特气工艺流程图
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天然气罐
冷却器
精馏塔
精馏塔
产品罐
压缩机
充装排
O2、N2
钢瓶（产品）
C2H6
C3H8
甲烷提纯及充装工艺流程图
Sih4
配气排
钢瓶集装格
N2
液氮缓冲电子秤
气化器
液氮贮罐
低温泵
硅烷加氮混配流程
PH3
钢瓶
配气排
钢瓶
H2
钢瓶PH3/H2混配流程
液氩贮罐
低温泵
汽化器
CH4
钢瓶
配气排
钢瓶
Ar
缓冲缸CH4/Ar混配流程
低温贮缸
LNG残液
精馏塔一
精馏塔二
产品罐
压缩机
充装排
钢瓶
（粗丙烯）
（产品）
低温贮缸
LNG残液
精馏塔一
精馏塔二
产品罐
压缩机
充装排
钢瓶
丙烯提纯充装图
乙烷提纯充装图
放空
有
检查余气
汇流排
烘箱加热抽真空充Fra bibliotek气置换无
充氩气
加热抽真空
处理合格钢瓶
真空下关闭瓶阀
钢瓶处理流程
冷却器
精馏塔
精馏塔
产品罐
压缩机
充装排
O2、N2
钢瓶（产品）
C2H6
C3H8
甲烷提纯及充装工艺流程图
Sih4
配气排
钢瓶集装格
N2
液氮缓冲电子秤
气化器
液氮贮罐
低温泵
硅烷加氮混配流程
PH3
钢瓶
配气排
钢瓶
H2
钢瓶PH3/H2混配流程
液氩贮罐
低温泵
汽化器
CH4
钢瓶
配气排
钢瓶
Ar
缓冲缸CH4/Ar混配流程
低温贮缸
LNG残液
精馏塔一
精馏塔二
产品罐
压缩机
充装排
钢瓶
（粗丙烯）
（产品）
低温贮缸
LNG残液
精馏塔一
精馏塔二
产品罐
压缩机
充装排
钢瓶
丙烯提纯充装图
乙烷提纯充装图
放空
有
检查余气
汇流排
烘箱加热抽真空充Fra bibliotek气置换无
充氩气
加热抽真空
处理合格钢瓶
真空下关闭瓶阀
钢瓶处理流程