF 的研究开发和生产
三,试验和研究开发工作 1,工艺试验与结果 , 2,研发工作 ,
BK 膜特性
材料:树脂类颜料分散型黑色光刻胶 特点:生产流程简单 成本低 反射率低 污染小 膜厚0.8—1.5m时,其OD值为1.8—3.5以上 最小宽度:10 m
BM 膜厚 ---- OD值 值
4 3.5 OD 值 3 2.5 2 1.5 1 BK 膜厚(um) 2 高OD值胶 普通BK胶
彩色滤光片产品主要性能指标( 彩色滤光片产品主要性能指标(五)
项 目
温度稳定性 250℃, 1小时 5% NaOH, 50℃, 20分钟 8. 可靠性 耐化学性能 NMP, 25℃, 30分钟 丙酮,25℃,30分钟 O/C 附着性 3M, No. 610 胶带 ITO稳定性 250℃, 1小时
性能指标
彩色滤光片的研究开发和生产
彩色滤光片显示器的应用
可视电话 PDA
彩色手机 笔记本 电脑
彩色滤光片 显示器
监控面板 电子字典 游戏机
彩色滤光片在彩色STN显示器中的应用 显示器中的应用 彩色滤光片在彩色
偏光片 基板玻璃 彩色滤光片 定向层 液晶
ITO透明电极 透明电极 基板玻璃 偏光片 背光源
彩色滤光片在TFT显示器中的应用 显示器中的应用 彩色滤光片在
彩色滤光片制做方法
电着法 印刷法 光刻型 颜料分散法 非光刻型 彩胶法 喷墨法
颜料分散型光刻胶CF的制做 颜料分散型光刻胶 的制做
滴胶 光刻胶 玻璃
旋转涂胶 紫外线 铬掩膜板 图形曝光
图形显像
CF 生产流程
1000 级净化 后烘烤 后烘烤 后烘烤 后烘烤 后烘烤 预烘烤 现 像 现 像 现 像 现 像 旋转涂胶 曝 光 曝 光 曝 光 曝 光 清 洗 O/C 线 预烘烤 预烘烤 预烘烤 预烘烤 旋转涂胶 旋转涂胶 旋转涂胶 旋转涂胶 清洗 清洗 清洗 清洗 B 线 G 线 R 线 BK 线
ITO膜电阻率 膜电阻率----RF功率分量 膜电阻率 功率分量
ITO 膜电阻率(10 - 4 Ω. cm ) ITO膜电阻率 10膜电阻率( cm) 3.5 3 2.5 2 1.5 0 10 20 30 40 50 RF功率分量 ( RF 功率分量( % ) 功率分量
CF 的研究开发和生产
四,彩色滤光片的品质性能 彩色滤光片产品主要性能指标
偏光片 基板玻璃 彩色滤光片 定向层 液晶 TFT ITO透明电极 透明电极 基板玻璃 偏光片 背光源
CF 的研究开发和生产
前言 一,彩色滤光片的构成 二,彩色滤光片生产线简介 三,试验和研究开发工作 四,彩色滤光片的品质性能 五,彩色滤光片设计要点
CF 的研究开发和生产
一,CF 的构成 透过型----TRANSMISSIVE TYPE 透过型 反射型----TRANSFLECTIVE TYPE 反射型 (REFLECTIVE TYPE) )
现像时间,温度 线宽 现像时间,温度----线宽
75 74 线宽( (um) 73 72 71 70 30 40 50 60 现像时间(S)
MASK线宽:70um
35℃ 25℃
图形对位控制
一,MASK 的制做精度和套合精度 二,采用先进的图象处理和对位技术,提高对位精度 三,研究设计了曝光机精密温控装置,稳定对位精度 四,采取有效的工艺控制保证对位精度
膜厚均匀性
1.2 1.0 膜 ( ) 厚 um) 0.8 0.6 0.4 0.2 0.0 1 2 位置 3
膜厚偏差:±1.83%
曝光能量----线宽 曝光能量 线宽
74 73
线宽(um um)
72 71 70 69 100 200 300 400 500 600
MASK 线宽:70um
曝光能量(mJ/cm2)
O/C 膜层
一,材料:丙烯系树脂 二,膜厚:1—2um 三,功能 1,保护RGB色层 2,表面平坦化 微观波纹度:无O/C层,0.860—0.1225um 有O/C层,0.677—0.963um
ITO 膜层 镀膜工艺:RF+DC 镀膜温度:小于230℃ 电 阻 率:1.8x10-4 .cm 面 电 阻:7--15 透 过 率:大于80%
开口精度 ±3m
彩色滤光片产品主要性能指标( 彩色滤光片产品主要性能指标(二)
项 目 材料 3. BM 膜厚 OD值 材料 4. RGB 膜厚 性能指标 颜料分散型光刻胶 1.0m ≥1.7( 3.0) 颜料分散型光刻胶 1.0m
图形精度 ±3m
图形精度 ±3m
彩色滤光片产品主要性能指标( 彩色滤光片产品主要性能指标(三)
膜厚 ---- 后烘烤
100 膜减率(%) (%) 90 80 70 60 0 1 2 3 后烘烤次数 4 5
5
BK 膜 R 膜 G 膜 B 膜 O/C 膜
膜厚----转速 膜厚 转速
1.6 1.4 膜厚 (um um) 1.2 1 0.8 0.6 450 500 550 600 650 700 转速 (rpm)
彩色滤光片产品主要性能指标( 彩色滤光片产品主要性能指标(一)
项 目 材料 1. 基片 长度 宽度 厚度 膜厚 2. Al 反射率 性能指标 钠钙玻璃,抛光,镀SiO2膜 300,400,470,500mm,14,16" 300,370,400mm,14" 0.4,0.5,0.55,0.7,1.1mm 1000 ≥90%
�
透过型 CF 的构造
红色光 绿色光 蓝色光
玻 璃 基 板
透明导电膜 保护膜 红绿蓝膜 黑矩阵膜 SiO2 膜
白色光
白色光
白色光
反射型 CF 的构造
红色光 绿色光 蓝色光
玻 璃 基 板
透明导电膜 保护膜 红绿蓝膜 黑矩阵膜 反射膜 开口
白色光
白Leabharlann Baidu光
白色光
CF 的研究开发和生产
二,彩色滤光片生产线简介 1,CF 制做方法 , 2,CF 生产流程 ,
1.无膨胀,无开裂, 无损伤 2. 透过率变化率 ≤10% 3. △E*ab≤5 无损伤 电阻变化率≤±10%
CF 的研究开发和生产
五,彩色滤光片设计要点 1,客户提出的具体CF图形排列和尺寸 2,BK膜OD值和厚度 3,RGB膜色度和厚度 4,O/C膜的厚度 5,ITO膜的电阻,膜厚和透过率 6,所需对位标记等图形和文字的位置和尺寸 7,质量标准