PTH线操作指引

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2.4开启摇摆及各槽水洗打气开关,活化后水洗及加速后水洗打气开关打开。
2.5开启水洗循环水洗。
2.6关机步骤同开机步骤相反。
2.7沉槽铜打气及过滤开关,不能关闭,确保药液变质。
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文件编号
主题:PTH作业指导引
版本
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第2页共7页
生效日期
年月日
3、作业参数:
槽名
体积
药品成份
参数设定
操作时间
分析频率
5.10化孔沉铜每次首件板需作1次切片检查,如沉铜不良,通知工程师及时处理。
6、保养与维护:
6.1每日保养:
6.1.1每日更换各水洗槽。
6.1.2每日清洁槽壁及周围积水。
6.2每周保养:
6.2.1每周更换沉铜缸过滤棉芯一次。
6.2.2每周沉铜药液倒槽一次。
6.2.3除油,预浸。加速过滤棉芯每周更换一次。
3、加DI水至液位,搅拌至药品溶解,然后通知化验室分析调整。
6.9沉铜缸停产超过8小时后生产,需先调整分析药水,调整后需先拖缸后生产。
6.9.1拖缸方法:
6.9.2准备4-5块拖缸板,材料可用FR4光板厚1.0mm,并用刷机刷磨两次。
6.9.3照正常生产板沉铜流程至沉铜。
6.9.4拖缸30mim后,拖缸板在微蚀液内蚀刻表面铜并烘干,放置在干净处备
AC-1503L/1000㎡
15-20S
机械搅拌
双水洗
175LX2
0.5-1 min
10-15S
打气流动水
沉铜
100LX2
CU2+
NaOH
HCHO
温度
2.7g/L
11g/L
7g/L
28-32℃
CU2+:2.5-3g/L
NaOH:9-13g/L
HCHO:5-8g/L
30 min
3次/班CU-160A.B各1.8L/60-80平方尺
5.3在挂具上挂板或下板时,轻拿轻放,避免板皱折,并且需带手指套。
5.4生产时双逆水洗进水阀保持半开状态。
5.5预浸及活化缸不生产时应遮盖,防止杂质进入缸内污染药液。
5.6生产前生产板应检查,不应有油污及胶等异物。
5.7生产中随时检查设备是否正常。
5.8发现异常立即停止作业并报告相应管理人员解决。
5.9设备维修或维护时,生产开机需征得维修人员的同意,否则不得开机。
1次/班分析添加
15-20
加热循环搅拌
双水洗
175LX2
0.5-1 min
10-15
打气流动水
微蚀
175L
SPS
H2SO4
60g/l
4%
40-80g/L
3-5%
30-40S
1次/班分析添加
10-15
打气
双水洗
175LX2
0.5-1 min
10-15
打气/滚动水
预浸
175L
预浸盐
比重
1:130
1.116-1.42
3、加DI水至液位,搅拌至药品完全溶解,开示循环。
4、加入AT-140活化剂5.6L,再加入盐酸8L。
加速缸175L
1、加DI水到缸90%。
2、加入速化剂AC-15024L
3、加DI水至液位,搅拌均匀后,开泵循环。然后通知化验室分析。
沉铜缸100L
1、加DI水到缸70%,开启打气循环。
2、按顺序加入CU-160、8L后加入CU-160A、7L、再加入CU-160B、7L
预浸缸175L
1、加DI水到缸70%。2-加入PD-13035kg,再加入盐酸4.8L。
3、加DI水至液位,搅拌至药品溶解,开泵循环。然后通知化验室分析。
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主题:PTH作业指导引
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第7页共7页
生效日期
年月日
缸名
开缸操作步骤
活化缸
1、加DI水到缸90%
2、加入PD-13032kg(先后溶解后加入).
4.4各槽药液、液位是否足够,不够进行补加DI至液位,搅拌后分析调整。
4.5检查各药液参数是否在生产范围内。
4.6各加温槽提前预热。
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主题:PTH作业指导引
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页码
第4页共7页
生效日期
年月日
5、注意事项:
5.1加药,倒缸等接触化学药品的操作需戴防酸碱手套等防护用品。
5.2沉铜缸需24小时打气,循环。
6.2.4活化槽每三天更换棉芯。
6.3每月保养:
6.3.1 PI调整槽每升工作处理20㎡时或CU高于2g/L时换槽。
6.3.2除油槽每升工作处理20㎡时或CU高于1g/L换槽。
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主题:PTH作业指导引
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第5页共7页
生效日期
年月日
6.3.3微蚀槽当CU+大于20g/l时换槽.
6.3.4预浸槽当CU+大于1.5g/L时或药液变为绿色时进行换槽.
