外加磁场对氩等离子体鞘层尘埃粒子密度分布的影响

外加磁场对氩等离子体鞘层尘埃粒子密度分布的影响
邹秀;刘惠平;邹滨雁;邱明辉
【期刊名称】《大连交通大学学报》
【年(卷),期】2014(035)0z1
【摘要】采用流体模型数值模拟了含有尘埃粒子的氩等离子体鞘层结构,研究了外加磁场对鞘层内尘埃粒子密度分布的影响.模拟结果显示外加磁场能够改变鞘层电势分布,使尘埃粒子受到的电场力随之改变.同时,外加磁场对尘埃粒子的密度分布有明显的影响.随着磁场平行基板分量增大,尘埃粒子在鞘层内聚集区域将远离鞘层.如果尘埃粒子较小或磁场较强,尘埃粒子可以离开鞘层,不打到基板上.因此可以利用外加磁场调控鞘层内尘埃粒子的运动方向.
【总页数】5页(P183-186,194)
【作者】邹秀;刘惠平;邹滨雁;邱明辉
【作者单位】大连交通大学理学院,辽宁大连116028;大连交通大学理学院,辽宁大连116028;大连交通大学理学院,辽宁大连116028;大连交通大学理学院,辽宁大连116028
【正文语种】中文
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