cmos工艺名词解释
CMOS工艺
CMOS工艺英文全称是Complementary Metal Oxide Semiconductor ,互补金属氧化物半导体。是设计集成电路(模拟IC)最常用的一种工艺。其中C表示互补,MOS指的
是NMOS和PMOS。在稳态时只有一种MOS导通,因此基本无直流电流,静态功耗极低!将NMOS器件和PMOS器件同时制作在同一硅衬底上,NMOS制作在P型硅衬底,PMOS制作在N阱里面。CMOS工艺也细分很多种,不同代工厂的CMOS工艺不完全一样。为什
么叫互补?NMOS和PMOS在物理特性上是互补的;NMOS参与导电的载流子是电子,PMOS参与到导电的载流子是空穴;NMOS高电平开启,PMOS低电平开启;
深井工艺现在一般存在于BCD工艺中,作为浅掺杂的高压井使用,当然在CMOS工艺中增加deep NWell是隔离NMOS非常好的一个选择。
cmos工艺流程
cmos工艺流程
《CMOS工艺流程》
CMOS工艺是一种常见的半导体制造工艺,用于制造集成电
路芯片。CMOS工艺流程是制造CMOS集成电路芯片的一系
列步骤和技术,它包括了晶圆制备、光刻、沉积、腐蚀、离子注入、氧化、退火等多个步骤。
首先,在CMOS工艺流程中,晶圆制备是第一步。晶圆是用
来制作集成电路芯片的基础材料,一般是由硅材料制成的圆形薄片。在晶圆制备过程中,需要对晶圆进行去杂质、光洁处理以及刻蚀等多个步骤,以确保制造出来的芯片品质良好。
其次,光刻是CMOS工艺流程中的重要步骤之一。光刻是利
用光刻胶和掩模来形成芯片上不同结构的技术。通过光刻工艺,可以将芯片上的电路图形转移到光刻胶上,然后再进行蚀刻等步骤,最终形成所需要的电路结构。
此外,沉积和腐蚀是用来形成芯片上不同金属层和绝缘层的工艺步骤。通过沉积技术,可以将金属或绝缘材料沉积到晶圆表面形成所需的结构,而腐蚀则是通过控制化学反应的方式去除掉不需要的材料。
另外,在CMOS工艺流程中,离子注入是用来调制晶体材料
电学特性的一种方法。通过向晶圆表面注入掺杂剂,可以改变晶体材料的导电性能,从而形成不同类型的晶体材料。
最后,氧化和退火是用来形成绝缘层和修复晶圆晶格缺陷的工艺步骤。通过氧化技术,可以在晶圆表面形成绝缘层,以隔离不同电路结构。而通过退火技术,可以修复晶格缺陷,提高晶圆的品质。
综上所述,CMOS工艺流程是一种复杂而又精密的制造工艺,它是制造CMOS集成电路芯片的重要基础。随着半导体技术
的不断发展,CMOS工艺流程也在不断改进和完善,以满足
CMOS工艺名词解
saliside——当金属和硅化物接触时会产生一层融合物,叫难融金属硅化物,此及saliside。siliside——一种工艺,在源漏区淀积(或是叫覆盖?)硅化物,这样一种
工艺就叫siliside。
poliside——也为一种工艺,乃在栅极poly上淀积硅化物。
A.M.U 原子质量数
ADI After develop inspection显影后检视
AEI 蚀科后检查
Alignment 排成一直线,对平
Alloy 融合:电压与电流成线性关系,降低接触的阻值
ARC:anti-reflect coating 防反射层
ASHER: 一种干法刻蚀方式
ASI 光阻去除后检查
Backside 晶片背面
Backside Etch 背面蚀刻
Beam-Current 电子束电流
BPSG: 含有硼磷的硅玻璃
Break 中断,stepper机台内中途停止键
Cassette 装晶片的晶舟
CD:critical dimension 关键性尺寸
Chamber 反应室
Chart 图表
Child lot 子批
Chip (die) 晶粒
CMP 化学机械研磨
Coater 光阻覆盖(机台)
Coating 涂布,光阻覆盖
Contact Hole 接触窗
Control Wafer 控片
Critical layer 重要层
CVD 化学气相淀积
Cycle time 生产周期
Defect 缺陷
DEP: deposit 淀积
Descum 预处理
Developer 显影液;显影(机台)
Development 显影
DG: dual gate 双门
CMOS工艺流程讲解
CMOS工艺流程讲解
