非规则碲锌镉晶片的抛光方法[发明专利]

专利名称：非规则碲锌镉晶片的抛光方法
专利类型：发明专利
发明人：侯晓敏,李振兴,刘江高,张瑛侠,吴卿,刘铭,折伟林申请号：CN202011190271.X
申请日：20201030
公开号：CN112372377A
公开日：
20210219
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种非规则碲锌镉晶片的抛光方法。

抛光方法基于抛光设备实现，抛光设备包括：相对且间隔设置的上抛光盘和下抛光盘；至少一个游轮片，位于上抛光盘与下抛光盘之间，每个游轮片设有多个通孔，每个通孔适于容纳一个非规则碲锌镉晶片；驱动装置，用于控制游轮片运动；调节装置，用于调节上、下抛光盘对非规则碲锌镉晶片的压力；抛光方法包括：在上抛光盘朝向下抛光盘的一侧固定上抛光布，在下抛光盘朝向上抛光盘的一侧固定下抛光布；将经过研磨工艺后的多个待抛光非规则碲锌镉晶片依次放置于游轮片的通孔内；在上、下抛光布上喷洒抛光液，并设定调节装置的相关参数，启动驱动装置，以实现多片晶片上下表面同时抛光。

申请人：中国电子科技集团公司第十一研究所
地址：100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号
国籍：CN
代理机构：工业和信息化部电子专利中心
代理人：罗丹
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