南光镀膜机说明书

南光镀膜机说明书
该机用于半导体组件及光学件生产和研究是比较理想的设备,在极限真空,防止油污和缩短工作等方面都具有较好的性能,它用于单层光学薄膜和生产也是比较理想的设备.
一.工作条件 1.电源总功率约30KW,220V/380V,50HZ 线制为三相四线制.2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2 3.安装环境必须具备良好通风条件.4.水流约1.5L/min.5.气压:0.5MPa
二.主要技术性能:(一)真空控制系统 1.半自动/手动旋钮置手动可按常规进行各种泵,阀的启动与停止操作. 2.自动/手动旋钮置自动时通过开机,真空,取件三个按钮的动作可分别执行开机/停机,真空/中止真空,取件/取件关程序.(1)a.当按下开机钮,设备将按下列步骤运行:开机械泵,截放阀延时10秒开预阀,延时30秒开扩散泵.b.当松开开机钮,设备将按下列步骤停机:关扩散泵冷却延时1小时,关预阀延时5秒关机械泵,截放阀.
(2).在执行开机程序以后 a按下真空钮设备将按下列步骤运行:开低级阀,低真空信号到,关低阀延时3秒开预阀,再延时3秒开高阀,直至高真空.松开真空钮,设备将回到开机状态.(3)a 在执和行真空程序之后,当按下取件钮,关高阀并延时5秒打开放气阀.b.当松开取件钮,在真空室门已关好之后,设备将自动回到真空程序运行.(4).通过在真空程序执行后,反复使用取件钮,可达到真空,取件的连续过程.(二).工转及比较片转动系统:工转控制采用直流调速器对工件电机进行调速,转速为连续可调.比较片电机控制为点动连续转位控制.(三).烘烤系统:本系统采用三(单)相调功器(移相或过零触发)和进口数显温控仪对工件进行烘烤,温度可控可调,设定好温度后,参照温控仪说明书,采用自整定运行,自整定运行结速后进行恒温控制(第一次自整定温度会出现过冲现象,自整定运行结束后再开机,就不会出现过冲,用户可根据不同的温度要求全部进行自整定1次.)
NG-3型电子束蒸发源电源装置包括X-Y磁偏转扫描单元,枪灯丝及束流控制单元,高压自动控制装置,坩埚转动控制装置及手持控制盒.
一.工作条件:1.电源:总功率约为10KW,220V/380V,50HZ;三相四线制. 2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2. 3.安装环境必须具备良好通风条件.
二.主要技术性能: 1.X-Y磁偏转扫描单元具有波形可选,频率可调之特点. (1).偏转(或称位移)电流:(在4-7欧负载上) IX=0-1.8A IY=0-±1.5A (2).扫描波形:矩形波,三角形,正玄波任选. (3).扫描电流:IX=IX±0.25A IY=IY±0.5A (4).扫描频率:1-20HZ可调. (5).失偏保护(只对X线圈而言):当IX大于等于0.4A时,电源输出一对常开触点,可用以联锁直流高压或其它用途的控制.
2.枪灯丝单元:(1).接上枪灯丝,真空度高于 6.7X10-3Pa时,灯丝变压器原边:U~约等于0~200V I~约等于0~1.5A (2).具有过流,失压保护功能.
3.高压控制单元:采用SKQH高压自动控制装置,克服了电子管固有的缺点.(1).直流高压:6KV,8KV,二档.换档时改变变压器抽头即可.(2).最大电流:600毫安.(3).自动控制功能:电子枪打火时能自动降低高压,随后自动迅速恢复原值.
4.坩埚转位控制单元提供四位坩埚点动. 三.安装与调试:为保证本电源正常可靠工作,必须严格按以下步骤及要求正确进行安装与调试. (一).系统接线:电源线截面积大于等于2.5平方毫米导线;接地线截面积大于等于10平方毫米导线,先连接至主机,
再由主机接大地;HV-高压线用随机所附专用高压线. (二).检查与调试:在保证系统连线正确之后,检查各单元盒内,前后面板,背板上各零件有无松动,脱落及损坏情况(若有即排除),并清除污物(尤其是高压部分)后,可作如下操作:(1).高压控制单元 a.从电源柜端脱开HV-高压电缆,按下遥控盒上高压按钮,本单元开通指示灯亮,相序指示灯亮,若均不亮,则表示本单元三相电源进线相序不正确或缺相.关掉电源,检查三丰电源是否缺相,或调换电源线,直到相序正确,这时开通,相序指示灯均亮,高压表指示为6KV(或所选高压值).历时2分钟,高压单元内无打火现象属正常.缺相或相时保护电路使高压无输出.b电子枪打火时过流灯闪烁,高压控制装置进行自动调节,当电子枪严重短路时自动切断高压,此时须关掉高压电源,排除故障后再重新开启电源.c关掉电源.注意:高压操作须遵守高压操作规程,以免发生人身事故. (2).X-Y磁偏转扫描单元 a.检查偏转线圈接线正确后,按下该单元面板上电源按钮,相应按上指示灯亮.b.分别调节手控盒上X,Y电位器为零,再分别调节X电位器,面板上相应电流表应指示0-1.8A,调节Y电位器,相应电流表指示0-(±1.5A). c.关X电位器至零,关Y电位器至中点(电表指示为零),复位电源按钮,断电源.(如果观察交流扫描波形及幅值,可用示波器直接于X及Y偏转线圈上观察).
(3).枪灯丝及束流控制单元:此项工作须在系统接线正确,并保证真空室真空度高于6.7X10-3Pa以上时进行. a.待真空度满足要求后,按下本单元面板上枪灯丝按钮,按钮上面指示灯亮,调节灯丝电流电位器,交流电压表指示枪灯丝变压器原边电压在0-200V连续变化,相应原边交流电流可在0-1.5A左右(视枪前头而定)连续变化. b.调节遥控盒上束流调节电位器,因此时高压尚未启动,故电压表,电流表均无变化,表明失压保护节工作正常. c.回零上述电位器,关电源.至此为止,本系统各单元工作正常.接通HV-高压电缆,便可按镀膜机电子枪操作步骤进行操作.
四.说明:本电源为电子束蒸发源的独立供电系统,为确保电子枪及本电源的安全使用,若采用本电源对电子枪独立供电,在使用前必须对电子枪作耐压试验,方法为:当真空度达 6.7X10-3Pa之后,不开枪灯丝,按高压单元的操作顺序,对电子枪施加8KV高压,应稳定2分钟,无打火,击穿视为正常.然后满足电子枪工作的条件:(一)先确定电子枪X偏转磁场的方向-正对枪头:其左面磁极为南极,右面磁极为北极(若方向不对,可调换X偏转电源接线),然后将X偏转位移电流调在IX=0.6A左右. (二).在室温25度以下时,电子枪冷却水压不低于1.5Kg/cm2,并保证水源通畅. (三).电源柜门,机柜门关闭,并在周围树立高压危险标志若本电源与其它设备协同工作,可根据需要加入述各条件的联锁保护环节.。