滑片式真空泵ppt课件
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– 真空泵性能和真空系统性能是两个概念。
机械真空泵规格及型号
参见标准：JB/T 7673-2011《真空技术 真空设备型号编制方法》
机械真空泵型号示例
变容式机械泵的抽速分档：0.5、1、2、4、8、15、30、70、150、300、600、 1200、2500、5000、10000、20000、40000。
• 2、清洗。不宜浸洗，以免洗液进入拼接转了内部，不易 排出。
• 3、拆装。要按照使用说叫书推荐和规定有序进行，记好 位置，合理摆放，以免错装。
故障判断与诊断例举
• 3漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放 油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处， 气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安装不当， 损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起 。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会 漏油。 自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设 计形状，密封面太大时压不紧会漏油。
真空知识
1、真空基础知识
（1）真空单位换算 重点换算单位：Pa，mbar(hPa)，MPa，mmHg，大气
压 1mmHg=133Pa, 1mbar(hPa)=100Pa, 1MPa=106Pa
（2）绝对压力与相对压力 绝对压力（也称为绝压），即以“绝对的真空”(自
然界中没有绝对的真空，理论上才能达到的绝对真空)为 零位，标出的数值都是正值，这个数字越小，越接近绝对 真空，也就是绝对压力越小，真空度越高。
相对压力（也称为表压），即以大气压作为零位，低 于大气压的用负值表示，所以叫“负压”。这个负值的绝 对值越大，则真空度越高。
应该充分理解绝对压力与相对压力的概念并熟练换算 例：60mmHg＝-700mmHg＝-0.093MPa
真空知识
真空表，U形真空计，测得是相对压力，麦氏真空计，电子 真空测出的是绝对压力？
故障判断与诊断例举
• 6极限压力不达标。
– 6.1可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、 有水汽等可凝性物质、仪器仪表失真、泵运转不正常等引起。 外漏较多时，排气口可看到白色蒸汽。油标处有较多气泡，手 在排气口上可感到排气压力。低级排气阀处油面有较多气泡。 功率会有所增加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。
• 极限压力（Ultimate pressure）：在标准测试条件下，不引入气体正常工作 条件下，趋向稳定的最低压力。
• 启动压力（Stating pressure）: 泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。 • 前级压力（Backing pressure）:排气压力低于一个大气压，真空泵的出口压
力。 • 最大前级压力（Maximum backing pressure）:能使泵损坏的前级压力。 • 最大工作压力（Maximum working pressure）:对应最大抽气量的入口压力。 • 抽气量（Throughout of vacuum pump）:流经泵入口的气体流量。 • 压缩比（Compression ratio）:泵对给定气体的出口压力和入口压力之比。
• 4漏水可以发生在水管接头，水套闷盖平面，放水孔螺塞 ，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致 漏水。
• 5大功率超标。可由长期连续作入口压力太高、排气压力 太高、杂物进人发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太 小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏 。应尽量避免在最大功率附近长期连续运转。如果表面有 沉积物，要定期拆开清除。
其他注意事项
• 1、有些泵有油泵，有油分离器，有油路上的单向阀，有 消雾器，有入口过滤器(防油蒸汽返流用)，有入口灰尘过 滤器等部件或附件，也要进行检查。油泵失效将使泵的润 滑和密封失效，消雾器失效，有可能使排气压力升高，功 率加大，损坏电机，入口过滤器失效可使进气阻力增大， 抽速下降，抽气效率下降。
旋片式真空泵工作原理
• 旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为 1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分别不 得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。 旋片泵主要 由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔 内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切(二 者有很小的间隙)，转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋 转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保 持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
• 为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规定转向 把泵内存油用手盘到油箱中。同时查看油位，应在油标中 心以上，但不要满油标，多了要放出。判断转向的辅助方 法。把护套倒放在泵口上，如开泵后被吸住，是正向，被 吹落，是反向。声音正常是正向，声音异常响是反向。
• 相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时，应使 用气镇阀。
旋片式真空泵工作原理
• 两个旋片把转子、泵腔 和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B 、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容 积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相 通的空间C的容积 是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小 的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀)，气体 压强降 低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气 体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始 被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气 压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中 。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道 而转入另一级(低真空级)，由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排 至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提 高了极限真空度。
真空泵应用方面
• 粗低真空
•食品行业 •化工行业 •冷冻干燥 •轻工行业 •制药行业 •导电(真空放电灯具)
• 超高真空
•空间模拟 •材料科学分析 •物理现象研究 •表面分析 •高纯材料制备(如
MBE)
高真空
•冶炼 •真空热处理、真空焊接 •集成电路、半导体制造 •各种镀膜工艺 •各种表面加工工艺 •化学研究 •离子注入 •隔离作用（绝热）
