第4章 来料检验 习题(高级)

第4章来料检验习题（高级）
一、填空题
1、目前坩埚检测就是检测其_______________、_______________和_______________，其中顶部宽和高度使用_______________进行测量，壁厚利用_______________进行测量。

2、碳化硅主要利用贝克曼和马尔文对其_______________分布和_______________进行检测，其颗粒度分布要求参照公司相关标准。

3、按照公司切割液的相关标准需要检测的项目包括密度、_______________、_______________、PH值、_______________、_______________。

4、钢线的直径可以利用_______________进行检测，万能材料试验机可以检测钢线的_______________、抗拉强度、断后伸长率、_______________等。

5、电感耦合等离子体质谱仪的检出限为_______________级，电感耦合等离子体发射光谱仪的检出限为_______________级。

6、激光线径仪测量采用了光的_______________现象；水分仪的工作原理为_______________。

7、电导率仪的测量原理是将两块平行的极板，放倒被测溶液中，在极板的两端加上一定的电势，然后测量极板间流过的_______________。

8、抽检方法：具体按GB/T2828.1-2003标准进行检验，样品性能检验按特殊检验水平S-2抽检执行，AQL=____________。

外观检验按一般检验水平Ⅱ抽检执行，AQL=_____________。

9、贝克曼库尔特颗粒度仪的测量范围是_______________；流动型直方图分析仪的测量范围是_______________。

10、轮廓仪可以检测开方和切片用导轮的_______________、开槽深度、_______________。

二、判断题
1、质量检验的只能就是鉴别、把关、报告、记录。

（）
2、全检就是全数检查。

（）
3、抽检就是抽样检查。

（）
4、ABC管理法通常也叫重点管理法。

（）
5、一组数据是否是常态分布可否计算Cpk没有因果关系。

（）
6、检料检验的抽样标准时采用的GB2828。

（）
7、抽样接收水准是指AQL。

（）
8、质量就是质量部门的质量。

（）
9、质量异常时就交领导分析解决。

（）
10、品质成本包括鉴定成本，预防成本，失败成本和运营成本。

（）
三、简答题
1、简述各种异常多晶硅料及其形成原因。

2、简述电感耦合等离子体质谱仪和电感耦合等离子体发射光谱仪工作原理。

3、简述激光线径仪工作原理。

4、画出来料检验流程图，并作简要介绍。

5、简述个人对于IQC工作的认识。

6、谈谈个人对于如何提高来料合格率的看法。

附部分答案：
一、填空题
1、顶部宽；壁厚；外部高度；卷尺；游标卡尺。

2、粒径；粒型。

3、粘度；水分含量；电导率；折光率。

4、激光线径仪；破断拉力；弹性模量。

5、ppt ；ppb。

6、衍射；卡尔-费休库伦法。

7、电流。

8、2.5 ；1.0 。

9、2-60μm；
0.5-200μm。

10、槽距；开槽角度。

二、判断题
1-5 √√√√×6-10 √××××
三、简答题
1、（1）表面变色：为多晶硅表面颜色有一定差异，某些部位颜色呈现深灰色。

（2）夹层：可以分为温度夹层和氧化夹层。

硅多晶横断面上晶粒呈枝蔓状或径向辐射生长，但有时可以观察到以硅芯为中心的年轮状结构，成为温度圈。

它是由于结晶致密度、晶粒大小不同或颜色的差异而形成。

严重的温度圈易形成疏松的夹层。

温度夹层形成的原因是氢还原或热分解反应过程中，较大幅度的温度波动，使硅棒表面气相沉积速率不同所致。

氧化夹层与温度圈类似，呈同心圆层状结构，并以氧化硅为界限。

由于氧化程度的不同，氧化硅的颜色可能呈灰白色、棕黄色或深褐色等。

氧化夹层形成的原因是反应气体或反应系统中，残留有较多的水分和空气，高温下发生氧化反应，生成的氧化硅附着于硅棒表面，随后在被氧化的表面上继续生长硅多晶，形成了氧化夹层。

