薄膜体声波谐振器FBAR
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导师签名
研究生科
意见
浙江大学研究生培养处制表
浙江大学研究生读书报告记录表
学院
信电系
学号
20711170
培养类型
硕士生
研究生
姓名
赵士恒
导师
姓名
董树荣
读书报告
时间
2008-5-13
读书报告
状态
学科
读书报告题目
薄膜体声波谐振器（FBAR）技术的若干问题研究
读书报告摘要（限500字以内）：
本博士论文较全面地介绍了FBAR相关知识，并在FBAR建模，AlN薄膜的制备和测量等方面有所创新。首先从FBAR的平面波传输特性与电学性能进行分析，推导出了FBAR的普适解析等效模型Mason模型，以及FBAR在谐振点附近的近似等效电路模型BVD模型和MBVD模型，并应用ADS仿真软件分析了压电材料、电极材料、电极面积及厚度、支撑层等对FBAR性能的影响。论文第二部分主要介绍了用直流磁控反映溅射法制备AlN，对反应溅射进行了理论建模分析，并详细分析了工艺参数对迟滞曲线的影响。AlN薄膜的c轴择优取向受到工作气压、靶基距、溅射功率、基片温度、基片种类、氩氮比等因素的影响，文中也进行了阐述。本文进一步提出了一种基于谐振腔微扰理论的介质薄膜微波复介电常数的测量装置和方法，并说明保持测试环境的恒温恒湿、利用谐振腔的传输特性曲线、改善膜层均匀性、采用高Q的谐振腔均可以减小测量误差。FBAR的典型应用是作为谐振器和滤波器，文中分析了FBAR的阶梯型、网格型、叠层型和耦合型滤波器基本结构，介绍了单个FBAR频率微调的方法，并在此基础上对WCDMA零中频Rx非平衡和平衡接收滤波器进行了分析设计。
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信电系
学号
20711170
培养类型
硕士生
研究生
姓名
赵士恒
导师
姓名
董树荣
读书报告
时间
2008-5-13
读书报告
状态
学科
读书报告题目
薄膜体声波谐振器（FBAR）技术的若干问题研究
读书报告摘要（限500字以内）：
本博士论文较全面地介绍了FBAR相关知识，并在FBAR建模，AlN薄膜的制备和测量等方面有所创新。首先从FBAR的平面波传输特性与电学性能进行分析，推导出了FBAR的普适解析等效模型Mason模型，以及FBAR在谐振点附近的近似等效电路模型BVD模型和MBVD模型，并应用ADS仿真软件分析了压电材料、电极材料、电极面积及厚度、支撑层等对FBAR性能的影响。论文第二部分主要介绍了用直流磁控反映溅射法制备AlN，对反应溅射进行了理论建模分析，并详细分析了工艺参数对迟滞曲线的影响。AlN薄膜的c轴择优取向受到工作气压、靶基距、溅射功率、基片温度、基片种类、氩氮比等因素的影响，文中也进行了阐述。本文进一步提出了一种基于谐振腔微扰理论的介质薄膜微波复介电常数的测量装置和方法，并说明保持测试环境的恒温恒湿、利用谐振腔的传输特性曲线、改善膜层均匀性、采用高Q的谐振腔均可以减小测量误差。FBAR的典型应用是作为谐振器和滤波器，文中分析了FBAR的阶梯型、网格型、叠层型和耦合型滤波器基本结构，介绍了单个FBAR频率微调的方法，并在此基础上对WCDMA零中频Rx非平衡和平衡接收滤波器进行了分析设计。