真空泵的使用范围
旋片式真空泵工作原理
• 旋片式真空泵工作原理 旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式 机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空 泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级 泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油 及医药等生产和科研部门。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体， 若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除 含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒 尘埃的气体。旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片 泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构 上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度 。
故障判断与诊断例举
• 6.3如果泵油清洁，长期存放未用，可开气镇阀净化泵内 水汽。若无效，要检杏仪表。若泵油发黄发白已乳化，可 全开气镇，调大气镇量净化运转，必要时可在泵口放入适 量气体运转，可加快净化过程。若抽入其他挥发性气体或 液体，要及时换油，必要时请洗油箱。有些泵，在级间气 道里会沉积泵液，为取得好的换油效果，要设法把沉积泵 液排出。
真空泵定义
• 2、真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真 • 空环境的装置。 • 解释： • • 真空泵的工作原理：机械、物理、化学。 • • 真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。 • • 真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。 • • 真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。 • 解释： • • 真空泵的工作原理：机械、物理、化学。 • • 真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。 • • 真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。 • • 真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。
• 2泵温太高。指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明书规定 值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使泵油的饱和蒸汽压升 高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降；使橡胶件容易老化；热膨 胀使运转间隙缩小，特别是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间 隙，影响泵运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高， 进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入口压力太高； 水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等 。
– 6.2由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现 象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油 杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间 隙、排气阀座平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进 气管、气镇阀密封件等引起。磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙 加大。油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱 密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀 可能失效。
机械真空泵性能参量
• 几点说明：
– 实际应用中真空泵的抽气速率和极限压力是 真空泵选配的最重要参量；
– 真空泵的性能测试必须严格按照相关国家标 准规定的项目和测试条件来执行；
– 性能测试标准由国标、部标、企业标准几个 等级；
– 真空泵在不同使用条件下，强调的性能参数 是不同的；
– 对于不同类型真空泵，所需测试的项目差别 很大；
故障判断与诊断例举
• 7、噪声。泵的结构设计，电机与泵轴承的噪声，旋片等 运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声 、进气量大，开气镇运转、挡油板等泵内零件松动，安装 不平等引起振动，都会影响泵的噪声。
• 8、喷油。防止喷油用的油盒回油孔的大小、位置、密封 状况,挡油板的设计、安装,排气口部分的减雾器、挡油帽 、气分离器，油位的高低，进油量的大小，都会影响泵的 喷油，泵门敞开抽大气时，直联泵排气口的气流速度可以 高达30m/s，吹开油面时，泵内的循环油和气流带出的油 就将考验防止喷油的各项措施。
• 6.4极限压力是用座式压缩式水银真空计测量的。用经校 准的热偶真空计等全压力计测量时，测得值会增加。注意 热偶真空计的规管要配对校准。建议备用一只同时校准的 规管，以备怀疑规管污染失真时进行对比。极限压力升高 会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高 。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和 极限全压力升高的故障。
真空系统的组成
1真空室 2高真空泵（主泵 ） 3预抽泵 3a前级泵 4高真空阀门 5低真空阀门 6前级管道 7放气阀 8低真空计 9高真空计
真空泵的类型（按真空获得方式）
常见机械真空泵图形符号
参见国标：GB/T 3164-2007《真空技术 图形符号》
机械真空泵性能参量
• 抽气速率（Flow rate）：在相关标准测试条件下，从测试罩流过的气体流量 和在测试罩指定位置测得的平衡压力之比。
旋片式真空泵工作原理
旋片式真空泵的构成
旋片式真空泵的构成
旋片式真空泵的构成
旋片式真空泵的构成
旋片式真空泵的工作
旋片式真空泵的工作
Hale Waihona Puke Baidu
旋片式真空泵的工作
旋片式真空泵的使用
• 使用前，应首先仔细阅读产品说明书，开箱后应检查装运 质量。收好备品备件和技术文件，拆除排气口防护件。按 要求安装，接线，试转向。水冷泵接水。
– 1.2不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高；设 计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽 在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中)；有异物在泵内(进气管中的焊渣、 氧化物；旋片弹簧等泵零件的碎屑；旋片变形卡住；发生了咬合(铜套、转子、中 壁、泵盖、定子、轴承)。
• 按说明书推荐选用真空泵油。注意酯类真空泵油不可与矿 物油型真空泵油和其他油类混用，必须严格清洗后才能换 入酯类真空泵油。
故障判断与诊断例举
• 1泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能 盘动。
