飞秒激光在玻璃中诱导析出金属或半导体纳米晶的方法[发明专利]

专利名称：飞秒激光在玻璃中诱导析出金属或半导体纳米晶的方法
专利类型：发明专利
发明人：林耿,骆芳芳,邱建荣,赵全忠,俆至展
申请号：CN201010232410.0
申请日：20100721
公开号：CN101891377A
公开日：
20101124
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：一种飞秒激光在玻璃中诱导析出金属或半导体纳米晶的方法，包括下列步骤：①制备具有可激光诱导析出金属或半导体纳米晶的母玻璃；②将母玻璃切成块状，并进行六面抛光，该抛光的母玻璃置于三维平移台上；③选择激光脉冲宽度为40fs～1ps、波长为800nm、重复频率为250kHz的飞秒激光作光源，发出的激光束经过聚焦后，焦斑的功率密度大于10W/cm，使激光束聚焦于所述的母玻璃上述表面经过抛光的母玻璃内部；④进行激光照射，计算机同步控制所述的三维平移台的运动和激光聚焦位置，以在所述的玻璃内部诱导析出含有相应的纳米晶的三维微结构。

申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
地址：201800 上海市800-211邮政信箱
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
代理人：张泽纯
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