Color_Filter_基础培训资料

PR Stiffness
Gap；Dose； Temperature；
Chemical Type& Concentration: KOH, Na2CO3 ； Temperature；Time；
Temperature；Time；
Temperature；Pressure；Power； Vacuum level
Conveyor, Robot
34
Cassette MGV
35
Sheet MGV
36
Cassette, Wire Cassette
中文名称
薄膜段差計 膜厚检查传送机
精密测长机 全数检查机 外观检查机 掩膜板检查机 显微分光光度计 隔垫物高度检查机 方块电阻测量器 目视检查机 方向别平坦度检查机 玻璃裂痕检查机 玻璃载荷搬送系统
PS
G
B
OC
PS
FFS
Rear ITO
BM
R
G
B
OC
PS
第二章 CF制法分类和工艺流程
第二章 CF制法分类和工艺流程
第二章 CF制法分类和工艺流程
TN模式的制造工艺是最基础的，下面详细介绍其工艺流程：
+PR PW
RPR
玻璃清洗
BM光阻涂布 GPR
曝光
显影
R光阻涂布
曝光
BPR
显影 G光阻涂布
曝光
Accuracy, Total Pitch
PR residual
Adhesive Force Between Glass and PR Film Thickness; Transmittance; Resistance
第三章 CF主要设备介绍:Process装置
No
设备
1
Coater
2
Exposure
普通
优秀
耐热性
普通
优秀
优秀
耐光性 普通
非常优秀 非常优秀
耐化学 性
不好
优秀
优秀
平坦性 优秀
非常优秀
不好
大型化 的可能
优秀
普通
不好
喷墨法
染料/颜料 1.0 ~ 2.5 ㎛ 10~20 ㎛
优秀 普通 普通 优秀
普通
不好
颜料分散法
颜料 1.5 ~ 2.5 ㎛ 10~20 ㎛
优秀 优秀 非常优秀 优秀
优秀
优秀
第二章 CF制法分类和工艺流程
现在国际上被广泛使用的是颜料分散法。依据不同显示模式颜料分 散法的工艺流程也有所区别，见下表所示：
Mode
Process Flow Chart
TN
BM
R
G
B
ITO
PS
MVA
BM
R
G
PVA
BM
R
G
IPS
Rear ITO
BM
R
B
ITO Rib
PS
B
OC
ITO Etching
显影
B光阻涂布
曝光
显影
O/C
ITO
PS PR
O/C
Sputtering
PS光阻涂布
曝光
显影
CF成品
第二章 CF制法分类和工艺流程
ITEM Cleaning Coating Pre Bake Exposure Developer Post Bake Sputtering
Main Process Condition
3
Sputter
4
Cleaner
5
Developer
6
Developer Concentration Adjust Unit
7
HP/CP
8
Post Bake
9
Repair
10
Pattern Repair
11
Rework
ห้องสมุดไป่ตู้12
Rework Marking
13
Titler
14
UV Asher
15
Eximer UV
第一章 CF的基本原理和结构
黑矩阵 彩色层 保护层 ITO导电膜
液晶层 玻璃基板
偏光片 玻璃基板
偏光片
配向膜 薄膜晶体管
第二章 CF制法分类和工艺流程
彩膜的制造工艺一般有染色法、电沉积法、印刷法、喷墨法和颜料 分散法。各工艺的简单流程如下图所示：
ITO
Gelatin
Resist
感光性color Resist
第三章 CF主要设备介绍:检测和物流装置
No
设备
19
Thin film Difference Measurement
20
Film Thickness Conveyor
21
CD&TP
22
AOI
23
Review, Micro
24
Mask Inspection
25
MCPD/OD
26
PS Inspection
27
Sheet Resistance
28
Macro, Visual Inspection
29
Orientation Flat Inspection
30
Glass Crack Inspection
31
Stocker, loader, Unloader, AGV
32
Unpack (Dens Pack)
33
Color Filter 基础培训资料
第一章 CF的基本原理和结构
CF（Color Filter）是用来实现彩色显示的主要器件，在色光中存在三 种最基本的色光，它们的颜色分别为红色、绿色和蓝色。这三种色光以 不同比例混合，几乎可以得到自然界中的一切色光；而且这三种色光具 有独立性，其中一种原色不能由另外的原色光混合而成，由此，我们称 红、绿、蓝为色光三原色。在TFT-LCD中， ARRAY基板上每个TFT控制 一个亚像素（也叫子像素，Sub-pixel)上方的液晶分子的扭曲程度，以 此来调整亚像素的透光量；每三个亚像素分别透过红光、绿光和蓝光， 并合成一个显示像素（Pixel)。由于每个像素透过的红光、绿光和蓝光 的比例都是不同的，因此合成的颜色也是不同的，从而形成彩色显示。 液晶盒的基本结构见下图所示：其中CF的基本构成为BM层，RGB色层， Over Coat层，ITO导电层及支撑盒厚的隔垫物。
Control Item
Type: Brush， CJ，UV； Flow；Pressure；
Particle Number
Coating Type: Spin or Spin/Slit or Slit； Coating Speed ；
Film Thickness& Uniformity
Temperature；Time；
hν hν
hν
染色法
电沉积法
印刷法
喷墨法
颜料分散法
第二章 CF制法分类和工艺流程
各种制法的特点比较见下表。
比较项目
染色法
电沉积法
印刷法
着色剂 染料
颜料
颜料
成膜膜 厚
1.0 ~ 2.5 ㎛
1.5 ~ 2.5 ㎛
1.0 ~ 3.0 ㎛
分辨率 10~20 ㎛ 10~20 ㎛ 50~80 ㎛
色 特性 非常优秀
16
Glass Corner Cut
17
Cassette Cleaner
18
Mask Cleaner
中文名称
涂布机 曝光机 溅射机 清洗机 显影机 显影液浓度调整装置 热盘/冷盘(前烘设备) 后烘设备 维修机 图形修正机 再加工设备 再加工记数器 打标机 紫外灰化设备 紫外清洗设备 玻璃加工机 玻璃载盒清洗机 掩膜板清洗机