半导体用膜

-PVC、PO(40~250μm) PVC、PO(40~250μm)
电气化学
研磨膜 切割膜（UV/非UV）
EVA/PET(85~160μm) PVC/PO/PET(80~200μm)
住友电木 SUMILITE®FSL-N系列（均为UV）
PVC/PO(90~220μm)
韩 国
AMC
研磨膜（UV/非UV） 切割膜（均为UV）
数据来源：上海速岑半导体
• 易剥离 (焊片时可吸起晶片) • 剥离后无残胶
• 低污染 (揭膜后无残留)
• 室温环境下粘着性低，不
易粘附灰尘
Copyright © 2019 Solartron Confidential. All Rights Reserved
Solartron
Illuminate Your Future
Solartron
Illuminate Your Future
半导体制程封装用膜
长阳科技－ 照亮美好未来
半导体制程封装用膜分类
项目
研磨膜
切割膜
封装支撑膜（耐高温胶带）
用途
与晶圆正面粘贴 保护正面电路
与晶圆背面粘贴
基膜厚度 功能膜基膜厚度为：75~200μm；离型膜主要为38μm
在QFN类封装中 与引线框架复合，防溢胶 基材25μm；离型膜50μm
长阳科技－ 照亮美好未来
前段工艺流程
后段工艺流程（封装）
Wafer 晶圆
Lead Frame 引线框架
Back Grinding 背面研磨 With Solder 点焊料
Wafer Mount 晶圆安装
Wafer Saw 晶圆切割
Wafer Wash 晶圆清洗
Die 芯片
Molding 注塑 Laser Mark 激光刻字
长阳科技－ 照亮美好未来
Solartron Technology
半导体制程封装用膜
冷静柠、祝炬烨
2019.07.15
Copyright © 2019 Solartron Confidential. All Rights Reserved
Solartron
Illuminate Your Future
半导体制程
成本 低 高
过程简化 差 优异
可剥性 良好 差
刚性 差 差
趋势 缩小 扩大
使用点 需要优良的剥离性能 采用夹具切割时，工艺成本的降低成为优势
• 切割胶带：基膜：PO(环保)/PVC(性价比高)为主；胶水：UV为主；离型膜：PET为主； • 供应商：LINTEC，日东电工，古河电气工业，日企为主； • 2017年，全球切割胶带出货量1540万平方米，中国出货量295万平方米，主要用于无源器件及LED封装等低端领域； • DC胶带商业模式：原厂供应，无代理商；
数据来源：涂布在线报告
Copyright © 2019 Solartron Confidential. All Rights Reserved
Solartron
Illuminate Your Future
半导体制程封装用膜
长阳科技－ 照亮美好未来
半导体制程封装用膜供应商
供应商
产品系列
基材及厚度
日东电工
Solartron
Illuminate Your Future
半导体制程封装用膜
长阳科技－ 照亮美好未来
Copyright © 2019 Solartron Confidential. All Rights Reserved
Solartron
Illuminate Your Future
长阳科技－ 照亮美好未来
Elep Holder
PVC(75/128/130μm)
古河电气
研磨膜
SP系列（UV） CP系列（非UV）
PO(100/110/165μm)
切割膜（UC/FC系列，均为UV）
PO(80/100/150μm)
日 三井化学
ICROSTM（UV/非UV）
本
研磨膜（E系列UV；P系列非UV）
琳得科化工
切割膜（D系列UV；G系列非UV）
PMC 高温固化 De-flash/Plating 去溢料/电镀
Annealing 电镀退火
Die Attach 芯片粘接 Cure 固化
Wire Bond 引线焊接
Trim/Form 切筋/成型 IC 电子元器件
Copyright © 2019 Solartron Confidential. All Rights Reserved
Solartron Technology
Copyright © 2019 Solartron Confidential. All Rights Reserved
Solartron
Illuminate Your Future
其他应用的市场产值年均复合成长率13.4%，到2020年预估市场 产值为2,510万美元。
UV胶带应用方向
研磨膜 切割膜 其他用膜
数据来源：薄膜新材网
UV胶带市场预测
目前市场需求 （万m2）
增长趋势 （万m2/年）
1500（2018年数据）
10
1032（2014年数据）
40
--
Copyright © 2019 Solartron Confidential. All Rights Reserved
供应商 产品系列 INNOX
Nitto
TRM-6250L TRM-3650S
耐高温胶带供应商
供应商 产品系列
PET protection film(38 μm)
Adhesive(4-10 μm)
PI base film (25 μm)
3M
7416Y
Tomoeg awa
AT5
Hitachi
RT-321 RT-521
PO/EVA(110~250μm) PVC/PO(90~110μm)
数据来源：薄膜新材网；各公司官网
Copyright © 2019 Solartron Confidential. All Rights Reserved
Solartron
Illuminate Your Future
半导体制程封装用膜
数据来源：各公司官网
Cosmo AMT
SCS-820
长阳科技－ 照亮美好未来
PET protection film(38 μm) Adhesive(6 μm) Polyimide base film (25 μm)
Copyright © 2019 Solartron Confidential. All Rights Reserved
基膜种类 • 基材：PET、EVA
• 离型膜：PET
• 基材：PO、PVC、PET • 离型膜：PET
• 基膜：PI • 离型膜：PET
• 软且有缓冲作用
基膜要求
• 耐热性/耐化学腐蚀
• 厚度均匀 • 耐化学腐蚀/可膨胀性
• 耐高温
• 易剥离且稳定，无残留
涂层要求 • 研磨时防止水渗入
• 对晶圆粗糙面的粘附性好
2020年预测市场产值 （RMB） 14.23亿 14.02亿 1.72亿
Solartron
Illuminate Your Future
半导体制程封装用膜
不同应用方向的市场预测
长阳科技－ 照亮美好未来
切割膜销售额下降原因 出现竞品/替代品：DDAF（将切割和芯片贴合步骤进行集成）
产品
对 比
切割膜
Biblioteka Baidu
DDAF
半导体制程封装用膜
长阳科技－ 照亮美好未来
UV胶带市场分析
Grand View Research市调公司预测2025年全球UV胶带市场将达到6.77 亿美元。
以应用类别分，目前全球UV胶带市场需求以切割为主。
在半导体封装轻薄要求下，晶圆研磨减薄的比重增加，对于晶 圆研磨胶带(Back Grinding Tape; BG Tape)的需求增加。