多晶硅生产中常见化学品的物料性质

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• 可混溶于苯、氯仿、石油醚等多数有机溶剂。
➢ 化学性质
• 酸性腐蚀品,受热或遇水分解放热,放出有毒的腐蚀性烟
气。
• 在空气中形成HCl酸雾:SiCl4+4H2O=H4SiO4+4HCl
February 14, 2020
四氯化硅STC
• 危害及急救措施 ➢ 健康危害
• 对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用,高浓度可引起角膜混浊,呼
February 14, 2020
冶金级硅粉MGS
• 危害及急救措施 ➢ 健康危害
• 本品对人体无毒。高浓度吸入引起呼吸道轻度刺激,进入眼内作为异物有刺激性。
➢ 急救措施
• 皮肤接触: 脱去污染的衣着,用流动清水冲洗。 • 眼睛接触: 提起眼睑,用流动清水或生理盐水冲洗,就医。 • 吸入: 迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧;如呼吸停止,立即进
二氯二氢硅DCS
• 其它处置措施 ➢ 消防及泄露处置措施
• 切断气源。若不能切断气源,则不允许熄灭泄漏处的火焰。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移
至空旷处。灭火剂:雾状水、泡沫、干粉、二氧化碳。
• 人员迅速撤离至上风处,并立即隔离150m,严格限制出入,切断火源,建议应急处理人员戴自给正压
式呼吸器,穿防毒服。合理通风,加速扩散。
➢ 急救措施
• 吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧;如呼吸停止,立即进行
人工呼吸,就医。
➢ 消防措施
• 消防人员须佩戴防毒面具、穿全身消防服,在上风向灭火。
• 切断气源,若不能切断气源,则不允许熄灭泄漏处的火焰。
• 灭火剂:水、泡沫、干粉、二氧化碳。
February 14, 2020
➢ 急救措施
- 吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧;如呼吸
停止,立即进行人工呼吸,就医。
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• 其它处置措施
氢气H2
➢消防措施
• 切断气源,若不能立即切断气源,则不允许熄灭正在燃烧的气体。
喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂:雾 状水、泡沫、二氧化碳、干粉。
• 其它处置措施
硅烷SiH4
➢ 泄露应急处理
• 迅速撤离至上风处,并进行隔离,严格限制出
入,切断火源。
• 应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防静电
工作服,从上风处进入现场,尽可能切断泄漏 源,喷雾状水稀释。
➢ 储存注意事项
- 储存于阴凉、干燥、通风良好的库房,远离火种、热源,钢瓶温度不应超过52℃,保持容器密封。
• 与五氧化溴、氯气、次氯酸、三氟化氮、液氧、二氟化氧及其它
强氧化剂接触发生剧烈反应。
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• 危害及急救措施
甲烷CH4(天然气)
➢ 健康危害
• 空气中甲烷浓度过高,能使人窒息。当空气中甲烷达25%~30
%时,可引起头痛、头晕、乏力、注意力不集中、呼吸和心跳 加速、共济失调,若不及时脱离,可致窒息死亡。
甲烷CH4(天然气)
➢ 消防措施
• 切断气源。若不能切断气源,则不允许熄灭泄漏处的火焰。
• 消防人员必须佩戴空气呼吸器、穿全身防火防毒服,在上风向灭火。
• 灭火方法:雾状水、泡沫、二氧化碳、干粉灭火。
➢ 泄露应急处理
- 消除所有点火源,根据气体扩散的影响区域划定警戒区。 - 应急处理人员戴正压自给式呼吸器,穿防静电服。 - 禁止用水直接冲击泄漏物或泄漏源。
➢应急处理处置方法
• 泄漏应急处理时,迅速撤离至上风处,并进行隔离,严格限制出
入,切断火源。
• 应急处理人员戴自给正压式呼吸器,尽可能切断泄漏源,合理通
风,加速扩散。
Febrቤተ መጻሕፍቲ ባይዱary 14, 2020
• 物化性质
氮气N2
➢物理性质
• 无色无臭气体,分子量28.01,熔点-209.8℃,沸点-195.6 ℃,相对密度 0.97(空气=1)。
- 与氧化剂、碱类、卤素、食用化学品分开存放,切忌混储。
- 采用防爆型照明、通风设施。
February 14, 2020
• 物化性质
甲烷CH4(天然气)
➢物理性质
• 无色无味气体,相对空气密度0.6,沸点-161℃,闪点-218℃。 • 微溶于水,溶于乙醇、乙醚、苯、甲苯等。