– 1.1泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障；皮带打滑；电机接线有误；电机损 坏；电源没电等。
机械真空泵规格及型号
参见标准：JB/T 7673-2011《真空技术 真空设备型号编制方法》
机械真空泵型号示例
变容式机械泵的抽速分档：0.5、1、2、4、8、15、30、70、150、300、600、 1200、2500、5000、10000、20000、40000。
• 2、清洗。不宜浸洗，以免洗液进入拼接转了内部，不易 排出。
• 3、拆装。要按照使用说叫书推荐和规定有序进行，记好 位置，合理摆放，以免错装。
故障判断与诊断例举
• 3漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放 油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处， 气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安装不当， 损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起 。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会 漏油。 自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设 计形状，密封面太大时压不紧会漏油。
真空知识
1、真空基础知识
（1）真空单位换算 重点换算单位：Pa，mbar(hPa)，MPa，mmHg，大气
压 1mmHg=133Pa, 1mbar(hPa)=100Pa, 1MPa=106Pa
（2）绝对压力与相对压力 绝对压力（也称为绝压），即以“绝对的真空”(自
然界中没有绝对的真空，理论上才能达到的绝对真空)为 零位，标出的数值都是正值，这个数字越小，越接近绝对 真空，也就是绝对压力越小，真空度越高。
相对压力（也称为表压），即以大气压作为零位，低 于大气压的用负值表示，所以叫“负压”。这个负值的绝 对值越大，则真空度越高。
应该充分理解绝对压力与相对压力的概念并熟练换算 例：60mmHg＝-700mmHg＝-0.093MPa
真空知识
真空表，U形真空计，测得是相对压力，麦氏真空计，电子 真空测出的是绝对压力？
故障判断与诊断例举
• 6极限压力不达标。
– 6.1可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、 有水汽等可凝性物质、仪器仪表失真、泵运转不正常等引起。 外漏较多时，排气口可看到白色蒸汽。油标处有较多气泡，手 在排气口上可感到排气压力。低级排气阀处油面有较多气泡。 功率会有所增加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。
• 极限压力（Ultimate pressure）：在标准测试条件下，不引入气体正常工作 条件下，趋向稳定的最低压力。
• 启动压力（Stating pressure）: 泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。 • 前级压力（Backing pressure）:排气压力低于一个大气压，真空泵的出口压
力。 • 最大前级压力（Maximum backing pressure）:能使泵损坏的前级压力。 • 最大工作压力（Maximum working pressure）:对应最大抽气量的入口压力。 • 抽气量（Throughout of vacuum pump）:流经泵入口的气体流量。 • 压缩比（Compression ratio）:泵对给定气体的出口压力和入口压力之比。
• 4漏水可以发生在水管接头，水套闷盖平面，放水孔螺塞 ，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致 漏水。
• 5大功率超标。可由长期连续作入口压力太高、排气压力 太高、杂物进人发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太 小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏 。应尽量避免在最大功率附近长期连续运转。如果表面有 沉积物，要定期拆开清除。
其他注意事项
• 1、有些泵有油泵，有油分离器，有油路上的单向阀，有 消雾器，有入口过滤器(防油蒸汽返流用)，有入口灰尘过 滤器等部件或附件，也要进行检查。油泵失效将使泵的润 滑和密封失效，消雾器失效，有可能使排气压力升高，功 率加大，损坏电机，入口过滤器失效可使进气阻力增大， 抽速下降，抽气效率下降。
旋片式真空泵工作原理
• 旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为 1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分别不 得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。 旋片泵主要 由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔 内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切(二 者有很小的间隙)，转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋 转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保 持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
• 为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规定转向 把泵内存油用手盘到油箱中。同时查看油位，应在油标中 心以上，但不要满油标，多了要放出。判断转向的辅助方 法。把护套倒放在泵口上，如开泵后被吸住，是正向，被 吹落，是反向。声音正常是正向，声音异常响是反向。
• 相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时，应使 用气镇阀。
旋片式真空泵工作原理
• 两个旋片把转子、泵腔 和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B 、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容 积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相 通的空间C的容积 是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小 的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀)，气体 压强降 低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气 体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始 被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气 压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中 。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道 而转入另一级(低真空级)，由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排 至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提 高了极限真空度。
真空泵应用方面
• 粗低真空
•食品行业 •化工行业 •冷冻干燥 •轻工行业 •制药行业 •导电(真空放电灯具)
• 超高真空
•空间模拟 •材料科学分析 •物理现象研究 •表面分析 •高纯材料制备(如
MBE)
高真空
•冶炼 •真空热处理、真空焊接 •集成电路、半导体制造 •各种镀膜工艺 •各种表面加工工艺 •化学研究 •离子注入 •隔离作用（绝热）
真空泵的使用范围
旋片式真空泵工作原理
