【CN109856729A】一种分光自聚焦透镜镀膜方法及Glens透镜【专利】
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910183753.3
(22)申请日 2019.03.12
(71)申请人 飞秒光电科技(西安)有限公司
地址 710119 陕西省西安市高新区新型工
业园发展大道18号
(72)发明人 张红菊 刘政
(74)专利代理机构 西安佩腾特知识产权代理事
务所(普通合伙) 61226
代理人 张倩
(51)Int.Cl.
G02B 6/32(2006.01)
G02B 3/00(2006.01)
G02B 1/10(2015.01)
C23C 14/30(2006.01)
(54)发明名称
一种分光自聚焦透镜镀膜方法及Glens透镜
(57)摘要
本发明涉及分光自聚焦透镜镀膜方法及
Glens透镜,包括以下方法:1)确定膜系结构:根
据Glens透镜的折射率分布及技术需求,确定高
折射率材料H和低折射率材料L,进而确定初步膜
系结构;2)优化膜系结构:根据技术需求和初步
膜系结构,利用TFC软件,计算初步膜系结构的等
效折射率,对初步膜系结构进行优化,得到优化
膜系结构;3)根据优化的膜系结构采用IAD离子
束辅助沉积法在Glens透镜的出光面上镀膜。本
发明解决了现有的分光膜镀膜方式所存在的问
题,本发明为Glens透镜提供了一种镀膜方法,工
艺简单,
稳定性高。权利要求书1页 说明书3页 附图2页CN 109856729 A 2019.06.07
C N 109856729
A
权 利 要 求 书1/1页CN 109856729 A
1.一种分光自聚焦Glens透镜镀膜方法,其特征在于,包括以下方法:
1)确定膜系结构:
根据Glens透镜的折射率分布及技术需求,确定高折射率材料H和低折射率材料L,进而确定初步膜系结构;
2)优化膜系结构:
根据技术需求和初步膜系结构,利用TFC软件,计算初步膜系结构的等效折射率,对初步膜系结构进行优化,得到优化膜系结构;
3)根据优化的膜系结构采用IAD离子束辅助沉积法在Glens透镜的出光面上镀膜。
2.根据权利要求1所述的分光自聚焦镀膜方法,其特征在于,在步骤3)之前还包括在Glens透镜的出光面涂布结合层。
3.一种分光自聚焦Glens透镜,其特征在于:包括透镜本体,所述透镜本体的出光面上镀有分光膜。
4.根据权利要求3所述的分光自聚焦Glens透镜,其特征在于:还包括结合层,透镜出光面与分光膜之间涂布有结合层。
5.根据权利要求3或4所述的分光自聚焦Glens透镜,其特征在于:所述分光膜包括高折射率材料层和低折射率材料层。
6.根据权利要求5所述的分光自聚焦Glens透镜,其特征在于:分光膜的结构为LH0.35LHLH0.5L1.2H(LH)^6L1.6H0.5L1.4H1.6L0.7HL,其中L代表低折射率材料层,H代表高折射率材料层,数字代表当前层的厚度,^6代表(LH)层重复6次。
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