电子级磷酸市场调研报告
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电渗析法
结晶法
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电子级磷酸工艺简述
将工业黄磷制成液态三氯氧磷( POCl3) ，再将精馏提纯，精制后的三氯氧磷
三氯氧磷法 与超纯水反应生成磷酸和HCl，蒸馏除去HCl 可制得高纯磷酸。将磷酸调节
到所需浓度后，再用微孔滤膜过滤除去微细固体尘埃，即可得到电子级磷酸。 该法生产工艺流程长、能耗高，故生产成本高，而且对设备腐蚀严重。
2011年12月30日，国家质检总局、国家标准委在 《中华人民共和国国家标准公告》(2011年第23号) 中发布国家标准GB/T28159-2011《电子级磷酸》。 发布日期： 2011-12-30 实施日期： 2012-07-01 首发日期： 2011-12-30 参与起草单位：四川成洪磷化工有限责任公司、江
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国内消费区分布图
中国电子级磷酸的消费区主要分布在： 长江三角区、珠江三角区、渤海一带。
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国内主要厂家产能统计
据不完全统计，国内生产准电子级以上的磷酸有超过14万吨，但真正 能生产电子级、能达到市场高端要求的厂家甚少。国内缺口估计在10 万吨以上。
磷酸的原料磷矿石中含有的210Po、Bi、Pb、Ac等放射性杂 质，若不除去，吸附或沉积在S基上则会发射射线，导致电子元件 产生软故障(存储故障)。为降低半导体元件的软故障次数，必须专 用放射性杂质含量不大于10-3Bq/mL的电子级磷酸，还必须清除 元件基材上沉积的放射性杂质。
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电子级磷酸市场调研及决策
【深入市场调研】
我公司对电子级磷酸的了解不多，包括国内电子级磷酸的各项资料 和信息较少，国际对电子级磷酸研究的也较少。因此，我们还需要 对此产品继续深入了解和研究。
【标准研究】
我国新发布的2011标准分为E1,和E2级别，两种级别能否满足国内各 种电子市场要求？能否满足国外的电子市场要求？与国外电子市场要 求标准的差别是什么？需要我们进一步调研。
电子级磷酸价格
10 电子级磷酸市场调研及决策
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电子级磷酸用途
广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业， 主要用于芯片的清洗和蚀刻。
1
纯度较低的主要用 于液晶面板部件、 基片涂胶前的清洗。
2
光刻过程中的蚀刻 及最终去胶。
3
硅片本身制作过程 中的清洗和绝缘膜 蚀刻、半导体膜刻、 导体膜蚀刻、有机 材料蚀刻等。
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电子级磷酸执行标准
国际标准
国际半导体设备与材料组织(SEMl)将电子化学品按应用范围 分为SEMI-C1、SEMI-C7、SEMI-C8和SEMI-C12四个等级， 但当前国内外对高纯磷酸级别的划分很混乱，国外如美国、 日本、德国的电子级磷酸均已工业化生产，但由于技术保密， 其产品质量指标及生产技术未见详细报道。
30000 1000 20000 10000
14.1
准电子级 2011年通过RoHS 标准，
获欧盟准入 准电子级
2010年10月试车成功 准电子级 -
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电子磷酸2013年预计需求量
亚洲需求 30万吨
韩国需求 10万吨
近年来，随着半导体芯片制造业和 液晶显示器制造业向中国转移，特别是 中国台湾、日本和韩国等企业将在中国 大陆投巨资建设液晶显示器生产厂和晶 圆代工厂，以满足电视、电脑和移动通 讯领域对液晶显示器的需求，中国电子 级磷酸的用量将会有大幅增长，这为中 国电子级磷酸提供了极大的发展空间。
近几年，国内外磷酸价格受能源、原材料价格影响较大，国 际市场价格约为15000元/吨，国内市场价格在10000元/t左右。
电子级磷酸项目将提升磷酸毛利率电子级磷酸的门槛比较高， 国内的电子级磷酸，尤其是IC级的磷酸基本上都是进口的。 IC级磷酸价格在1.2-2万元/吨，远高于面板级磷酸价格。按 照2013年国内电子级磷酸需求量16万吨，其中面板级10万吨 (单价7000元/吨)，IC级6万吨(单价15000元/吨)，市场合计约 16亿元。
苏江阴市润玛电子材料有限公司、湖北兴发化工集