CMOS(互补金属氧化物半导体)是一种集成电路制造工艺,它采用了
一个特殊的技术,将p型和n型金属氧化物半导体结合起来形成互补结构。CMOS工艺在现代电子行业中得到广泛应用,其优势包括低功耗、高集成
度和低噪声。
首先是沉积步骤。在沉积步骤中,将硅片放置在真空室中,然后使用
化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)的方法,在硅片表面上沉积
一层薄膜。这一步骤通常用于形成电阻器、电容器和金属线等元件。
接下来是光刻步骤。在光刻步骤中,将光刻胶涂在硅片上,然后使用
光刻机将特定的图案投射到光刻胶上。通过控制光的入射角度和光的波长,可以将光刻胶中的图案传递到硅片上。这一步骤用于定义晶体管和其他元
件的形状和位置。
然后是刻蚀步骤。在刻蚀步骤中,使用化学或物理方法将硅片上不需
要的材料去除。这一步骤可以通过湿法刻蚀或干法刻蚀来实现。湿法刻蚀
使用化学液体来溶解或氧化硅片上的材料。干法刻蚀则使用等离子体或离
子束来去除材料。刻蚀步骤的主要目的是形成晶体管、连线和容量电极等
结构。
接下来是掺杂步骤。在掺杂步骤中,将特定的杂质加入到硅片中,改
变硅片的导电性质。掺杂可以通过离子注入或扩散来实现。离子注入是将
高能离子注入到硅片中,以改变硅片的导电性。扩散是将杂质物质放置在
硅片上,并通过高温使其扩散到硅片中。掺杂步骤的目的是形成电阻、电
容和电流源等元件。
然后是退火步骤。在退火步骤中,加热硅片使其结构稳定,并消除在之前步骤中产生的扭曲和杂质。退火步骤通常在高温下进行,并可以使用氮气或氢气来控制退火的速度和温度。
cmos工艺名词解释
CMOS工艺名词解
saliside——当金属和硅化物接触时会产生一层融合物,叫难融金属硅化物,此及saliside。siliside——一种工艺,在源漏区淀积(或是叫覆盖?)硅化物,这样一种
工艺就叫siliside。
poliside——也为一种工艺,乃在栅极poly上淀积硅化物。
A.M.U 原子质量数
ADI After develop inspection显影后检视
AEI 蚀科后检查
Alignment 排成一直线,对平
Alloy 融合:电压与电流成线性关系,降低接触的阻值
ARC: anti-reflect coating 防反射层
ASHER: 一种干法刻蚀方式
ASI 光阻去除后检查
Backside 晶片背面
Backside Etch 背面蚀刻
Beam-Current 电子束电流
BPSG: 含有硼磷的硅玻璃
Break 中断,stepper机台内中途停止键
Cassette 装晶片的晶舟
CD:critical dimension 关键性尺寸
Chamber 反应室
Chart 图表
Child lot 子批
Chip (die) 晶粒
CMP 化学机械研磨
Coater 光阻覆盖(机台)
Coating 涂布,光阻覆盖
Contact Hole 接触窗
Control Wafer 控片
Critical layer 重要层
CVD 化学气相淀积
Cycle time 生产周期
Defect 缺陷
DEP: deposit 淀积
Descum 预处理
Developer 显影液;显影(机台)
Development 显影
DG: dual gate 双门
cmos工艺技术
cmos工艺技术
CMOS(互补金属氧化物半导体)是一种集成电路制造技术,被广泛应用于制造微处理器、内存、数字电路和逻辑电路等电子设备。CMOS 工艺技术的基本原理是利用N型和P型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOS和PMOS)的互补性,通过控制栅极电压来使得晶体管导通或截止。
CMOS工艺技术有许多优点,包括低功耗、高集成度、低成本等。它的工作电压较低,可以有效地减少功耗,使得电池寿命更长。同时,CMOS电路的速度较快,适合用于高速数字信号处理。此外,CMOS工艺技术还可以实现高集成度,使得多个电路和器件可以在同一芯片上制造出来,提高了电路的可靠性和稳定性。
在CMOS工艺技术的实际应用中,需要经过多个步骤,包括光刻、刻蚀、掺杂、氧化等。其中,光刻是关键的一步,需要精确地控制光刻胶的厚度、曝光时间和角度等参数,以保证电路图形的准确性和精度。在制造过程中,还需要使用特殊的设备和材料,如光刻胶、掺杂剂、氧化剂等。
