550X650涂胶机VCD机型

产品规格书Slit Coater
Rev．P1.3
1. 适用
本规格书是关于Photo Litho制造过程中的 Slit Coater的说明。

2. 设备构成
2-1. IN Stage
2-2. Coater + Cabinet
2-3. Robot Transfer
2-4. OUT Stage
2-5. Vacuum Dry
2-6. Robot Transfer
2-7. Frame
2-8. Controller
2-9. Utility
3. 基本规格
3-1. Substrate Size : 550mm(W)×650mm & 670mm (L) (±0.1mm)
3-2. Substrate Thickness : 0.33mm ～ 1.1mm (±0.05mm)
3-3. Substrate type : Glass基板
3-4. Line tact : 36秒/片
Nega Resist ：粘度 10cp 以下
：固体含量 20 % 以下
涂布速度为 40mm/sec的情况下达到以上标准3-5. Pass Line : FL + 1050mm +20mm -10mm
3-6. Layout ：从左到右
4.1 涂布规格
4-1. 涂胶液：Photo resist(Posi & Nega resist)
4-2. 粘度：1～20cps
4-3. 膜厚：0.8um ～ 2.0um
4-4. 膜厚精度：± 5 % （有效区域是从涂布端面15mm以内）
4-5. 涂布宽度：550mm 基准
4-6. 保障范围：从涂布开始15mm 以内± 5 %
4-7. 保障外：涂布开始15mm以外± 20 %
4.2 涂布工序
基板IN → Lift Pin Down → Nozzle 涂布位置→ Nozzle Down → Meniscus → Coating St
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→ Coating End → Nozzle Up → Nozzle H.P → Lift Pin Up
5. 设备外观尺寸
3700mm(W) X 4500mm (D) X 2000mm(H)
6. 构成规格 6-1. IN Stage 1) 基板搬运方式 : Roller Conveyor 2) Roller material : POM
3) 搬运速度
: 1.0m/min ～ 7m/min
4) Alignment accuracy
: ±0.5mm
5) Substrate Lift
：9 根 Air Cylinder Drive
6) Lift Pin material ： PEEK
6-2. Coater 1). 涂布方式
: Slit Nozzle
2). 涂布驱动方式 : Y-Axis Linear Motor + Linear Guide Z-Axis Plus motor + Linear Guide 3). 动作速度 : Y 轴 5mm/sec ～500mm/sec
4). 动作 Stroke
: Z 轴 20mm Z-Axis 20mm
5). 涂布Gap 精度 : ±5μm
6). 涂布速度 : 5mm/sec ～100mm/sec(标准 standard)
7). Table Size
: 770mm ×640mm (Plan) 8). Table 平面度
: 5μm 以下 9). Table 材质 : Granite
10). 基板保持 : 真空吸着（Pump 内藏） 11). Nozzle Qty : 1个 12). 涂布液系统 :１系统
13). 涂胶液供给方式 : Syringe Pump (Plus Control)
14). 涂布量设定 : Touch Panel recipe establish
15). 加压容器
: Canister Tank in Gallon Bottle + Wight sensor
16). Nozzle Cleaning
: Wiper type 17). Rinse 液供给方式 : Pressure Tank 18). Rinse 容器 : 1个18L SUS 19). 废液回收 : P.E Tank
20). 废液容器
: 1个 20L PE 21). 废液满杯检测
: Flow switch
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22). Lift Pin
: 9
本 Motor Drive 23). Lift Pin Stroke : 60mm(max) 24). Lift Pin 材质 : PEEK(先端部) 25). 基板 Slip 防止
: Option
6-3. Robot Transfer 1). Robot Maker ： ATELE
2). 搬运方式
： 4轴同时圆筒坐标控制 Robot
3). 搬运速度 ： 1000mm/sec (MAX) 4). Transfer Arm Q ’ty
： 2 Arm Double Hand type
： Hand Layout 后续提交 5). 动作范围
： R 轴 1200mm ： θ 轴 330°dge ： Z 轴 810mm
6). 重复精度 ： ±0.5mm 7). 基板支撑 : 里面4点支撑、支撑位置固定 8). 基板感应器（Sensor ）
： 有
6-4. OUT Stage 1). 接受方式 ： Pin × 9 根 2). Pin material ： PEEK 3). Pin Height
： FL 1000mm 4). 基板感应器（Sensor ）
： 有
6-5. Vacuum Dry 1). 干燥方式 : Dry Pump + Mechanical Booster Pump
(樫山工业制造) 2). 到达压力 : 1.33Pa order 3). 压力 Sensor : CCMT-0010A 4). 压力设定数 : 3 Point
5). 基板支撑 : 支持 Pin (Pin Position 可变) 6). Pump Purge : N 2 (Purge Timing 设定) or CDA 7). 大気開放 : N 2 (流量设定) or CDA, Slow Vent 8). Chamber Material
: AL
9). 封面Seal : O-Ring(FKM)
10). Chamber Q ’ty
: 2 Chamber
11). Lower Chamber Height ： FL 1000mm
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12). Second Chamber Height ： FL 1500mm
6-7. Frame
1). Frame material
: 一般构造用角形钢管鋼管（焊接构造） 2). 涂装色 ： Mancell 5GY8.5/0.5
3). Panel material ： SUS304 #400 (one side polished) 4). Caster
： 4轮自在型 5). Adjuster : 4处以上 + 底板 6). Booth Frame 材质
：SUS304,#400研磨
7). 外装门材质 : PVC （anti static plate ）Clear 8). 顶部板面材质 : AL
9). Clean Unit
: HEPA Filter
6-8. Controller 1). Control : PLC （三菱制造 MELSEC Q-Series ） 2). Control Panel : Touch Panel(三菱制造) 3). 控制盘
: 外部设置
4). Signal Tower
: Conform to your spec.3color (PATLITE)
6-9. Utility 1). 电源 : φ3 380V 50Hz 40KVA
Down Transfer AC200V 3相 80A 接线端子 2). CDA : 0.5MPa 50NL/min Rc1/4 3). N 2 : 0.3MPa 100L/min SWAGELOK 1/4” 4).排气
: SP=0.3Kpa 15m 3/min
100A & 50A
7. 提交资料 1). 最终规格书 2). 检查成绩书 3). 附属零件 list 4). 消耗品list 5). 购入品list 6). 操作说明书 7). 设备组装外观图 8). 空气排管图 9). 电源配线图
10). Soft ladder drawing with description.
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11). Trouble Shooting
Clean Paper ：1 set 普通纸 ：1 set
8. 质保
贵工厂、验收后一年
9. 验收条件
以提交的<<验收条件书>>为基准进行验收。

备注：如有歧义，以双方签章的日文版原文为准！。