团股份有限公司、苏州电子材料厂有限公司、苏州 晶瑞化学有限公司
国内标准
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电子级磷酸工艺
电子级磷酸 工艺
以磷单质或三氯氧磷 为原料通过反应 法制取
以工业净化磷酸为原 料Baidu Nhomakorabea通过分离提纯法 制取
三氯氧磷法 高纯磷法 磷化氢法
25 （2） 种金属及非金属的检测项目；
（3）分为E1级、E2级。
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国外生产产能统计
国家
公司名称
产能
备注
德国 美国 日本
韩国
台湾
E.Merck A-Baker
RASA Nippon Rinka DongWoo
DC FINECHEM 长春.中华.长新
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国内需求 15-16万吨
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国内电子级磷酸特点
研发电子级磷酸新技术，提高国内电子级磷酸产品质量，使产品 应用于IC、LED、TFT-LCD等行业，摆脱长期依赖进口，将是我 国电子级磷酸发展的方向 。
ONE
TWO
THREE
FOUR
电子级磷酸关键 企业规模小，
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目录
1
电子级磷酸用途
2
电子级磷酸执行标准
3
电子级磷酸工艺
4
电子级磷酸工艺简述
5 杂质对电子级磷酸的影响
6
电子级磷酸的检测
7
国外生产产能统计
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8
国内消费区分布图
9
国内主要厂家产能统计
10
电子磷酸预计需求量
11
国内电子级磷酸特点
12 电子级磷酸进出口现状
13
由于专利技术等 原因，致使我国 IC、LED、TFTLCD行业用的电 子级磷酸长期依 赖进口，而目前 我国市场上的电 子级磷酸供应商 主要集中在日本、 美国和德国；
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电子级磷酸进出口现状
国内出口初级电子级 磷酸产品给国外
出口
国内
国国外内生产更高级别的
技术长时间垄断 目前国内30多
在美国、德国、 家磷酸生产企
日本等发达国家。 业，只有十几
我国总体技术水 家企业进行生
平落后于发达国 产和销售电子
家，而且，原材 级磷酸，且规
料的消耗以及生 模均不大，企
产成本普遍高于 业主要集中在
国外；
江苏、四川；
国内生产的产 品只能达到电 子级磷酸低端 产品要求，只 能应用于电子 工业的液晶显 示器生产上作 清洗剂；
电渗析法
将磷酸中的有机物预先用活性炭除去，然后在一定的电流密度下渗析， 利用离子交换膜对离子选择性透过的特性来分离磷酸中的杂质，得到精 制磷酸。此法精制成本高，用来精制磷酸的工业化还有很多问题尚待解 决，距实用阶段尚有一定距离。
冷却结晶法
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是以湿法净化磷酸或热法磷酸为原料，加入晶种，在结晶和重结晶过程中采 用梯度降温方法，使磷酸以半水磷酸晶体形式析出，经过滤、洗涤，杂质离 子留在母液中，再将晶体熔化即可得到电子级磷酸。该法操作条件温和，不 需专用结晶设备，能有效控制晶体粒度的大小。
电子级产品返销国内
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进口
国外
国内出口量远大于进口量
从以上可以看出，电子级磷酸技术在国 内可谓低水平状态，国外出口的是他们 的技术，并不是他们的资源。
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电子级磷酸价格
电子级磷酸的价格随其质量的高低差异也较大, 一般电子级 磷酸约1~2万元/吨, 其金属离子杂质总含量在1.68mg·L1(1ppm)以下的高纯电子级磷酸售价更高。
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杂质对电子级磷酸的影响
生产具有稳定的电气特性和可靠性的电子元件和电路时，要 求处理硅晶片的化学试剂非常纯净。不溶性固体颗粒或金属离子 可能在微细电路之间导电，使之短路，几个金属离子或灰尘足以 使线宽较小的IC报废。
为了避免硅晶片发生粒子污染，必须使用隔膜过滤器净化到 0.2μm粒度以下的电子级纯度的化学试剂。这些杂质(有机物、碱 金属和其他离子等) 非常有害,若附着在硅晶片表面，则将使PN结 耐电压降低，在PN结区引起反向漏电增加；若沉积在Si-SiO2界面 处，易引起微等离子体击穿。