（3）硅芯脱落：为硅芯同生长层未能融合生长，有分层现象，容易剥落。

硅芯表面不洁净，清洗或者安装过程有污染。

此外，硅芯表面温度低就开始沉积生长，生成的是无定形硅（氧化硅）。

严重的形成疏松夹层，在其内部容易存在携带杂质，给多晶硅锭制备前多晶料的清洁处理带来困难。

（4）熔焦：为桥架空洞熔化，桥架截面的下半部分硅熔化流出，产生空洞。

连桥夹角处结晶粒粗大，有返熔晶体。

熔焦形成的原因为桥架处温度过高，爆米花密集生长，电阻不稳定导致烧熔。

夹角处辐射温度过高，气流速度不够，形成局部过热。

氢还原或热分解反应
过程中，进料不均匀，有较大幅度的温度波动，使硅料表面气相沉积速率不同所致。

（5）表面脏污：为多晶硅表面有类似铁锈的物质。

（6）表面异常：出现在桥连转弯处，硅棒表面有小尺寸条状，粒状硅颗粒聚集，表面呈现粗糙毛刺。

表面异常形成的原因为停炉过程中三氯氢硅同氢气配比不稳定，温度不稳定，导致表面沉积反应过于剧烈。

停炉后料阀关闭不严，或反应器内剩余有残余物料，在低温时形成晶粒或针状硅吸附在表面。

2、ICP-MS技术是80年代发展起来的新的分析测试技术，它以将ICP的高温电离特性与四极杆质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种新型的最强有力的元素分析、同位素分析和形态分析技术。

感耦合等离子体发射光谱分析是以射频发生器提供的高频能量加到感应耦合线圈上，并将等离子矩管置于该线圈中心，因而在矩管中产生高频电磁场，用微电火花引燃，使通入矩管中的氩气电力，产生电子和离子而导电，导电的气体受高频电磁场作用，形成与耦合线圈同心的涡流区，强大的电流产生的高热，从而形成火炬形状的并可以自持的等离子体，由于高频电流的趋肤效应及内管载气的作用使等离子体呈环状结构。

样品由载气带入雾化系统进行雾化，以气溶胶形式进入等离子体的轴向通道，在高温和惰性气氛中被充分蒸发、原子化、电离和激发，发射出所含元素的特征谱线。

根据谱线的存在与否，鉴别样品是否含有某种元素，根据特征谱线强度确定样品中相应元素的含量。

3、激光线径仪的工作原理为：由于材料线切作用，光线偏离产生了衍射现象。

当电线被置于准直单色激光源时，在电线直径的两侧就会出现对称效果，就像两束相干光源，产生出与电线垂直的干涉仪的条纹。

条纹的周期是由电线的直径直接决定的。

光学系统将条纹信号集中在线性CCD传感器上。

由于衍射现象和光学系统，传感信号不受电线位置的影响，只要电线和传感器的面相互垂直。

条纹信号来自于射线的角度偏差。

来自于所有激光源的平行射线集中于放置光掩模的CCD中心。

所有电线分离出的射线、反射和衍射在同一角度方向上，集中在CCD传感器的相同位置。

当电线振动时，条纹信号的位置和条纹周期将不改变。

电线的真实椭圆度是在连续旋转电线180°的条件下测得的。

4、（1）报检：物资部采购人员在完成物料采购后，由供方送货员将采购的物料按要求送到我司指定的待检区，并由公司的卸货搬运队负责将物料卸在待检区并堆放整齐。

同时供方送货员到采购管理处开具《供方送货单》后交仓库，由仓库提交品质管理部进货检验（IQC）报检。

（2）检验实施：IQ C人员收到仓库提交的原辅料进货报检单和供方提供的检验报告，首先核对所检原辅料是否在供应商名录表，若不在名录表中，等待总师办及车间试验结果。

若在名录，核对供方检验报告与我司标准要求是否一致，若供方报告不符，及时反馈供应商管理
工程师（SQE）。

抽检方法：具体按GB/T 2828.1-2003标准要求，一般物料样品尺寸、性能检验按特殊检验水平S-2抽检执行，AQL=2.5。

外观检验按一般检验水平Ⅱ抽检执行，AQL=1.0。

液体及酸按照GB/T 3921-2006化学试剂采样及验收规则。

原料按照技术标准要求执行。

（3）检验结果确认：检验人员检测完成后，根据检测结果进行判定。

检验合格的产品判定结论由检验员在检验报告上盖章确认；常规检验不合格物料，需在检验完成后半日内完成检验报告内容；报告需包括报检/检验日期、不合格质量特性等级判定、不合格物料数量等。

进货检验人员在收到《供方送货单》后，常规检验4小时内将检验结果发送仓库人员，不合格物料通知SQE、采购管理人员、仓库人员。

对物料检验周期大于4小时的，以一个检验周期时间为限。

针对多批物料同时报检，由生产管理部门提供物料的紧急度，进货检验按物料的紧急程度安排物料的检验顺序，如未提供紧急度或紧急度相同，则按检验周期顺延。

（4）物料处理：经检验合格的物料，由IQC填写合格物料标识卡，检验员盖章，张贴在对应的物料或其外包装上。

仓库管理人员收到检验部门的检验确认后，将检验后的物料入库。

5、略。

6、略。