➢ 化学性质
• 易燃,爆炸限(V/V) 5%~15%,遇热源和明火有燃烧爆炸的危险。
西。
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四氯化硅STC
• 其它处置措施 ➢ 消防措施
• 灭火方法:干粉、砂土,禁止用水。
➢ 防护措施
• 眼睛防护:戴化学安全防护眼镜。 • 防护服:穿工作服(防腐材料制作)。 • 手防护:戴橡皮手套。 • 呼吸系统防护:可能接触其蒸气时,必须佩戴防毒面具或供气式头盔;紧急事态抢救或逃生时,建议
February 14, 2020
三氯氢硅TCS
• 其它处置措施 ➢ 消防措施
• 灭火方法:可用二氧化碳、干石粉、干砂,禁止用
水、泡沫。
➢ 储存措施
• 液体用玻璃瓶或金属桶盛装,容器要存放在室外阴
凉干燥通风良好之处或在易燃液体专用库内。
• 与氧化剂、碱类、酸类隔开,远离火种、热源,避
光,库温不宜超过25℃。
- 与氧化性物质接触时产生爆炸性反应。
February 14, 2020
三氯氢硅TCS
• 危害及急救措施
➢健康危害
• 对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用。高浓度可引起角膜混
浊,呼吸道炎症,甚至肺水肿。眼直接接触可致角膜及眼 睑严重灼伤。皮肤接触后可引起组织坏死,长期不愈。
➢ 急救措施
- 皮肤接触:立即脱去污染的衣着,用流动清水冲洗15分钟,若有灼伤,就医治疗。 - 眼睛接触:提起眼睑,用流动清水或生理盐水冲洗约15分钟,并立即就医。 - 吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处,注意保暖,保持呼吸道通畅,必要时进行人工呼吸,就医。 - 食入:患者清醒时立即漱口,给饮牛奶或蛋清,立即就医。不得给失去知觉者进食任何东西。
佩带自给式呼吸器。
• 其它:工作后,淋浴更衣,单独存放被毒物污染的衣服,洗后再用,保持良好的卫生习惯。
February 14, 2020
三氯氢硅TCS
• 物化性质
➢ 物理性质
• 常温常压下为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无色透明液体。分子量
135.43,常压下熔点-134℃,沸点31.8℃,相对水密度1.35,燃点27.8℃,自燃点104.4℃,闪点:-14℃,爆炸下限9.8%。
- 小量泄漏:避免扬尘,用洁净的铲子收集于干燥、洁净、有盖的容器中。 - 大量泄漏:用水润湿,然后转移回收。
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四氯化硅STC
• 物化性质 ➢物理性质
• 无色或淡黄色发烟液体,有刺激性气味,易潮解。分子量
169.90,熔点-70℃,沸点57.6℃,相对密度(水=1)1.48。
多晶硅生产中常见化学品的理化性 质
2/14/2020
冶金级硅粉MGS
• 物化性质 ➢物理性质
• 黑褐色无定形非金属粉末或硬而有光泽的晶体,分子量
28.09,熔点1410℃,沸点2355 ℃,相对密度 (水=1)2.3。
➢ 化学性质
- 易燃,有害燃烧产物氧化硅。粉尘遇火焰或与氧化剂接触发生反应,有中等程度的危险性。 - 不溶于水,不溶于盐酸、硝酸,溶于氢氟酸和碱液。
➢ 急救措施
• 皮肤接触:立即脱去污染的衣着,用大量流动清水冲洗至少15分钟,就医。 • 眼睛接触:立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟,就医。 • 吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧;如呼吸停止,立即进行
人工呼吸,就医。
February 14, 2020
February 14, 2020
• 物化性质
氢气H2
➢ 物理性质
• 无色无味气体,分子量2.01, 密度0.0899kg/m3,沸点-252.8℃,燃点500℃,
相对空气密度0.07。
• 不溶于水,不溶于乙醇、乙醚。
➢ 化学性质
• 易燃,与空气混合能形成爆炸性混合物,爆炸限(V/V) 4.1%~74.1%。
➢化学性质
• 常温下很难与其他物质发生反应。
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• 危害及急救措施
氮气N2
➢健康危害
• 空气中氮气含量过高,使吸入气氧分压下降,引起缺氧窒息。 • 液氮易引起冻伤。
➢急救措施
• 迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅,如呼吸困难,则进
行输氧,呼吸心跳停止时,立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术, 就医。