总之,CMOS工艺技术是一种重要的集成电路制造技术,被广泛应用于制造各种电子设备。它的出现不仅推动了电子工业的发展,也改变了人们的生活方式。
cmos 工艺
cmos 工艺
CMOS工艺是一种集成电路的制造工艺。它使用双极型(CMOS)晶体管,将晶体管、继电器和绝缘体以一种工艺加以封装,制成集成电路。与其他工艺(通常使用nMOS技术)相比,CMOS工艺能够实现更高的逻辑密度、更低的功耗和更少的电容成本。
CMOS工艺往往分为三个步骤:半导体处理、封装和测试。在半导体处理阶段,CMOS工艺会将双极晶体管和其他元件进行分层和排列,以形成完整的晶体管结构。在封装阶段,CMOS工艺将已经分层的晶体管和其他元件封装到一个封装中。最后,在测试阶段,CMOS工艺会检测集成电路的性能以确保其功能正常。
CMOS工艺能够实现芯片设计的高逻辑密度,更低的功耗和更少的电容成本。它还能够提高芯片的信号完整性、可靠性和可配置性。此外,它还可以使得芯片尺寸更小、功耗更低,从而更轻松地实现高速处理性能。
CMOS集成电路制造工艺
CMOS集成电路制造工艺
CMOS集成电路制造工艺是一种重要的技术,它在现代电子
技术中扮演着重要角色。CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)是一种半导体技术,它使用金属、氧化物和
半导体材料制造。CMOS技术广泛应用于各种集成电路中,
如微处理器、存储器和逻辑芯片等。
CMOS集成电路制造工艺主要包括以下几个步骤。首先是芯
片设计,设计师根据电路的功能需求绘制出电路图,并利用计算机辅助设计软件进行仿真和优化。然后,设计师将电路图转化成物理版图,包括电池、晶体管、电容等元件的布局和连线。在设计版图的过程中,要考虑电路的性能、功耗、功率和布线等因素。
接下来是掩膜制作,设计师将版图转化成透明光掩膜,用于制作半导体芯片。光掩膜是一种含有图案的玻璃或石英板,通过它将图案传输到硅片上。使用光刻技术,将掩膜放置在硅片上,并照射紫外线,使得只有被掩膜覆盖的区域透光。
随后是沉积工艺,沉积工艺主要包括金属、多晶硅和氧化物的沉积。这些材料是制造CMOS电路所必需的。沉积工艺可以
通过物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)等技术
实现。通过沉积工艺,可以形成金属导线、晶体管栅极、栅介质和电容等元件。
然后是刻蚀工艺,刻蚀是将多余的材料从芯片上去除的过程。刻蚀可以通过湿法刻蚀和干法刻蚀等方式实现。利用光刻技术,
通过掩膜的遮蔽作用,只有需要刻蚀的区域暴露在刻蚀液中。
最后是封装工艺,封装是将芯片保护起来,并连接到外部电路的过程。在封装过程中,芯片被放置在塑料或金属封装中,并与引脚连接。封装还可以通过硅酯树脂封装或无引线封装等方式实现。封装后的芯片将具有更好的机械强度和更高的可靠性。
cmos工艺技术沿革
cmos工艺技术沿革
CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)是一种
半导体工艺技术,用于制造微电子器件和集成电路。CMOS
工艺技术的沿革可以追溯到20世纪50年代,随着微电子技术的发展和应用,不断地得到改进和演变。
1950年代至1960年代初,最早的CMOS工艺技术主要集中在实验室环境中的研究。此时的CMOS器件受限于材料工艺和
制造方法的限制。晶体管的制造技术主要依赖于光刻和扩散工艺来确定电极和通道的位置和尺寸。
1960年代中期,随着CMOS技术的商业化,制造技术得到进
一步改进和提高。研究人员开始使用氧化物膜作为介质层来隔离电极和通道,从而提高器件的性能和可靠性。此时的
CMOS技术已经广泛应用于微电子设备和集成电路。
1970年代,CMOS工艺技术取得了重大突破。随着材料科学
和制造工艺的进步,研究人员开始使用多晶硅门电极和移动扩散法来制造CMOS器件。这种改进使得CMOS器件具有更高
的可靠性和更低的功耗,并大大降低了制造成本。
1980年代至1990年代,随着微电子技术的快速发展,CMOS
