晶体结构 (附件5 材料分析)

SEM AFM

图7 楔形结构的显微照片 图

8 楔形结构表面AFM 测试结果

SEM

上DBR

n 电极

p 电极

n 电极

吸收层下DBR

空 气 腔

悬臂

FIG. 1. SEM image of the cross-section of the bonded InP/GaAs pair.M

光学显微图像XRD

图1（a）GaAs/InP直接外延晶片表面的照片；（b）相应的XRD测试结果

（a）（b）

图2（a）GaAs/InP刻槽外延晶片表面的照片；（b）相应的XRD测试结果

TEM

（a）

（b）

图3（a）GaAs/InP直接外延InP外延层截面的HRTEM照片；（b）相应的电子衍射图样

XRD

FIG. 2. XRD θ-2θ scan of the (a) as grown, and (b) bonded In0.53Ga0.47As/InP MQW

PL

FIG. 3. PL spectra observed at 300K for the (a) as grown, and (b) bonded In0.53Ga0.47As/InP MQW layer.

SIMS

XPS