6.7.6用DI水冲洗缸壁1次,排净缸内水,装新棉芯,准备重新开缸。
注意:倒缸时必须清除过滤泵,过滤管脏物,铜粉等。棉芯如未到更期担必须用
DI水清洗干净。
6.8开缸方法:
缸名
开缸操作步骤
DI调整60L
1、加DL水至缸60% 2、加入DL调整剂20L
3、加入DL水至液位,搅拌均匀后通知化验室分析。
除油缸175L
用。
六、相关记录及表格:
1、PTH保养记录表
2、PTH药水添加记录表
3、PTH生产参数控制记录表
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主题:PTH作业指导引
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第1页共7页
生效日期
年月日
一、目的:
规范标准化作业参数及要求,满足生产需要。
二、范围:
适用于本公司PTH线手动操作人员。
三、定义:无
四、职责:
4.1主管负责落实与督导。
4.2组长负责监督操作人员按作业指导书要求操作。
4.3操作人员负责按作业指导书要求操作,并反映相关问题予上级。
1、加DI水到缸70%。2、加入CD-120除油剂:16L
3、加DI水至液位,搅拌均捂工泵循环。然后通知化验室分析。
微蚀缸175L
1、加DI水到缸80%(换缸时留1/3原缸液以保留铜离子)。
2、加入过硫酸钠16Kg(行先溶解后加入),再缓慢加入硫酸6.4L。
3、加DI水至液位,搅拌至药品溶解,然后通知化验室分析。
生效日期
年月日
6.7换缸步骤:
6.7.1关闭该缸打气及加热,摇摆。
6.7.2打开排液阀门,排净原药液,取出泵中过滤棉芯(排液前请通知设备部,
认后方可排液)。
6.7.3用清水冲洗缸壁1次,再用干净碎布擦拭缸壁及缸底脏污。
6.7.4清水冲洗2遍,排净缸内水。
6.7.5加入DI水至液位,开泵循环3-5分钟,排净缸内水。
4.4品质部负责监督生产部是否按作业指导书进行操作。
4.5工艺部负责制订作业指导书。
4.6维修部负责设备维修及维护。
五、作业程序:
1作业流程:
上挂篮PI调整双水洗除油双水洗微蚀双水洗
预浸活化双水洗加速沉铜水洗养板槽
2开关机步骤:
2.1打开总电源开关。
2.2打开控制面板上除油、活化加热开关。
2.3打开各药液槽过滤开关。
6.3.5活化槽当CU+大于1000PPM时进行换槽。
6.3.6加速槽每升工作液处理20-30M2时或CU+高于1g/L时换槽。
6.3.7沉铜槽每月更换一次。
6.4水缸清洗方法:
6.4.1放干原水缸之水。
6.4.2用湿布擦拭干净缸壁及缸底之水垢等脏污。
6.4.3清水冲洗二遍。
6.4.4加干净水至液位。
1-2 min
1次/班
PD-130A2.5kg/1000平方尺
15-20
机械搅拌
活化
175L
PD-130AT-140盐酸
温度
200g/L
40°C
1.116-1.142 3.5-5%活化强度(比色)
15 min
1次/班
PD-130A2.5kg/1000㎡、AY-140 1-1.5L/1000㎡
20-30
及添加量
滴液时间(S)
搅拌方式
设定值
控制范围
上挂篮
每格放1PNL,隔一错开插架。禁止板间重叠放置。
PI调整
60L
PI调整
0.7N
0.6-0.8N
2-5min
1次/班分析添加
10-15
双水洗
175LX2
0.5-1 min
打气
除油
175L
平整剂CD-120
温度
0.1N
60-70℃
0.08-0.12N
10-15 min
6.6.1关闭打气,用泵通过过滤将药液由沉铜缸抽入备用缸,备用缸先开打气。
6.6.2开循环过滤,分析药液浓度并调整药液至液位。
6.6.3清洗缸:用微蚀液清洗沉铜缸。必须祛除缸壁铜粉,然后用清水冲洗缸
至少3遍,再用DI水过滤清洗2遍,待用。
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文件编号
主题:PTH作业指导引
版本
页码
第6页共7页
6.5过滤棉芯更换方法:
6.5.1关闭过滤泵及泵进口出口阀门。
6.5.2打开滤缸,取出旧棉芯,换上己用DI水浸润的新棉芯。
6.5.3盖上顶盖后确认是否拧紧。
6.5.4开泵进口出口阀门及过滤泵,观察是否漏液,否则重新装配。
6.6沉铜倒缸方法:将沉铜缸药水倒入备用缸内(先将备用缸清洗干净,保证缸
壁、缸底无铜粉、脏物)。
机械搅拌/过滤循环
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主题:PTH作业指导引
版本
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第3页共7页
生效日期
年月日
槽名
体积
药品成份
参数设定
操作时间
分析频率
及添加量
滴液时间
搅拌方式
设定值
控制范围
双水洗
175LX2
0.5-1 min
打气
加速
175LX2
加速剂
AC-150
0.8N
酸当量在:
0.7-1.0N
1-3 min
1次/班
作业前添加CU-160A.B各1.5ML/L
10-15S
打气/循环过滤
水洗
175L
0.5-1 min
10-15S
打气/流动水
下板
下板时轻拿轻放.浸泡在0.5-1%的弱酸内,待镀铜.
4、作业前准备:
4.1检查水管连接处有无渗漏。
4.2检查进、排水总阀是否打开。
4.3各水洗缸循环水是否打开,缸内是否干净。
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