工艺技术得到了广泛应用。在这个时期,CMOS器件的尺寸
不断缩小,集成度不断提高,从而实现了更高的性能和更低的功耗。在这个时期,CMOS技术已经成为工业界的主流技术,并被广泛应用于计算机、通信和消费电子等领域。
2000年代至今,随着纳米技术的发展,CMOS工艺技术取得了更大的突破。纳米级晶体管的制造要求更高的精度和更复杂的制造工艺。研究人员开始使用新的材料和制造方法,如高介电常数材料、FinFET结构和III-V族化合物材料,来提高器件的性能和集成度。
CMOS制造工艺及流程
CMOS制造工艺及流程
CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)是集成电路制造中常用的工艺之一。CMOS工艺能够生产高性能、低功耗的集成电路,因此在现代电子设备中得到广泛应用。
CMOS制造工艺的流程通常包括以下几个步骤:
1. 基板制备:使用高纯度的硅片作为基板,通过化学机械抛光(CMP)和上下平整(CMP)等技术,将硅片表面制备成均匀平整的表面。
2. 氧化层制备:在硅片表面形成一层氧化层,通常采用热氧化或化学气相沉积(CVD)的
方法。
3. 光刻层制备:将一层光刻胶覆盖在氧化层上,然后使用光刻机将图形投影到光刻胶上,
并进行曝光、显影等步骤,形成光刻图形。
4. 清晰切割:使用等离子刻蚀工艺(RIE)或者激光切割等技术,按照光刻图形在氧化层
上进行切割。
5. 接触孔制备:在晶体管上形成源极、漏极等电极之间的接触孔,通常采用干法腐蚀或者
湿法腐蚀的方法。
6. 金属化层制备:在氧化层上形成金属化层,通常采用物理气相沉积(PVD)或者化学气
相沉积(CVD)的方法。
7. 集成电路封装:对制备好的集成电路芯片进行封装、测试等步骤,最终形成可用的芯片。
总的来说,CMOS制造工艺是一个复杂的工艺流程,需要在不同的步骤中采用不同的技术
和设备,而且对原材料的纯度和生产环境的洁净度也有很高的要求。随着技术的不断进步,CMOS工艺也在不断发展和完善,以满足现代电子产品对集成电路性能的不断提升的需求。CMOS制造工艺及流程的复杂性和精确性要求使得其成为集成电路行业中的关键工艺之一。下面我们将更深入地探讨CMOS制造工艺中的几个关键步骤。
cmos工艺流程
cmos工艺流程
《CMOS工艺流程》
CMOS工艺流程是集成电路制造中常用的一种工艺流程,它
由N型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOS)和P型金
属氧化物半导体场效应晶体管(PMOS)组成。CMOS工艺流
程主要用于制造数字集成电路和大规模集成电路。
CMOS工艺流程包括晶圆制备、沉积、光刻、蚀刻、扩散、
离子注入、金属化和封装等步骤。首先是晶圆制备,通过切割硅原料得到大尺寸硅晶圆,再经过精细加工和清洗得到表面平整、无瑕疵的硅晶圆。接下来是沉积,即将氧化层、硅层、金属层等材料沉积到硅晶圆上,形成各种必要结构。之后是光刻,通过照射光源和掩膜,在硅片表面形成要制作的结构。蚀刻则是用酸碱溶液溶解掉未被光照覆盖的部分,留下目标结构。扩散是将杂质掺入硅片,改变硅片的导电性能。离子注入则是用离子轰击硅片表面,改变硅片的电性能。最后是金属化,将金属导线沉积到硅片表面,连接各个部件。最终是封装,将芯片封装在塑料外壳中,以防尘、潮湿和机械损伤。
CMOS工艺流程具有制造成本低、功耗小、噪声小的优点,
所以被广泛应用于集成电路的制造中。随着技术的不断进步,CMOS工艺流程也在不断改进和完善,以满足人们对集成电
路性能和功能需求的不断提高。
cmos工艺流程
cmos工艺流程
CMOS工艺流程。
CMOS工艺是一种常用的集成电路制造工艺,它是由P型和N型MOS管组成的互补型金属氧化物半导体器件。CMOS工艺流程是指将电路设计转化为实际器件的制造过程,包括晶体管的制备、沟道控制、金属线的连接等步骤。下面将详细介绍CMOS工艺流程的各个环节。
首先,CMOS工艺流程的第一步是晶圆制备。晶圆是集成电路的基础材料,通常由硅材料制成。在制备晶圆的过程中,需要进行晶圆的清洗、抛光和去除杂质等步骤,以确保晶圆表面的平整度和纯净度。
接着,经过晶圆制备之后,就是光刻工艺。光刻工艺是将电路图案转移到晶圆表面的关键步骤,它使用光刻胶和掩膜板来进行光刻曝光,然后进行显影、蚀刻等步骤,最终形成电路图案。