公司名称
产能（吨）/年
备注
四川成洪磷化工有限责任公司
20000
-
贵州威顿晶磷电子材料有限公司
10000
-
广西宜州宜盛精细化工有限公司
湖北兴发化工集团股份有限公司
云天化（集团）有限责任公司 贵州瓮福( 集团) 有限责任公司 江苏澄星磷化工股份有限公司 湖北宜昌兴福电子材料有限公司
其他 总计
40000
10000
【公司决策】
市场调研后，公司需要迅速做出决策。因为电子产品的更新换代速 度很快，一般三个月一换，作为电子级磷酸来说也是跟随着电子产 品发展而发展，在不久的将来，国内电子级磷酸技术会与时俱进。
【技术引进】
技术一直是国内电子磷酸的瓶颈，新项目新技术不一定要自主研发， 因为需要消耗时间，会导致新项目新技术变成了旧项目旧技术。产品 www.them需eg要all迎ery合.com市场需求，如要上此项目，建议考虑引进先进技术。 Company Logo
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电子级磷酸的检测
电子级磷酸的检测较其他产品检测主要包括金属 杂质、颗粒物。金属杂质痕量的分析主要采用电 感耦合等离子体－质谱( ICP － MS) 、电感耦合 等离子发射光谱仪( ICP－ AES) 为主，非金属离 子检测应配备离子色谱仪，颗粒物采用激光散射 法。
国内新发布的GB/T 28159-2011标准特点： （1）磷酸含量在85-87%；
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2.6万/吨 0.91万/吨 1.05万/吨 0.7万/吨 1.2万/吨 -
提供LG 提供三星和LG -
目前，全球电子级磷酸产能约为500 ～ 600kt /a，东
亚地区的产能大约占了其中的一半，国际上能生产电子级 磷酸的厂家主要集中在日本、韩国、台湾、美国、德国和 俄罗斯，以日本、韩国、台湾的生产商较多。
高纯磷法
将工业黄磷或红磷提纯制成高纯磷，与净化后的空气或氧反应生 成P2 O5，再用超纯水喷淋吸收生成高纯磷酸。该法缺点: 损失较 大，成本增加; 而且由于磷具有自燃性，因此对设备材质、生产控 制和操作人员要求较高，生产控制较难。
磷化氢法
黄磷在碱的作用下生成磷化氢，或由磷化锌或磷化铝水解生成磷化氢。精 制磷化氢，然后将磷化氢负压催化氧化热分解制得高纯磷，将高纯磷再用 纯氧或洁净空气氧化成P2O5，再与超纯水反应制得高纯磷酸。该法生产工 艺流程长、能耗高，故生产成本高，同时污染严重，而且还存在安全隐患。
电渗析法
结晶法
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电子级磷酸工艺简述
将工业黄磷制成液态三氯氧磷( POCl3) ，再将精馏提纯，精制后的三氯氧磷
三氯氧磷法 与超纯水反应生成磷酸和HCl，蒸馏除去HCl 可制得高纯磷酸。将磷酸调节
到所需浓度后，再用微孔滤膜过滤除去微细固体尘埃，即可得到电子级磷酸。 该法生产工艺流程长、能耗高，故生产成本高，而且对设备腐蚀严重。
2011年12月30日，国家质检总局、国家标准委在 《中华人民共和国国家标准公告》(2011年第23号) 中发布国家标准GB/T28159-2011《电子级磷酸》。 发布日期： 2011-12-30 实施日期： 2012-07-01 首发日期： 2011-12-30 参与起草单位：四川成洪磷化工有限责任公司、江
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国内消费区分布图
中国电子级磷酸的消费区主要分布在： 长江三角区、珠江三角区、渤海一带。
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国内主要厂家产能统计
据不完全统计，国内生产准电子级以上的磷酸有超过14万吨，但真正 能生产电子级、能达到市场高端要求的厂家甚少。国内缺口估计在10 万吨以上。
磷酸的原料磷矿石中含有的210Po、Bi、Pb、Ac等放射性杂 质，若不除去，吸附或沉积在S基上则会发射射线，导致电子元件 产生软故障(存储故障)。为降低半导体元件的软故障次数，必须专 用放射性杂质含量不大于10-3Bq/mL的电子级磷酸，还必须清除 元件基材上沉积的放射性杂质。
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电子级磷酸市场调研及决策
【深入市场调研】
我公司对电子级磷酸的了解不多，包括国内电子级磷酸的各项资料 和信息较少，国际对电子级磷酸研究的也较少。因此，我们还需要 对此产品继续深入了解和研究。
【标准研究】
我国新发布的2011标准分为E1,和E2级别，两种级别能否满足国内各 种电子市场要求？能否满足国外的电子市场要求？与国外电子市场要 求标准的差别是什么？需要我们进一步调研。
