压电驱动法布里-珀罗腔可调光学滤波器件及制作方法[发明专利]
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专利名称：压电驱动法布里－珀罗腔可调光学滤波器件及制作方法
专利类型：发明专利
发明人：向民,吴亚明,李毅,王跃林
申请号：CN03128875.8
申请日：20030526
公开号：CN1456923A
公开日：
20031119
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明提供一种法布里－珀罗(FP)腔可调光学滤波器件及制作方法。
其特征在于将压电驱动方式的稳定性同MEMS批量加工的优势结合起来，并采用特殊的阻挡块结构设计保证腔体两平行镜面的平行度，降低了装配难度，从而保证器件性能。
所提供的FP腔体由分解的二块压电块，一上高反膜和一下高反膜构成。
上高反膜或为平面型或为凹的球面、柱面或为凹的近似球面、柱面，分别形成平面型或“平凹型”FP谐振腔。
本发明工艺，结构简单，成本低廉，没有细梁等易受外界影响的部件，体积小，易于大批量制作，器件稳定可靠，性能优异。
申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址：200050 上海市长宁区长宁路865号
国籍：CN
代理机构：上海智信专利代理有限公司
代理人：潘振甦
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