基于机器视觉石英晶片外观的缺陷检测方法

基于机器视觉石英晶片外观的缺陷检测方法
张铁;邝健麟
【期刊名称】《机械科学与技术》
【年(卷),期】2013(032)010
【摘要】针对石英晶片的外观缺陷检测技术的不足,提出一种基于机器视觉开发软件对石英晶片外观缺陷检测方法,对石英晶片生产过程中出现的外观缺陷进行了分析,提出了缺陷检测的流程,建立了基于几何特征的模板定位算法和基于Blob算法的缺陷分析算法,实现了对图像的获取、边缘检测、定位、识别和斑点分析,在C#环境下对其图像处理技术利用机器视觉软件进行了开发,搭建了石英晶片的外观缺陷检测实验平台,通过摄像机实现了石英晶片的外观图像的捕获,利用视觉软件获得石英晶片的外观质量,最后对此系统进行了测试.实验表明:该石英晶片外观缺陷检测方法具有检测速度快、精确度达到99.7％、匹配误差小于0.3等优点,可满足现场使用的要求.
【总页数】6页(P1555-1560)
【作者】张铁;邝健麟
【作者单位】华南理工大学机械与汽车工程学院,广州510640;华南理工大学机械与汽车工程学院,广州510640
【正文语种】中文
【中图分类】TP273
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