然后,就是离子注入工艺。离子注入是将掺杂剂注入晶体管的沟道区域,以改变沟道的导电性能,从而形成N型MOS管和P型
MOS管。
接下来,是氧化层的生长。氧化层是用于隔离晶体管之间的绝缘层,它通常是通过高温氧化的方式在晶圆表面生长一层二氧化硅膜。
然后,就是金属化工艺。金属化是将金属线连接到晶体管的引脚上,形成电路的连线结构,以实现电路之间的连接。
最后,是封装测试工艺。封装测试是将晶圆切割成单个芯片,并进行封装和测试。封装是将芯片封装到塑料封装体中,并焊接引脚,以便与外部电路连接。测试是对芯片进行功能和可靠性测试,确保芯片的质量和性能符合要求。
综上所述,CMOS工艺流程是一个复杂而精密的制造过程,它涉及到多个工艺环节,需要精密的设备和严格的工艺控制。只有严格按照工艺流程进行制造,才能生产出高质量的集成电路产品。希望本文对CMOS工艺流程有所帮助,谢谢阅读。
CMOS集成电路工艺流程
CMOS集成电路工艺流程
1. 概述
CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)集成电路工艺是现代集成电路制造中最重要的一个工艺。它是一种将两种不同类型的金属-氧化物-半导体(Metal-Oxide-Semiconductor)结构结合在一起的技术。CMOS工艺流程包括多个步骤,如晶圆制备、掩膜光刻、扩散、腐蚀、沉积等。本文将介绍CMOS集成电路工艺的详细流程。
2. 晶圆制备
CMOS工艺的第一步是晶圆的制备。晶圆是一种材料,通常为硅(Si)。晶圆通过特殊的加工工艺变成整齐的圆盘形状,并具有所需的表面平整度。制备晶圆的过程包括抛光、化学清洗、去除杂质等步骤。
3. 掩膜光刻
CMOS工艺的下一步是掩膜光刻。掩膜光刻是将光刻胶涂覆在晶圆上,并使用特殊的掩膜技术将图案投影到光刻胶上。掩膜光刻主要包括以下步骤:
1.涂覆光刻胶:将光刻胶涂覆在晶圆表面,形成一层均匀的薄膜。
2.烘烤预处理:通过烘烤光刻胶来去除溶剂和增加光刻胶的粘度。
3.掩膜对位:将掩膜与晶圆对位,使得图案准确投影到光刻胶上。
4.曝光暴光:使用紫外光源照射掩膜和光刻胶,使得光刻胶在被曝光区
域发生化学反应。
5.显影:使用显影液将未曝光的光刻胶去除,暴露出光刻胶下面的晶圆
表面。
4. 扩散和离子注入
在CMOS工艺中,扩散和离子注入是制造P型和N型区域的关键步骤。这些区域用于构建晶体管等器件。扩散是将杂质原子(如硼和磷)引入晶圆表面,并通过热处理使其扩散到晶体内部。离子注入是使用加速器将所需的掺杂材料注入晶体表面。
cmos制造工艺流程
cmos制造工艺流程
CMOS(亦称为互补金属氧化物半导体)制造工艺是一种用于
制造集成电路的技术流程。以下是CMOS制造工艺的一般流程:
1. 取得单晶硅衬底:以硅材料为原料,通过化学或物理方法制备出高纯度的单晶硅衬底。
2. 衬底清洗:将单晶硅衬底通过一系列的化学清洗步骤,去除表面的污染物和杂质。
3. 生长氧化层:在单晶硅衬底表面沉积一层薄的二氧化硅
(SiO2)作为绝缘层,用于隔离电路的各个部分。
4. 形成门电极:通过光刻和蚀刻等工艺,在氧化层上制造出门电极的图案。
5. 形成导体层:在门电极上沉积一层导体材料(通常是多晶硅),并使用光刻和蚀刻工艺,制造出导线和连接器件的图案。
6. 衬底掺杂:通过离子注入或扩散方法向单晶硅衬底中掺入其他原子,改变其电性质,形成PN结或NMOS、PMOS晶体管
的源、漏区域。
7. 形成互连层:在导体层上沉积一层绝缘材料作为隔离层,通过光刻和蚀刻等工艺开孔,并通过金属沉积和蚀刻工艺,形成互连层,用于连接各个晶体管和电路元件。
8. 形成层间绝缘层:在互连层上再沉积一层绝缘材料作为层间绝缘层,隔离各个互连层。
9. 形成上层金属层:继续进行金属沉积和蚀刻工艺,形成上层金属层,用于提供更多的互连和功耗传输。
10. 形成保护层:最后加上一层绝缘材料作为保护层,用于保
护芯片表面。
11. 磊晶:在某些CMOS工艺中,还会执行磊晶工艺,用于沉积其他材料层,如硅锗合金,以提高晶体管性能。
总而言之,CMOS制造工艺是一个复杂的流程,涉及到多个步骤和工艺,以制造出集成电路的各个组成部分。每个步骤都需要高度精确和精密控制,以确保最终产品的质量和性能。