电子级磷酸价格
10 电子级磷酸市场调研及决策
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电子级磷酸用途
广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业， 主要用于芯片的清洗和蚀刻。
1
纯度较低的主要用 于液晶面板部件、 基片涂胶前的清洗。
2
光刻过程中的蚀刻 及最终去胶。
3
硅片本身制作过程 中的清洗和绝缘膜 蚀刻、半导体膜刻、 导体膜蚀刻、有机 材料蚀刻等。
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电子级磷酸执行标准
国际标准
国际半导体设备与材料组织(SEMl)将电子化学品按应用范围 分为SEMI-C1、SEMI-C7、SEMI-C8和SEMI-C12四个等级， 但当前国内外对高纯磷酸级别的划分很混乱，国外如美国、 日本、德国的电子级磷酸均已工业化生产，但由于技术保密， 其产品质量指标及生产技术未见详细报道。
30000 1000 20000 10000
14.1
准电子级 2011年通过RoHS 标准，
获欧盟准入 准电子级
2010年10月试车成功 准电子级 -
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电子磷酸2013年预计需求量
亚洲需求 30万吨
韩国需求 10万吨
近年来，随着半导体芯片制造业和 液晶显示器制造业向中国转移，特别是 中国台湾、日本和韩国等企业将在中国 大陆投巨资建设液晶显示器生产厂和晶 圆代工厂，以满足电视、电脑和移动通 讯领域对液晶显示器的需求，中国电子 级磷酸的用量将会有大幅增长，这为中 国电子级磷酸提供了极大的发展空间。
近几年，国内外磷酸价格受能源、原材料价格影响较大，国 际市场价格约为15000元/吨，国内市场价格在10000元/t左右。
电子级磷酸项目将提升磷酸毛利率电子级磷酸的门槛比较高， 国内的电子级磷酸，尤其是IC级的磷酸基本上都是进口的。 IC级磷酸价格在1.2-2万元/吨，远高于面板级磷酸价格。按 照2013年国内电子级磷酸需求量16万吨，其中面板级10万吨 (单价7000元/吨)，IC级6万吨(单价15000元/吨)，市场合计约 16亿元。
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国内标准
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电子级磷酸工艺
电子级磷酸 工艺
以磷单质或三氯氧磷 为原料通过反应 法制取
以工业净化磷酸为原 料Baidu Nhomakorabea通过分离提纯法 制取
三氯氧磷法 高纯磷法 磷化氢法
25 （2） 种金属及非金属的检测项目；
（3）分为E1级、E2级。
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国外生产产能统计
国家
公司名称
产能
备注
德国 美国 日本
韩国
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国内需求 15-16万吨
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国内电子级磷酸特点
研发电子级磷酸新技术，提高国内电子级磷酸产品质量，使产品 应用于IC、LED、TFT-LCD等行业，摆脱长期依赖进口，将是我 国电子级磷酸发展的方向 。
ONE
TWO
THREE
FOUR
电子级磷酸关键 企业规模小，
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目录
1
电子级磷酸用途
2
电子级磷酸执行标准
3
电子级磷酸工艺
4
电子级磷酸工艺简述
5 杂质对电子级磷酸的影响
6
电子级磷酸的检测
7
国外生产产能统计
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8
国内消费区分布图
9
国内主要厂家产能统计
10
电子磷酸预计需求量
11
国内电子级磷酸特点
12 电子级磷酸进出口现状
13
由于专利技术等 原因，致使我国 IC、LED、TFTLCD行业用的电 子级磷酸长期依 赖进口，而目前 我国市场上的电 子级磷酸供应商 主要集中在日本、 美国和德国；
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电子级磷酸进出口现状
国内出口初级电子级 磷酸产品给国外
出口
国内
国国外内生产更高级别的
技术长时间垄断 目前国内30多
在美国、德国、 家磷酸生产企
日本等发达国家。 业，只有十几
我国总体技术水 家企业进行生
平落后于发达国 产和销售电子
家，而且，原材 级磷酸，且规