• 旋片式真空泵工作原理 旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式 机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空 泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级 泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油 及医药等生产和科研部门。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体， 若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除 含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒 尘埃的气体。旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片 泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构 上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度 。
故障判断与诊断例举
• 6.3如果泵油清洁，长期存放未用，可开气镇阀净化泵内 水汽。若无效，要检杏仪表。若泵油发黄发白已乳化，可 全开气镇，调大气镇量净化运转，必要时可在泵口放入适 量气体运转，可加快净化过程。若抽入其他挥发性气体或 液体，要及时换油，必要时请洗油箱。有些泵，在级间气 道里会沉积泵液，为取得好的换油效果，要设法把沉积泵 液排出。
真空泵定义
• 2、真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真 • 空环境的装置。 • 解释： • • 真空泵的工作原理：机械、物理、化学。 • • 真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。 • • 真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。 • • 真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。 • 解释： • • 真空泵的工作原理：机械、物理、化学。 • • 真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。 • • 真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。 • • 真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。
• 2泵温太高。指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明书规定 值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使泵油的饱和蒸汽压升 高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降；使橡胶件容易老化；热膨 胀使运转间隙缩小，特别是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间 隙，影响泵运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高， 进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入口压力太高； 水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等 。
– 6.2由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现 象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油 杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间 隙、排气阀座平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进 气管、气镇阀密封件等引起。磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙 加大。油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱 密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀 可能失效。
机械真空泵性能参量
• 几点说明：
– 实际应用中真空泵的抽气速率和极限压力是 真空泵选配的最重要参量；
– 真空泵的性能测试必须严格按照相关国家标 准规定的项目和测试条件来执行；
– 性能测试标准由国标、部标、企业标准几个 等级；
– 真空泵在不同使用条件下，强调的性能参数 是不同的；
– 对于不同类型真空泵，所需测试的项目差别 很大；
故障判断与诊断例举
• 7、噪声。泵的结构设计，电机与泵轴承的噪声，旋片等 运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声 、进气量大，开气镇运转、挡油板等泵内零件松动，安装 不平等引起振动，都会影响泵的噪声。
• 8、喷油。防止喷油用的油盒回油孔的大小、位置、密封 状况,挡油板的设计、安装,排气口部分的减雾器、挡油帽 、气分离器，油位的高低，进油量的大小，都会影响泵的 喷油，泵门敞开抽大气时，直联泵排气口的气流速度可以 高达30m/s，吹开油面时，泵内的循环油和气流带出的油 就将考验防止喷油的各项措施。
• 6.4极限压力是用座式压缩式水银真空计测量的。用经校 准的热偶真空计等全压力计测量时，测得值会增加。注意 热偶真空计的规管要配对校准。建议备用一只同时校准的 规管，以备怀疑规管污染失真时进行对比。极限压力升高 会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高 。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和 极限全压力升高的故障。
真空系统的组成
1真空室 2高真空泵（主泵 ） 3预抽泵 3a前级泵 4高真空阀门 5低真空阀门 6前级管道 7放气阀 8低真空计 9高真空计
真空泵的类型（按真空获得方式）
常见机械真空泵图形符号
参见国标：GB/T 3164-2007《真空技术 图形符号》
机械真空泵性能参量
• 抽气速率（Flow rate）：在相关标准测试条件下，从测试罩流过的气体流量 和在测试罩指定位置测得的平衡压力之比。
旋片式真空泵工作原理
旋片式真空泵的构成
旋片式真空泵的构成
旋片式真空泵的构成
旋片式真空泵的构成
旋片式真空泵的工作
旋片式真空泵的工作
Hale Waihona Puke Baidu
旋片式真空泵的工作
旋片式真空泵的使用
• 使用前，应首先仔细阅读产品说明书，开箱后应检查装运 质量。收好备品备件和技术文件，拆除排气口防护件。按 要求安装，接线，试转向。水冷泵接水。
– 1.2不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高；设 计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽 在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中)；有异物在泵内(进气管中的焊渣、 氧化物；旋片弹簧等泵零件的碎屑；旋片变形卡住；发生了咬合(铜套、转子、中 壁、泵盖、定子、轴承)。
• 按说明书推荐选用真空泵油。注意酯类真空泵油不可与矿 物油型真空泵油和其他油类混用，必须严格清洗后才能换 入酯类真空泵油。
故障判断与诊断例举
• 1泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能 盘动。
– 1.1泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障；皮带打滑；电机接线有误；电机损 坏；电源没电等。