CMOS制作基本工艺
CMOS制作基本工艺
CMOS(互补金属氧化物半导体)是集成电路制造中最常用的技术之一、CMOS制作基本工艺是指制造CMOS集成电路所需的步骤和工艺条件。这些
步骤包括晶圆准备、沉积、光刻、抽膜、扩散、退火、腐蚀、金属沉积、
化学机械抛光、结构形成等。下面我将详细介绍CMOS制作的基本工艺流程。
首先,晶圆准备是CMOS制作的第一步。晶圆是纯度较高的硅片,通
常直径为8英寸或12英寸。该步骤的主要目的是对晶圆进行清洗和处理,以确保晶圆表面的纯净度。在此过程中,一些常见的工艺步骤包括去除晶
圆表面的脏污、去除氧化层等。
接下来是沉积技术。这一步骤是将各种材料沉积在晶圆表面上。例如,要制造MOS(金属氧化物半导体)结构,首先需要在晶圆表面上沉积一层
薄薄的氧化硅层。沉积技术可以通过几种方式实现,如热氧化、化学气相
沉积、物理气相沉积等。
在光刻步骤中,将使用光刻机将设计好的图案转移到晶圆表面。主要
分为三个步骤:光致裂解光刻胶(photoresist)图层,紫外辐照胶图案,显像。
抽膜是在制造过程中进行的一种步骤,其目的是去除不需要的材料。
其中最常用的抽膜技术是湿法腐蚀和干法腐蚀。湿法腐蚀通常使用硝酸或
氨水等化学物质进行,干法腐蚀则通过使用高能离子束或高能等离子体将
材料蒸发或剔除。
扩散是将特定材料引入晶圆中的过程。通过提供特定的温度和时间,
使得扩散源中的材料以一定速率扩散到晶圆内部。通过扩散,可以改变晶
圆表面材料的电子性质。
退火是在扩散过程中引入的,目的是为了降低残余应力和提高材料的
晶体质量。可以分为热退火和光退火两种方法。
名词解释cmos
CMOS(互补金属氧化物半导体)是一种重要的半导体技术,广泛应用于集成电路芯片的制造。在电脑主板上,CMOS芯片通常用来存储BIOS(基本输入输出系统)设置和硬件配置信息。因为CMOS是可读写的,所以它允许用户在计算机启动时通过特定的按键进入BIOS设置界面,对系统硬件参数进行配置。
此外,CMOS技术还用于制造各种传感器,如温度传感器和光传感器,以及图像传感器。在图像传感器领域,CMOS图像传感器(CIS)利用CMOS工艺将光敏元件和信号处理电路集成在一起,实现对光线的感知和信号的处理。CMOS图像传感器的优点包括低功耗、高集成度和低成本,因此它们在摄像头模组市场中占据主导地位。
CMOS技术的关键在于其N型和P型半导体在结构上的互补性,这种互补性使得CMOS 芯片能够高效地处理电信号。在数字电路设计中,CMOS晶体管被用来构建逻辑门和存储单元,实现数据的处理和存储功能。由于CMOS技术的这些特点,它成为了现代电子设备中不可或缺的一部分。
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CMOS工艺名词解
saliside——当金属和硅化物接触时会产生一层融合物,叫难融金属硅化物,此及saliside。siliside——一种工艺,在源漏区淀积(或是叫覆盖?)硅化物,这样一种
工艺就叫siliside。
poliside——也为一种工艺,乃在栅极poly上淀积硅化物。
A.M.U 原子质量数
ADI After develop inspection显影后检视
AEI 蚀科后检查
Alignment 排成一直线,对平
Alloy 融合:电压与电流成线性关系,降低接触的阻值
ARC: anti-reflect coating 防反射层
ASHER: 一种干法刻蚀方式
ASI 光阻去除后检查
Backside 晶片背面
Backside Etch 背面蚀刻
Beam-Current 电子束电流
BPSG: 含有硼磷的硅玻璃
Break 中断,stepper机台内中途停止键
Cassette 装晶片的晶舟
CD:critical dimension 关键性尺寸
Chamber 反应室
Chart 图表
Child lot 子批
Chip (die) 晶粒
CMP 化学机械研磨
Coater 光阻覆盖(机台)
Coating 涂布,光阻覆盖
Contact Hole 接触窗
Control Wafer 控片
Critical layer 重要层