料的消耗以及生 模均不大，企
产成本普遍高于 业主要集中在
国外；
江苏、四川；
国内生产的产 品只能达到电 子级磷酸低端 产品要求，只 能应用于电子 工业的液晶显 示器生产上作 清洗剂；
电渗析法
将磷酸中的有机物预先用活性炭除去，然后在一定的电流密度下渗析， 利用离子交换膜对离子选择性透过的特性来分离磷酸中的杂质，得到精 制磷酸。此法精制成本高，用来精制磷酸的工业化还有很多问题尚待解 决，距实用阶段尚有一定距离。
冷却结晶法
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是以湿法净化磷酸或热法磷酸为原料，加入晶种，在结晶和重结晶过程中采 用梯度降温方法，使磷酸以半水磷酸晶体形式析出，经过滤、洗涤，杂质离 子留在母液中，再将晶体熔化即可得到电子级磷酸。该法操作条件温和，不 需专用结晶设备，能有效控制晶体粒度的大小。
电子级产品返销国内
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国外
国内出口量远大于进口量
从以上可以看出，电子级磷酸技术在国 内可谓低水平状态，国外出口的是他们 的技术，并不是他们的资源。
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电子级磷酸价格
电子级磷酸的价格随其质量的高低差异也较大, 一般电子级 磷酸约1~2万元/吨, 其金属离子杂质总含量在1.68mg·L1(1ppm)以下的高纯电子级磷酸售价更高。
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杂质对电子级磷酸的影响
生产具有稳定的电气特性和可靠性的电子元件和电路时，要 求处理硅晶片的化学试剂非常纯净。不溶性固体颗粒或金属离子 可能在微细电路之间导电，使之短路，几个金属离子或灰尘足以 使线宽较小的IC报废。
为了避免硅晶片发生粒子污染，必须使用隔膜过滤器净化到 0.2μm粒度以下的电子级纯度的化学试剂。这些杂质(有机物、碱 金属和其他离子等) 非常有害,若附着在硅晶片表面，则将使PN结 耐电压降低，在PN结区引起反向漏电增加；若沉积在Si-SiO2界面 处，易引起微等离子体击穿。
公司名称
产能（吨）/年
备注
四川成洪磷化工有限责任公司
20000
-
贵州威顿晶磷电子材料有限公司
10000
-
广西宜州宜盛精细化工有限公司
湖北兴发化工集团股份有限公司
云天化（集团）有限责任公司 贵州瓮福( 集团) 有限责任公司 江苏澄星磷化工股份有限公司 湖北宜昌兴福电子材料有限公司
其他 总计
40000
10000
【公司决策】
市场调研后，公司需要迅速做出决策。因为电子产品的更新换代速 度很快，一般三个月一换，作为电子级磷酸来说也是跟随着电子产 品发展而发展，在不久的将来，国内电子级磷酸技术会与时俱进。
【技术引进】
技术一直是国内电子磷酸的瓶颈，新项目新技术不一定要自主研发， 因为需要消耗时间，会导致新项目新技术变成了旧项目旧技术。产品 www.them需eg要all迎ery合.com市场需求，如要上此项目，建议考虑引进先进技术。 Company Logo
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电子级磷酸的检测较其他产品检测主要包括金属 杂质、颗粒物。金属杂质痕量的分析主要采用电 感耦合等离子体－质谱( ICP － MS) 、电感耦合 等离子发射光谱仪( ICP－ AES) 为主，非金属离 子检测应配备离子色谱仪，颗粒物采用激光散射 法。
国内新发布的GB/T 28159-2011标准特点： （1）磷酸含量在85-87%；
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2.6万/吨 0.91万/吨 1.05万/吨 0.7万/吨 1.2万/吨 -
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目前，全球电子级磷酸产能约为500 ～ 600kt /a，东
亚地区的产能大约占了其中的一半，国际上能生产电子级 磷酸的厂家主要集中在日本、韩国、台湾、美国、德国和 俄罗斯，以日本、韩国、台湾的生产商较多。
高纯磷法
将工业黄磷或红磷提纯制成高纯磷，与净化后的空气或氧反应生 成P2 O5，再用超纯水喷淋吸收生成高纯磷酸。该法缺点: 损失较 大，成本增加; 而且由于磷具有自燃性，因此对设备材质、生产控 制和操作人员要求较高，生产控制较难。
磷化氢法
黄磷在碱的作用下生成磷化氢，或由磷化锌或磷化铝水解生成磷化氢。精 制磷化氢，然后将磷化氢负压催化氧化热分解制得高纯磷，将高纯磷再用 纯氧或洁净空气氧化成P2O5，再与超纯水反应制得高纯磷酸。该法生产工 艺流程长、能耗高，故生产成本高，同时污染严重，而且还存在安全隐患。