• 皮肤接触液化气体可致冻伤。
➢ 急救措施
- 皮肤接触:皮肤接触液化气体如果发生冻伤,将患部浸泡于保持在38~42℃的温水中复温。如有
不适感,就医。
- 吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅,如呼吸困难,给输氧;呼吸、心跳停止,
立即进行心肺复苏术,就医。
February 14, 2020
• 其它处置措施
32.12 ,密度1.342g/L(气)、沸点-112℃。
• 溶于苯、四氯化碳。
➢ 化学性质
- 暴露在空气中能自燃,遇明火、高热极易燃烧爆炸,爆炸限
(V/V) 1.4%~96%。
- 与氟、氯等接触会发生剧烈的化学反应。
February 14, 2020
• 危害及急救措施
硅烷SiH4
➢ 健康危害
• 吸入硅烷蒸气后,引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗;严重者面色苍白、脉搏微弱、昏迷。
• 气体比空气轻,在室内使用和储存时,漏气上升滞留屋顶不易排出,遇火
星会引起爆炸。
• 与氟、氯、溴等卤素会剧烈反应。
February 14, 2020
• 危害及急救措施
氢气H2
➢ 健康危害
• 本品在生理学上是惰性气体,仅在高浓度时,由于
空气中氧分压降低才引起窒息。在很高的分压下, 氢气可呈现出麻醉作用。
行人工呼吸,就医。
• 食入: 饮足量温水,催吐,就医。
February 14, 2020
冶金级硅粉MGS
• 其它处置措施 ➢消防措施
• 灭火方法: 采用干粉、干砂灭火,禁止用水及二氧化碳。
➢ 泄漏应急处理
- 应急处理: 隔离泄漏污染区,限制出入,切断火源,建议应急处理人员戴防尘面具(全面罩),
穿一般作业工作服。
➢ 储存注意事项
- 储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。包装必须密封,切勿受潮。钢瓶温度不
应超过52℃。
- 应与氧化剂、碱类、醇类等化学品分开存放,切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。
February 14, 2020
• 物化性质
硅烷SiH4
➢ 物理性质
• 常温常压下为无色有大蒜恶心气味气体,分子量
热源和明火有燃烧爆炸的危险。
February 14, 2020
二氯二氢硅DCS
• 危害及急救措施 ➢ 健康危害
• 对上下呼吸道、皮肤和眼睛有腐蚀性和刺激性。遇水或空气中的水份迅速水解形成氯化氢(盐酸),盐
酸可致皮肤灼伤和粘膜刺激。接触后表现有流泪、咳嗽、咳痰、呼吸困难、流涎等。可引起肺炎或肺 水肿。眼接触可致灼伤,导致失明。
• 可用氨水探漏。
February 14, 2020
二氯二氢硅DCS
• 物化性质 ➢ 物理性质
• 常温常压下为有毒,具腐蚀性、刺激性无色气体,分 子 量101.01, 熔点-
122℃,沸点8.3℃,相对水密度1.26,相对空气密度3.59。
• 溶于苯、乙醚等多数有机溶剂。
➢ 化学性质
• 与卤素及其它氧化剂剧烈反应。 • 遇水或水蒸气剧烈反应,生成盐酸烟雾。 • 蒸气能与空气形成范围广阔的爆炸性混合物,爆炸限 (V/V) 4.1%~99.0%,遇
吸道炎症,甚至肺水肿,皮肤接触后可引起组织坏死。
➢ 急救措施
- 皮肤接触:立即脱去污染的衣着,用流动清水冲洗15分钟;若有灼伤,就医治疗。
- 眼睛接触:提起眼睑,用流动清水或生理盐水冲洗约15分钟,并立即就医。
- 吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处,注意保暖,保持呼吸道通畅,必要时进行人工呼吸,就医。
- 食入:患者清醒时立即漱口,给饮牛奶或蛋清,立即就医。注意不得给失去知觉者进食任何东
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• 储存及泄露处理
氮气N2
➢储存注意事项
• 储存于阴凉、通风的库房,远离火种、热源。库温不宜超
过30℃,储区应备有泄漏应急处理设备。
➢ 泄露处理
• 建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作
➢ 化学性质
- 空气中极易燃烧,燃烧时发出红色火焰和白色烟,生成SiO2、HCl和Cl2。 - 蒸汽能与空气形成范围很宽的爆炸性混合气,受热时引起猛烈的爆炸。
- 遇潮时发烟,与水激烈反应生成氯化氢:2SiHCl3+3H2O → (HSiO)2O+6HCl。
- 在碱液中分解放出氢气:SiHCl3+3NaOH+H2O → Si(OH)4+3NaCl+H2。
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