CVD 化学气相淀积
Cycle time 生产周期
Defect 缺陷
DEP: deposit 淀积
Descum 预处理
Developer 显影液;显影(机台)
Development 显影
DG: dual gate 双门
DI water 去离子水
Diffusion 扩散
Doping 掺杂
Dose 剂量
Downgrade 降级
DRC: design rule check 设计规则检查
Dry Clean 干洗
Due date 交期
Dummy wafer 挡片
E/R: etch rate 蚀刻速率
EE 设备工程师
End Point 蚀刻终点
ESD: electrostatic discharge/electrostatic damage 静电离子损伤
ET: etch 蚀刻
Exhaust 排气(将管路中的空气排除)
Exposure 曝光
FAB 工厂
FIB: focused ion beam 聚焦离子束
Field Oxide 场氧化层
Flatness 平坦度
Focus 焦距
Foundry 代工
FSG: 含有氟的硅玻璃
Furnace 炉管
GOI: gate oxide integrity 门氧化层完整性
H.M.D.S Hexamethyldisilazane,经去水烘烤的晶片,将涂上一层增加光阻与晶片表面附着力的化合物,称H.M.D.S
HCI: hot carrier injection 热载流子注入
HDP:high density plasma 高密度等离子体
High-Voltage 高压
Hot bake 烘烤
ID 辨认,鉴定
Implant 植入
Layer 层次
LDD: lightly doped drain 轻掺杂漏
Local defocus 局部失焦因机台或晶片造成之脏污
LOCOS: local oxidation of silicon 局部氧化
Loop 巡路
Lot 批
Mask (reticle) 光罩
Merge 合并
Metal Via 金属接触窗
MFG 制造部
Mid-Current 中电流
Module 部门
NIT: Si3N4 氮化硅
Non-critical 非重要
NP: n-doped plus(N+) N型重掺杂
NW: n-doped well N阱
OD: oxide definition 定义氧化层
OM: optic microscope 光学显微镜
OOC 超出控制界线
OOS 超出规格界线
Over Etch 过蚀刻
Over flow 溢出
Overlay 测量前层与本层之间曝光的准确度
OX: SiO2 二氧化硅
P.R. Photo resisit 光阻
P1: poly 多晶硅
PA; passivation 钝化层
Parent lot 母批
Particle 含尘量/微尘粒子
PE: 1. process engineer; 2. plasma enhance 1、工艺工程师 2、等离子体增强PH: photo 黄光或微影
Pilot 实验的
Plasma 电浆
Pod 装晶舟与晶片的盒子
Polymer 聚合物
POR Process of record
PP: p-doped plus(P+) P型重掺杂
PR: photo resist 光阻
PVD 物理气相淀积
PW: p-doped well P阱
Queue time 等待时间
R/C: runcard 运作卡
Recipe 程式
Release 放行
Resistance 电阻
Reticle 光罩
RF 射频
RM: remove. 消除
Rotation 旋转
RTA: rapid thermal anneal 迅速热退火
RTP: rapid thermal process 迅速热处理
SA: salicide 硅化金属
SAB: salicide block 硅化金属阻止区
SAC: sacrifice layer 牺牲层
Scratch 刮伤
Selectivity 选择比
SEM:scanning electron microscope 扫描式电子显微镜
Slot 槽位
Source-Head 离子源
SPC 制程统计管制